一种叠层式柔性伸缩电磁振动能量采集器

    公开(公告)号:CN115276364A

    公开(公告)日:2022-11-01

    申请号:CN202211033432.3

    申请日:2022-08-26

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明属于电磁式振动发电技术领域,具体为一种叠层式柔性伸缩电磁振动能量采集器,解决了背景技术中的技术问题,其包括顶盖、模块化拾振结构和底盖;模块化拾振结构包括多个螺纹连接的非磁性可折叠单元,非磁性可折叠单元包括两个大小相等的圆台壳体,两个圆台壳体的大径端相连形成柔性空腔结构,柔性空腔结构中安装有柔性发电线圈,两个圆台壳体的小径端分别连接有硬质内螺纹环和硬质外螺纹柱,硬质外螺纹柱上开有通孔,硬质内螺纹环的内壁上沿环向开有用于安装固定磁铁的环形凹槽,相邻固定磁铁同极相对放置。“波浪管”式外观的结构加上同极相对摆放的固定磁铁,外界环境中一个微弱的振动就会产生比较持久有效的电流输出。

    一种蓝宝石基可控剥离柔性PZT薄膜的制备方法

    公开(公告)号:CN109768154B

    公开(公告)日:2022-05-20

    申请号:CN201811549571.5

    申请日:2018-12-18

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本申请公开了一种蓝宝石基可控剥离柔性PZT薄膜制备方法,包括:基片的准备;配制PZT前驱体溶液;PZT薄膜的制备:将前驱体胶体旋涂在基片上,并对薄膜进行热处理和退火处理,重复上述步骤,最终可制备出PZT薄膜;电镀液的配制:将六水合氯化镍和硼酸依次溶解在去离子水中并不断加热搅拌直到充分溶解;Ni应力层的沉积:电镀前预先在PZT薄膜上溅射的金属种子层,然后在金属种子层表面电镀Ni应力层;裂缝的产生:随着电镀时间的增加,PZT薄膜沿着裂缝方向与基片逐渐分离直至完全分开;PZT薄膜的转移:清洗后将其与柔性PET基底粘在一起;柔性PZT薄膜制备完成。本申请通过可控剥离技术制备的柔性PZT薄膜依然保持良好的铁电性能,而且具有良好的机械性能。

    一种深水机械延时的多配重舱连接分离装置

    公开(公告)号:CN111746766B

    公开(公告)日:2021-09-28

    申请号:CN202010575308.4

    申请日:2020-06-22

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本申请公开了一种深水机械延时的多配重舱连接分离装置,包括:连接舱、多个吊环以及多个配重舱,其中,所述连接舱中设有连接分离机构,所述吊环的一端与所述连接分离机构可分离连接,所述吊环的另一端对应连接所述配重舱。本申请具有稳定性高,连接牢固,分离有效、灵活、方便,保证了配重舱的稳定连接和多级分离;本申请中的连接分离机构能够保证仪器在工作过程中受到较小的扰动,在分离时,按照预定时间分离配重舱,在尽量减少配重舱损失的情况下,保证测试仪器的主要部分和数据载体的可靠回收。

    一种晶圆键合方法以及相应的异质衬底制备的方法

    公开(公告)号:CN109786229B

    公开(公告)日:2021-07-02

    申请号:CN201811482391.X

    申请日:2018-12-05

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明提供了一种能在常温下实现不同晶圆材料实现良好键合的晶圆键合方法,其特征在于,包括以下步骤:步骤1,提供第一晶圆以及第二晶圆,第一晶圆具有满足预定条件的第一键合面,第二晶圆具有满足预定条件的第二键合面;步骤2,对第一晶圆以及第二晶圆在常温下进行键合前预处理;步骤3,将经步骤2处理后的第一晶圆的第一键合面与第二晶圆的第二键合面进行键合,其中,步骤2中,键合前预处理包括等离子活化和预定清洗;步骤3中,是在常温条件下,并在真空或保护气氛条件下进行预键合得到预键合体,再将该预键合体,在压力范围为1000N‑12000N以及真空度为9.8×10‑3‑1.1×10‑8Pa的条件下,保持0.5‑20h,完成最终键合。

    一种模块化设计的微能源采集装置

    公开(公告)号:CN110266175B

    公开(公告)日:2021-04-02

    申请号:CN201910356928.6

    申请日:2019-04-29

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本申请公开了一种能量收集装置,包括:外壳,其内具有筒形结构,所述外壳底部设有一安装位,第一磁铁仓,其与所述外壳底部的安装位可抽拉式连接,所述第一磁铁仓设有第一凹槽,第一磁铁,其设置在所述第一凹槽内,第三磁铁,其与所述第一磁铁同极相对设置并悬浮设置在所述筒形结构内部,以及,至少一个线圈仓,其可拆卸设置在所述外壳上,所述线圈仓内容纳有发电线圈。本申请采用模块化设计,通过第一磁铁、第二磁铁与第三磁铁的匹配关系,确定第三磁铁最佳的平衡位置、切割磁力线位置、振幅及谐振频率,以实现在不同振动环境下电能的输出最大化,通过模块化设计提高其在不同振动环境下的高适应性和谐振频率最佳化。

    一种高密度微纳线圈柔性异质集成方法

    公开(公告)号:CN111333022A

    公开(公告)日:2020-06-26

    申请号:CN202010188599.1

    申请日:2020-03-17

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本申请公开了一种高密度MEMS微纳线圈柔性异质集成方法,包括:准备刚性基底并清洗;在刚性基底上生长剥离层;在剥离层上沉积多层MEMS微纳线圈,相邻层的MEMS微纳线圈之间沉积薄膜隔离层,将多层MEMS微纳线圈互连,并在最顶层沉积薄膜绝缘层;在薄膜绝缘层上沉积薄膜种子层,再电镀金属应力层;调节金属应力层的厚度,将MEMS微纳线圈剥离;将MEMS微纳线圈与柔性基底进行集成;依次将金属应力层、薄膜种子层去除;在薄膜绝缘层上开孔;将多层MEMS微纳线圈进行互连并折叠。本申请通过可控剥离方法将刚性基底上多层互连的MEMS微纳线圈转移至柔性基底上,并通过柔性基底折叠形成多层堆叠结构,大幅提升线圈匝数,解决狭小空间下MEMS电磁能量采集器的低输出电压难题。

    一种无线温度监控系统的控制方法

    公开(公告)号:CN110780617A

    公开(公告)日:2020-02-11

    申请号:CN201910926146.1

    申请日:2019-09-27

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本申请公开了一种无线温度监控系统的控制方法,所述控制方法包括如下:基于温度采集器的第一控制方法以及基于上位机的第二控制方法,其中,所述第一控制方法和所述第二控制方法配合使用。本申请主要应用于无线温度监控系统,通过轮询的方式,实现了温度采集器的工作状态监测,且防止了数据传输的冲突,提高了数据传输的成功率;在实现高温预警,工作状态监测的同时,极大的降低了温度采集器的功耗;还可以实现上位机多种警示方式,温度数据图表显示以及数据的自动保存功能。

    一种磁电压电复合微能源采集器

    公开(公告)号:CN110336442A

    公开(公告)日:2019-10-15

    申请号:CN201910358946.8

    申请日:2019-04-29

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本申请公开了一种磁电压电复合微能源采集器,包括:外壳,磁电模块,其设置在所述外壳中,在外界振动刺激下,所述磁电模块产生感应电流和感应电动势;以及压电模块,其设置在所述外壳中并与所述磁电模块电连接。与现有技术相比,本申请发电效率高,能量转换效率高,通过将具有互补工作模式的压电模块、磁电模块两种发电模块集成设计,从而实现对机械能的高效采集。

    一种模块化设计的微能源采集装置

    公开(公告)号:CN110266175A

    公开(公告)日:2019-09-20

    申请号:CN201910356928.6

    申请日:2019-04-29

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本申请公开了一种能量收集装置,包括:外壳,其内具有筒形结构,所述外壳底部设有一安装位,第一磁铁仓,其与所述外壳底部的安装位可抽拉式连接,所述第一磁铁仓设有第一凹槽,第一磁铁,其设置在所述第一凹槽内,第三磁铁,其与所述第一磁铁同极相对设置并悬浮设置在所述筒形结构内部,以及,至少一个线圈仓,其可拆卸设置在所述外壳上,所述线圈仓内容纳有发电线圈。本申请采用模块化设计,通过第一磁铁、第二磁铁与第三磁铁的匹配关系,确定第三磁铁最佳的平衡位置、切割磁力线位置、振幅及谐振频率,以实现在不同振动环境下电能的输出最大化,通过模块化设计提高其在不同振动环境下的高适应性和谐振频率最佳化。

    一种晶圆键合方法以及相应的异质衬底制备的方法

    公开(公告)号:CN109786229A

    公开(公告)日:2019-05-21

    申请号:CN201811482391.X

    申请日:2018-12-05

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明提供了一种能在常温下实现不同晶圆材料实现良好键合的晶圆键合方法,其特征在于,包括以下步骤:步骤1,提供第一晶圆以及第二晶圆,第一晶圆具有满足预定条件的第一键合面,第二晶圆具有满足预定条件的第二键合面;步骤2,对第一晶圆以及第二晶圆在常温下进行键合前预处理;步骤3,将经步骤2处理后的第一晶圆的第一键合面与第二晶圆的第二键合面进行键合,其中,步骤2中,键合前预处理包括等离子活化和预定清洗;步骤3中,是在常温条件下,并在真空或保护气氛条件下进行预键合得到预键合体,再将该预键合体,在压力范围为1000N-12000N以及真空度为9.8×10-3-1.1×10-8Pa的条件下,保持0.5-20h,完成最终键合。

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