一种高温热流传感器
    30.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111579126A

    公开(公告)日:2020-08-25

    申请号:CN202010500916.9

    申请日:2020-06-04

    Inventor: 王勇 代波 曾磊

    Abstract: 本发明提供一种高温热流传感器,包括:基于横向热电效应进行工作的敏感层,所述敏感层包括倾斜(AB)N多层膜,倾斜(AB)N多层膜由两种不同的材料A和材料B交替堆砌而成。所述倾斜(AB)N多层膜相对于水平方向存在一倾斜角α,0°>α>90°。本发明的热流传感器能工作于高温环境下,且制作工艺简单。本发明所选的材料在空气环境中工作上限温度都能到800℃。通过选取特定材料,热流传感器的工作温度甚至可以高达1500℃。

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