一种GaN系薄膜生长条件的在线检测装置及方法

    公开(公告)号:CN110470611A

    公开(公告)日:2019-11-19

    申请号:CN201910618869.5

    申请日:2019-07-10

    Abstract: 本发明公开了一种GaN系薄膜生长条件的在线检测装置及方法,通过非接触式的反射谱测量,可在线获取GaN系半导体薄膜在高温下影响材料生长的参数,实现材料生长过程中工艺条件的实时监控和薄膜质量检测。此方法可在线实时检测多个参数。本发明公开了一种实现该方法的装置,包括:在生长GaN系薄膜材料的反应室窗口引入石英光波导管,将光照射到样品上并将信号收集至光谱仪中;在石英光波导管周围通入氮气以保护光波导管端面不会沉积上薄膜材料而被污染;在用于生长薄膜的衬底与其下方的加热炉之间放置石墨盘基座挡光,以防止加热炉发光对反射谱测试结果的影响。

    一种陷光滤波器及其制备方法

    公开(公告)号:CN105116481A

    公开(公告)日:2015-12-02

    申请号:CN201510618029.0

    申请日:2015-09-25

    Abstract: 本发明公开了一种陷光滤波器件及其制备方法。该膜系自基底向上依次包括镀制在任意基底上的挡光层金属或类金属膜、吸收薄膜以及窄带滤光膜。本发明的陷光滤波器可以通过波导结构多次吸收使对特定波长的吸收率接近100%(剩余不足10-5),而对于其他波长光的损失小于1%。本发明的陷光波长可以按需求通过窄带滤光膜的设计来灵活选择,膜系可直接通过工业化磁控溅射和光学薄膜制备方法在大面积基底上制备,易于实现低成本、大规模工业化生产。

    类螺旋金属手性超材料圆偏振器

    公开(公告)号:CN104865628A

    公开(公告)日:2015-08-26

    申请号:CN201510295819.X

    申请日:2015-06-02

    CPC classification number: G02B5/3025

    Abstract: 本发明公开了一种类螺旋金属手性超材料圆偏振器,包括衬底、与基底牢固结合的透明介质间隔层和嵌埋在透明介质间隔层内的类螺旋金属手性微结构阵列;微结构阵列包括N个周期排列的微结构单元,1<N≤106;微结构单元包括m个上下堆叠同尺寸包含角度为θ的金属圆弧,围绕同一中心旋转排列,上层金属圆弧较下层金属圆弧旋转θ角度,10°≤θ≤180°,且满足360/θ+1≤m≤10,经金属圆柱连接上下层金属圆弧的末端组成类螺旋形;相比于传统圆偏振器,体积小、波段宽、消光比高,可实现微型圆偏振阵列制备,甚至可与线偏结构单片集成,为全Stokes矢量实时偏振成像探测提供核心偏振器件,适合于偏振成像探测、显示和激光等领域。

    一种低成本颜色可调的低辐射窗槛墙膜系及其制备方法

    公开(公告)号:CN103243885B

    公开(公告)日:2015-07-29

    申请号:CN201310148800.3

    申请日:2013-04-26

    Abstract: 本发明公开了一种低成本颜色可调的低辐射窗槛墙膜系及其制备方法。该膜系自透明基底向上依次包括镀制在透明基底上的下层氮化硅薄膜、可见光吸收薄膜、金属薄膜以及上层氮化硅保护膜。本发明的膜系在可见光范围对太阳光的平均反射率在5%~30%,而辐射率小于10%。同时本发明的膜系在保持对可见光低反射、红外低辐射率前提下,还具有外观颜色可按需求进行调节的特点,丰富多彩的外观颜色可更好地实现了窗槛墙对建筑的美化效果。由于采用了上、下层氮化硅保护膜夹心结构,本发明的膜系还具备可钢化特性。本发明的颜色可调的低辐射窗槛墙膜系可直接通过工业化磁控溅射制备方法在大面积透明基底上连续镀制,易于实现低成本、大规模工业化生产。

    一种汇聚增强光响应超导单光子探测器及其制备方法

    公开(公告)号:CN103165723B

    公开(公告)日:2015-07-29

    申请号:CN201310100439.7

    申请日:2013-03-26

    CPC classification number: Y02P70/521

    Abstract: 本发明公开了一种汇聚增强光响应的超导单光子探测器及其制作方法,包括MgO衬底、超导单光子探测器、透明介质隔离层、金属反射层、透明介质层、金属阻挡环和金属光栅层。超导单光子探测器、透明介质隔离层、金属反射层、透明介质层和金属光栅层依次按照从下向上的顺序生长在MgO衬底上;金属阻挡环位于透明介质层的外围,并连接金属反射层和金属光栅层;金属光栅层为同心的金属多环结构;金属反射层为一个金属环与一个透明介质环组合而成,且两环同心。本发明通过将大面积范围内入射的信号光汇聚到很小面积的超导单光子探测器光敏面上来显著提升其响应,最大可提升30倍。

    一种低成本智能防过热塑料平板太阳能集热器

    公开(公告)号:CN103225898B

    公开(公告)日:2015-01-07

    申请号:CN201310148747.7

    申请日:2013-04-26

    CPC classification number: Y02E10/44

    Abstract: 本发明公开了一种低成本智能防过热塑料平板太阳能集热器,其特点在于采用集热板与水管一体化的带管道的耐高温导热塑料基板替代了传统平板集热器使用的金属基板与金属管道,既降低了集热器的成本、减轻了重量,又增大了吸热板芯与工作介质流体的接触面积。同时,塑料伸缩性好,不存在夏天炸管,冬天冻裂等问题,提高了集热器安全系数。更重要的是,本发明的集热器在透明盖板和吸热板芯之间采用了中空设计,可实现智能抽空或充气,抽真空时可以显著降低集热器上表面的热损失,提高集热效率;充气时可以迅速降低集热器温度,防止因突然停水引起集热器空烧造成的损伤甚至损坏,该功能可以通过设置使用温度范围来实现,起到智能调节与自动保护的作用。

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