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公开(公告)号：CN103243885A
公开(公告)日：2013-08-14
申请号：CN201310148800.3
申请日：2013-04-26
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: E04F13/077 , B32B33/00 , B32B9/04 , B32B15/04 , B32B37/02
Abstract: 本发明公开了一种低成本颜色可调的低辐射窗槛墙膜系及其制备方法。该膜系自透明基底向上依次包括镀制在透明基底上的下层氮化硅薄膜、可见光吸收薄膜、金属薄膜以及上层氮化硅保护膜。本发明的膜系在可见光范围对太阳光的平均反射率在5%～30%，而辐射率小于10%。同时本发明的膜系在保持对可见光低反射、红外低辐射率前提下，还具有外观颜色可按需求进行调节的特点，丰富多彩的外观颜色可更好地实现了窗槛墙对建筑的美化效果。由于采用了上、下层氮化硅保护膜夹心结构，本发明的膜系还具备可钢化特性。本发明的颜色可调的低辐射窗槛墙膜系可直接通过工业化磁控溅射制备方法在大面积透明基底上连续镀制，易于实现低成本、大规模工业化生产。
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公开(公告)号：CN103148598A
公开(公告)日：2013-06-12
申请号：CN201310098779.0
申请日：2013-03-26
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所 , 上海德福光电技术有限公司
CPC classification number: Y02E10/44
Abstract: 本发明公开了一种基于吸收颗粒的太阳能平板集热器，其结构特征在于自底层到顶层依次由边框、隔热层、工作介质、金属基板、吸收流体及低辐射模块组成，其中吸收流体由含有可吸收整个太阳能谱段能量的颗粒和流体组成，吸收率可达100％。由于采用了将高吸收与低辐射功能分离的结构，消除了二者之间相互制约的关系，因此，可以在不考虑吸收流体发射率的前提下把吸收率做到100％，完全吸收到达吸收流体的太阳能，显著提升平板太阳能集热器的集热效率，极大地拓展了平板太阳能集热器的适用范围。
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公开(公告)号：CN102954603A
公开(公告)日：2013-03-06
申请号：CN201210515241.0
申请日：2012-12-05
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所 , 上海德福光电技术有限公司
Abstract: 本发明涉及一种太阳能集热器，自底层到顶层依次由隔热层、工作介质、金属基板、吸收膜及低辐射模块构成；隔热层位于集热器最底层；隔热层上部包覆的是盛装工作介质的铜质介质管或介质腔，介质管或介质腔则布设焊接于金属基板的下部；吸收膜沉积于金属基板上部，低辐射模块覆盖于吸收膜上部。所述低辐射模块自下而上依次由镀膜玻璃、沉积在镀膜玻璃上的低发射率膜、位于低发射率膜上方的中空层、支撑中空层的密封条，以及由密封条连接的位于中空层上方的上层玻璃组成。本发明显著提升了平板太阳能集热器的性能与效率，极大地拓展了平板太阳能集热器的适用范围。
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公开(公告)号：CN101846499A
公开(公告)日：2010-09-29
申请号：CN201010176138.9
申请日：2010-05-14
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所 , 阿旺赛镀膜技术(上海)有限公司 , 上海宇豪光电技术有限公司
IPC: G01B11/06
Abstract: 本发明公开了一种薄膜生长中原位弱吸收光学薄膜厚度检测方法。该方法以镀有一层厚度足以引起干涉的打底膜为衬底，通过测量镀膜前后透(反)射谱的变化，即可实现薄膜厚度的测量。由于打底膜的厚度已经引起干涉，新镀上去的待测薄膜即使很薄，也会引起干涉的变化，由镀制待测薄膜前后透(反)射谱干涉的变化就可以很容易地准确测量出待测薄膜的厚度，其测量极限高达3nm以上。该方法可以准确测量纳米超薄膜的厚度，只需测量镀制待测薄膜前后的透(反)射谱，就可以快速获得待测薄膜的厚度，非常简单、快捷，特别适用于镀膜行业的在线检测和实时监控，尤其是对于弱吸收材料超薄膜的厚度测量，本发明方法克服了传统方法测量的困难。
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公开(公告)号：CN101832945A
公开(公告)日：2010-09-15
申请号：CN201010165069.1
申请日：2010-04-29
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 本发明公开了一种镀膜玻璃薄膜缺陷的光学检测装置，被检样品一侧做成45°导角，激光光源发出的光线经扩束镜扩展后平行从被检样品侧面入射，光线在玻璃-空气、薄膜-空气界面发生全内反射。当薄膜无缺陷时，由于受制于全反射条件，光在上下表面间不断反射，直至从侧面射出，形成非常理想的暗场。而薄膜中的缺陷则成为散射体向上散射光，CCD在被检样品上方拍摄，得到清晰的缺陷图像由计算机图形处理及识别软件进行判别，并给出缺陷标记和提示。若在激光器和扩束镜之间添加转镜，可确保整个膜面的检测。与传统方法不同的是，本发明装置操作简单、明暗场对比强烈、效果明显，可非常方便地用于薄膜缺陷的在线检测。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101819219A
公开(公告)日：2010-09-01
申请号：CN201010165067.2
申请日：2010-04-29
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: G01Q60/38
Abstract: 本发明提出一种直接以倍半氧硅氢化物(HSQ)电子束光刻胶作为刻蚀掩模的高密度、超尖硅探针(tip)阵列的制备方法。通过电子束光刻方法进行曝光后显影形成HSQ的点阵图形，然后直接以HSQ为掩模对硅进行各向同性刻蚀，通过控制刻蚀条件，可使针尖最尖同时HSQ即将或自动脱落，针尖达到几个纳米，无需任何额外的氧化和腐蚀等锐化工艺，非常简单。本发明方法克服了传统制备方法需要氧化物层作为掩膜进行二次图形转移和额外的氧化、刻蚀工艺来锐化探针的不便，以及制备亚微米周期高密度硅探针阵列的困难，可以很容易地实现2.5×107/mm2以上高密度硅探针阵列。
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公开(公告)号：CN104261873A
公开(公告)日：2015-01-07
申请号：CN201410341407.0
申请日：2014-07-17
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 本发明提出了一种调节二氧化钒薄膜相变温度的方法。对金属钒或低价态钒氧化物薄膜进行真空条件下通氧退火，通过改变退火过程中氧气分压来调节生成的二氧化钒薄膜的相变温度。这种调节相变的方式不依赖于衬底，既可以在晶体衬底上实现，也可以在非晶衬底上实现，是一种非常简单有效的二氧化钒薄膜相变温度调节方法，灵活性强、操作简便、成本低廉，并可与其它相变温度调节方法兼容和共同使用。
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公开(公告)号：CN103225898B
公开(公告)日：2015-01-07
申请号：CN201310148747.7
申请日：2013-04-26
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
CPC classification number: Y02E10/44
Abstract: 本发明公开了一种低成本智能防过热塑料平板太阳能集热器，其特点在于采用集热板与水管一体化的带管道的耐高温导热塑料基板替代了传统平板集热器使用的金属基板与金属管道，既降低了集热器的成本、减轻了重量，又增大了吸热板芯与工作介质流体的接触面积。同时，塑料伸缩性好，不存在夏天炸管，冬天冻裂等问题，提高了集热器安全系数。更重要的是，本发明的集热器在透明盖板和吸热板芯之间采用了中空设计，可实现智能抽空或充气，抽真空时可以显著降低集热器上表面的热损失，提高集热效率；充气时可以迅速降低集热器温度，防止因突然停水引起集热器空烧造成的损伤甚至损坏，该功能可以通过设置使用温度范围来实现，起到智能调节与自动保护的作用。
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公开(公告)号：CN103017384B
公开(公告)日：2014-10-15
申请号：CN201210507208.3
申请日：2012-11-30
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所 , 上海德福光电技术有限公司
Abstract: 本发明公开了一种碳膜辅助的太阳能选择性吸收膜系及其制备方法。该碳膜辅助的太阳能选择性吸收膜系包括镀制在金属衬底上的氮氧化钛薄膜、无定形碳薄膜、氮化硅薄膜、二氧化硅薄膜。本发明通过引入无定形碳膜，使得吸收膜系的太阳能吸收率高达98.0%，发射率可低至2.3%，具有极高的光热转换效率和集热效率，优于现有国际先进水平，可广泛应用于各种太阳能光热转换器中。与常规平板集热器吸热膜相比，加入无定形碳辅助吸热膜之后，可进一步提高膜系的太阳能吸收率，同时保持极低的发射率。本发明的吸收膜系可通过工业化磁控溅射制备方法在大面积衬底上连续镀制，实现低成本高效生产。
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公开(公告)号：CN103105190A
公开(公告)日：2013-05-15
申请号：CN201110358851.X
申请日：2011-11-14
Applicant: 常州光电技术研究所 , 中国科学院上海技术物理研究所 , 上海宇豪光电技术有限公司 , 江苏奥蓝工程玻璃有限公司 , 中科德孵镀膜科技(南通)有限公司
Abstract: 本发明公开了一种镀膜速率的精确标定方法及其应用，方法为：制备包括衬底和干涉膜的标准基片；制备方法为：在衬底上引入一层足以形成干涉的干涉膜；测量标准基片的透射谱或反射谱；将待测速率薄膜镀制在标准基片上一段时间；测量镀膜后的标准基片的透射谱或反射谱；比较镀膜前后透射谱或反射谱，根据峰位的变化量计算出镀膜厚度从而计算出镀膜速率。本发明在衬底上预先引入一层足以形成干涉的干涉膜，在此基础上，只要在标准基片上镀制厚度极薄的待测薄膜，即可引起干涉峰位的明显偏移，远远高于传统方法直接在衬底上镀制待测薄膜前后透射谱的强度变化，可以显著提升标定精度，特别适用于在线检测和实时监控，尤其适合对超低镀膜速率的精确标定。
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