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公开(公告)号：CN112924510B
公开(公告)日：2022-03-15
申请号：CN202110112833.7
申请日：2021-01-27
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01N27/414 , G01N27/30
Abstract: 本发明提供一种石墨烯基高熵合金纳米颗粒及其制备方法和应用，石墨烯基高熵合金纳米颗粒的制备方法包括：获取高熵合金纳米颗粒的前驱体溶液；将预设量的氧化石墨烯粉末分散至所述前驱体溶液中，形成混合溶液；对所述混合溶液进行抽滤处理，获取负载有金属盐的氧化石墨烯自支撑膜；采用激光直写技术对所述负载有金属盐的氧化石墨烯自支撑膜进行辐射加热处理，获取石墨烯基高熵合金纳米颗粒。基于上述技术方案，能够实现石墨烯载体上吸附的金属盐的快速热分解；能够有效抑制低元合金杂质相的析出，得到具有单一物相结构的高熵合金纳米颗粒；且能够实现高熵合金纳米颗粒的简单且快速的大规模合成。
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公开(公告)号：CN110208345B
公开(公告)日：2022-02-01
申请号：CN201910511358.3
申请日：2019-06-13
Applicant: 上海理工大学 , 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明属于半导体传感技术领域，具体涉及到一种制备用于检测苯系物的敏感元件的方法。敏感元件为双层结构，其包括位于底层的敏感材料层和位于上层的催化材料层。方法包括：通过水热法获得ZnO纳米片后进一步通过丝网印刷或者旋涂工艺涂覆到印刷有加热电极和叉指电极的平板式陶瓷基片上获得底层气敏材料；通过水热法在其表面均匀生长CeO2纳米片薄膜即得到敏感元件，对其进行焊接、老化、封装后制得苯系物检测气敏元件。本发明所制得的气敏元件具有对苯系物气体灵敏度较高、检测下限低、选择性好、工作温度低、具有长期稳定性等优点，可用于室内苯系物污染气体的检测，对于人类身体健康的保护及室内污染物监控等方面具有重要意义。
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公开(公告)号：CN112935274A
公开(公告)日：2021-06-11
申请号：CN202110112853.4
申请日：2021-01-27
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种柔性衬底上生长高熵合金纳米颗粒的方法，包括：获取柔性衬底；采用激光直写技术在所述柔性衬底上生长具有预设形状的三维石墨烯薄膜；获取高熵合金纳米颗粒的前驱体溶液；将所述前驱体溶液滴加至所述三维石墨烯薄膜上，形成预处理样品；采用激光直写技术对所述预处理样品上的三维石墨烯薄膜进行辐射加热处理，获取所述高熵合金纳米颗粒。基于上述技术方案，能够有效提高高熵合金纳米颗粒尺寸的均一性及合金总的负载量；且有效避免对柔性衬底造成高温热损伤；同时，脉冲激光热解生长机制也有利于得到具有单一物相的高熵合金纳米颗粒。
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公开(公告)号：CN111362226A
公开(公告)日：2020-07-03
申请号：CN202010171515.3
申请日：2020-03-12
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及微纳传感器技术领域，特别涉及一种谐振式微悬臂梁芯片及其制备方法，包括：固支部和微悬臂梁部，所述微悬臂梁部包括高温区和低温区，所述低温区的一端与所述高温区连接，所述低温区的另一端与所述固支部连接；所述高温区上设有加热线圈；所述低温区上设有检测元件；所述高温区和所述低温区之间设有至少一个阻热孔，所述阻热孔贯穿所述微悬臂梁设置。通过在微悬臂梁中部附近区域设计有镂空的阻热孔，将微悬臂梁分为靠近自由端的高温区和靠近固支部的低温区两部分。在高温区设计有加热线圈，可以对微悬臂梁加热；加热线圈可以将梁上高温区加热，而低温区可以保持在低温状态，确保检测元件可以正常工作。
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公开(公告)号：CN109682711A
公开(公告)日：2019-04-26
申请号：CN201910067922.7
申请日：2019-01-24
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
CPC classification number: G01N5/00 , G01N1/28 , G01N23/04 , H01J37/261
Abstract: 本发明提供一种用于TEM构效关联直接原位表征的芯片及其制作方法，芯片包括主芯片及辅芯片，其中，主芯片包括：具有观测孔的悬臂梁、主芯片凹槽、主芯片窗口及气孔；辅芯片包括：辅芯片窗口；通过悬臂梁的谐振用以检测位于悬臂梁上的待测样品的质量变化；通过将主芯片及辅芯片相对设置，并分别固定于TEM样品杆上，以在主芯片、辅芯片及TEM样品杆之间形成闭合空间，并通过辅芯片窗口、观测孔及主芯片窗口观测位于悬臂梁上的待测样品的形貌变化。本发明可以在TEM内实现对同一待测样品的形貌变化观测及质量变化检测，以进行直接、原位、实时表征，可广泛应用于纳米材料在气固反应过程中的TEM原位表征。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105067471B
公开(公告)日：2017-12-29
申请号：CN201510443118.6
申请日：2015-07-24
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01N5/00
Abstract: 本发明提供一种微悬臂谐振结构传感器的制造方法，包括如下步骤：提供一衬底，所述衬底中形成有微悬臂结构；所述微悬臂结构的微悬臂梁表面形成有亲水层；在所述微悬臂梁的敏感区域表面形成一保护层；在所述衬底表面形成疏水分子层；去除所述保护层，露出其下的亲水层；在去除所述保护层的过程中，所述保护层表面的疏水分子层也被去除，其余部分的疏水分子层不受影响；在所述衬底表面涂覆敏感材料，由于所述疏水分子层的存在，所述敏感材料集中于所述敏感区域。本发明通过疏水或双疏的分子层将器件表面封闭，仅悬臂谐振结构敏感区域露出下方的亲水表面，从而使敏感材料固定在悬臂谐振结构的该区域上，使敏感材料的固定实现批量化。
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公开(公告)号：CN104569369B
公开(公告)日：2016-04-20
申请号：CN201510016562.X
申请日：2015-01-13
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种液相检测的谐振式微悬臂梁生化传感器及其制备方法，包括在谐振式微悬臂梁上以光刻胶为牺牲层，光刻形成环状凹槽；沉积疏水材料，在环状凹槽中形成疏水侧壁作为敏感池，其余部分形成疏水薄膜；通过刻蚀图形化疏水材料，在疏水侧壁的外侧与疏水薄膜之间形成狭缝；从背面划片，去除光刻胶释放器件结构；将敏感材料注入敏感池结构中并固化形成液相检测的谐振式微悬臂梁生化传感器。本发明利用聚对二甲苯薄膜保护谐振式微悬臂梁，狭缝结构有效防止液体进入聚对二甲苯薄膜下方接触微悬臂梁，从而使得工作时，微悬臂梁上仅敏感区域接触待测液体样品，其余部分均工作在空气环境下，从而大大减小了阻尼，提高了传感器的品质因数和灵敏度。
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公开(公告)号：CN103668141B
公开(公告)日：2015-12-16
申请号：CN201210315544.8
申请日：2012-08-30
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: C23C18/44 , C04B35/628
Abstract: 本发明涉及一种在氧化石墨烯表面生长贵金属纳米晶的方法，采用油胺（Oleylamine，CAS号：112-90-3）作为反应的溶剂以及反应体系中的还原剂，在具有含氧官能团（如羟基、羧基、羰基和环氧基）修饰的石墨烯材料表面将贵金属前驱体还原成贵金属纳米晶，制造具有贵金属纳米晶负载的氧化石墨烯材料。该方法具有原理清晰、方法先进、易于操作、造价低廉、适用于多种贵金属和批量生产的特点。
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公开(公告)号：CN104897508A
公开(公告)日：2015-09-09
申请号：CN201410081084.6
申请日：2014-03-06
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01N5/02
Abstract: 本发明涉及一种功能材料热力学参数的测试方法，为使用谐振式微悬臂梁作为微质量传感器，将功能材料负载于谐振式微悬臂梁的自由端，实时测试功能材料在特定温度下，对不同压力气体的吸附量，得到功能材料的吸附等温线，然后进一步计算所述功能材料的热力学参数，并由得到的热力学参数对所述功能材料进行特性评估；方法先进、具有现实的应用意义，且易于操作、价格低廉的特点。
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公开(公告)号：CN103667039B
公开(公告)日：2015-05-27
申请号：CN201210332526.0
申请日：2012-09-10
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及传感器制造领域，尤其涉及一种用于基因检测的质量型传感器。本发明提供一种用于基因检测的质量型传感器，包括质量型传感器本体，其特征在于，所述质量型传感器本体的非检测敏感位置表面设有聚乙二醇单分子层，所述质量型传感器本体的检测敏感位置表面设有巯基生物素单分子层，所述巯基生物素单分子层上嫁接有链亲和素层。使用本发明所提供的质量传感器，主要优点包括实时在线检测、结果准确、检测速度快、节约成本和扩展性好。
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