流体控制阀
    21.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101737552A

    公开(公告)日:2010-06-16

    申请号:CN200910223602.2

    申请日:2009-11-16

    CPC classification number: F16K11/07 F16K31/082 Y10T137/8671

    Abstract: 本发明提供可缩短其在阀芯的轴线方向上的长度的流体控制阀。该流体控制阀包括可滑动地容纳在套筒部件(10)内的阀芯(20)和在滑动方向上对阀芯(20)施加推力的弹簧(23a、23b),还包括:沿阀芯的轴线方向延伸形成于阀芯(20)上的中间部(20c)(强磁体部分);夹着中间部(20c)相向配置在与阀芯(20)的轴线方向垂直的方向上、相互之间形成沿轴线方向排列且彼此反向的磁场、并且在阀芯(20)的轴线方向上被形成为比中间部(20c)长的永磁体(50a、50b);相对于永磁体(50a、50b)配置在与阀芯(20)的轴线方向垂直的方向上且通电后将产生穿过相向的永磁体(50a、50b)的磁场的线圈(40a、40b)。

    流路块和流体供给控制装置

    公开(公告)号:CN104696569A

    公开(公告)日:2015-06-10

    申请号:CN201410730209.3

    申请日:2014-12-04

    CPC classification number: F16K27/00 F16K31/1225 H01L21/02

    Abstract: 本发明的目的是保持装置良好的可维护性并且使这种装置更加小型化或集成化。流路块的结构为,在内部形成有流体的流路,在排列方向上排列多个流体控制器件并能够进行安装。此外,流路块的结构为,将在排列方向上排列的多个流体控制器件的组在宽度方向上排列并能够进行安装。作为上述流路的第一流路沿排列方向设置以使得构成上述组的多个流体控制器件互相连接。作为上述流路的第二流路沿宽度方向设置,以使得各个上述组相互连接。本发明的特征在于,流路块具有连接部。在将两个流路块在所述宽度方向上并列地相邻配置的状态下,该连接部能够将两个所述流路块的第二流路互相连接。

    液体汽化系统
    25.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102470282B

    公开(公告)日:2013-02-13

    申请号:CN201080027864.2

    申请日:2010-03-30

    CPC classification number: B01B1/005

    Abstract: 本发明提供一种能够解决液体材料残留问题并能促进液体材料汽化的液体汽化系统。液体汽化系统10设置有液体汽化装置20。本装置20包括泵11和汽化器12。汽化器12包括箱体21、设于箱体21内部的加热器、通过加热器加热的蓄热板23、及设于蓄热板23上的筛网24。筛网24通过编织线材24a来形成且整体上呈平板状。蓄热板23的顶面层叠有筛网24,以在蓄热板23上通过筛网24形成细微的凹凸。筛网24的上方设有喷嘴27,液体材料从该喷嘴27滴至蓄热板23(筛网24)上。液体材料在蓄热板23上扩散为薄膜状并在蓄热板23的顶面被加热汽化。

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