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公开(公告)号：CN114252537B
公开(公告)日：2023-11-21
申请号：CN202111647501.5
申请日：2021-12-29
Applicant: 北京彤程创展科技有限公司 , 上海彤程电子材料有限公司 , 彤程新材料集团股份有限公司
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公开(公告)号：CN115947648A
公开(公告)日：2023-04-11
申请号：CN202211695370.2
申请日：2022-12-28
Applicant: 北京彤程创展科技有限公司 , 上海彤程电子材料有限公司 , 北京科华微电子材料有限公司 , 彤程新材料集团股份有限公司
Abstract: 本申请提供一种交联剂及其制备方法、光刻胶，属于光刻技术领域。光刻胶包括溶质和第一溶剂，其中，溶质包括70wt％～95wt％碱溶性树脂、1wt％～30wt％光致产酸剂、0.1wt％～15wt％酸淬灭剂和5wt％～20wt％上述的交联剂，第一溶剂的质量为碱溶性树脂的质量的1倍～10倍。本申请的交联剂能够用于添加到光刻胶中，并使得光刻胶的基体树脂的交联反应更加均匀，减少或避免局部分子量太大引起的形貌缺陷，得到的图形线条边缘更加垂直，且窗口更大。
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公开(公告)号：CN115925645A
公开(公告)日：2023-04-07
申请号：CN202211695383.X
申请日：2022-12-28
Applicant: 上海彤程电子材料有限公司 , 北京彤程创展科技有限公司 , 北京科华微电子材料有限公司 , 彤程新材料集团股份有限公司
IPC: C07D251/70 , G03F7/004 , G03F7/038
Abstract: 本申请提供一种交联剂及其制备方法、光刻胶，属于光刻技术领域。光刻胶包括溶质和第一溶剂，其中，溶质包括70wt％～95wt％碱溶性树脂、1wt％～30wt％光致产酸剂、0.1wt％～15wt％酸淬灭剂和5wt％～20wt％上述的交联剂，第一溶剂的质量为碱溶性树脂的质量的1倍～10倍。本申请的交联剂能够用于添加到光刻胶中，并使得光刻胶的基体树脂的交联反应更加均匀，减少或避免局部分子量太大引起的形貌缺陷，得到的图形线条边缘更加垂直，且窗口更大。
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公开(公告)号：CN115901837A
公开(公告)日：2023-04-04
申请号：CN202211722801.X
申请日：2022-12-30
Applicant: 北京彤程创展科技有限公司 , 上海彤程电子材料有限公司 , 彤程新材料集团股份有限公司
IPC: G01N24/08
Abstract: 本申请实施例提供一种酚醛树脂中羟基的测定方法，属于材料检测技术领域。包括获取待测酚醛树脂的13C‑NMR谱图，并基于13C‑NMR谱图进行以下判断：确定103±2ppm位移处是否有信号，若有信号则待测酚醛树脂含有二元酚；和/或，积分165～148ppm位移处信号记为A1，积分148～144ppm位移处信号记为A2，积分144～95ppm位移信号为A3，根据A1、A2和A3计算待测酚醛树脂中的羟基和/或二元酚含量。该测定方法根据特定位移处的信号确定是否含有二元酚，能较为快速准确地判断酚醛树脂中是否含有二元酚；积分特征位移处信号，基于积分信号结果能较为准确地计算酚醛树脂中的羟基和/或二元酚含量。
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公开(公告)号：CN115974880A
公开(公告)日：2023-04-18
申请号：CN202211695259.3
申请日：2022-12-28
Applicant: 上海彤程电子材料有限公司 , 北京彤程创展科技有限公司 , 北京科华微电子材料有限公司 , 彤程新材料集团股份有限公司
IPC: C07D487/04 , G03F7/004
Abstract: 本申请提供一种交联剂及其制备方法、光刻胶，属于光刻技术领域。光刻胶包括溶质和第一溶剂，其中，溶质包括70wt％～95wt％碱溶性树脂、1wt％～30wt％光致产酸剂、0.1wt％～15wt％酸淬灭剂和5wt％～20wt％上述的交联剂，第一溶剂的质量为碱溶性树脂的质量的1倍～10倍。本申请的交联剂能够用于添加到光刻胶中，并使得光刻胶的基体树脂的交联反应更加均匀，减少或避免局部分子量太大引起的形貌缺陷，得到的图形线条边缘更加垂直，且窗口更大。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114279788A
公开(公告)日：2022-04-05
申请号：CN202111608421.9
申请日：2021-12-24
Applicant: 北京彤程创展科技有限公司 , 上海彤程电子材料有限公司 , 彤程新材料集团股份有限公司
IPC: G01N1/28 , G01N27/626
Abstract: 本申请涉及化合物分析的技术领域，具体公开了一种含重氮萘醌基的化合物中酚类骨架结构的鉴定方法。该鉴定方法具体包括以下步骤：待测样品与强碱试剂在醇环境下进行水解发应，获得包含特征产物的混合溶液；调节所述包含特征产物的混合溶液的pH，并进行除水处理，获得包含特征产物的上清液；对所述包含特征产物的上清液进行质谱检测，获得质谱图；分析质谱图，获得鉴定结果；所述待测样品包含苯酮结构的酚类骨架。本申请提供的鉴定方法更加简单、经济、快速、准确，且能够准确鉴定化合物中的3‑HBP和4‑HBP。
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公开(公告)号：CN114414711B
公开(公告)日：2023-10-13
申请号：CN202111647566.X
申请日：2021-12-29
Applicant: 北京彤程创展科技有限公司 , 上海彤程电子材料有限公司 , 彤程新材料集团股份有限公司
Abstract: 本申请涉及光刻胶分析技术领域，具体涉及一种光刻胶中鎓盐类光致产酸剂的鉴定方法，包括以下步骤：S1、光刻胶的预处理：向待测光刻胶样品中加入提取液，直至光刻胶样品中有沉淀物析出，去除沉淀物，得到待测清液；S2、待测清液的GC‑MS分析检测：待测清液采用气相色谱质谱联用仪进行检测，得到GC‑MS总离子流色谱图；S3、鎓盐类光致产酸剂的鉴定：在GC‑MS总离子流色谱图中分别提取m/z=186、262、431、281、393的特征离子碎片峰；通过比对提取离子色谱图中各组分的保留时间和质谱图，鉴别鎓盐类光致产酸剂。本申请采用GC‑MS方法对鎓盐光致产酸剂进行鉴定，满足微量分析，鉴定精准、判断快速。
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公开(公告)号：CN116223653A
公开(公告)日：2023-06-06
申请号：CN202211673620.2
申请日：2022-12-26
Applicant: 北京彤程创展科技有限公司 , 上海彤程电子材料有限公司 , 彤程新材料集团股份有限公司
Abstract: 本申请涉及分析化学的技术领域，具体公开了一种光刻胶中重氮萘醌类感光剂含量的测定方法。本申请公开的测定方法，具体包括以下步骤：利用有机溶剂将待测样品和重氮萘醌类感光剂标准品进行稀释，过滤，获得待测样品溶液和标准溶液；利用高效液相色谱仪测试所述待测样品溶液和所述标准溶液，计算得到所述待测样品中重氮萘醌类感光剂的含量。本申请提供的测定方法操作简单，检测效率高，且该测定方法具有线性良好、实验重复性好、测定结果精确度较高和准确度较高的优点。
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公开(公告)号：CN113461885B
公开(公告)日：2022-07-05
申请号：CN202110910692.3
申请日：2021-08-09
Applicant: 北京彤程创展科技有限公司 , 上海彤程电子材料有限公司 , 彤程新材料集团股份有限公司
Abstract: 本申请涉及光刻胶技术领域，具体公开了一种光刻胶用酚醛树脂及其制备方法。所述制备方法包括制备步骤和纯化步骤，制备步骤：单羟基甲酚、多羟基苯酚和醛类化合物在酸性催化剂和水的条件下进行反应，得到反应液；纯化步骤：首先中和剂中和反应液，并分出水相；然后进行水洗处理，并分出水相；最后在35~80℃温度下进行干燥，得到光刻胶用酚醛树脂。所述光刻胶用酚醛树脂是由上述制备方法制备而得。本申请通过在酚醛树脂的结构中适当引入多羟基苯酚，提高酚醛树脂的耐热性，进而提高光刻胶的感光灵敏度、分辨率和反差，同时还可以调节酚醛树脂的碱溶解速率。
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公开(公告)号：CN114252537A
公开(公告)日：2022-03-29
申请号：CN202111647501.5
申请日：2021-12-29
Applicant: 北京彤程创展科技有限公司 , 上海彤程电子材料有限公司 , 彤程新材料集团股份有限公司
Abstract: 本申请涉及光刻胶分析技术领域，具体公开了一种光刻胶中重氮甲烷类光致产酸剂的鉴定方法包括：S1、从待测的光刻胶样品中提取含有光致产酸剂的待测清液；待测清液经过GC‑MS分析检测，得到GC‑MS总离子流色谱图；S2、重氮甲烷类光致产酸剂的鉴定：在GC‑MS总离子流色谱图中提取特征离子碎片；通过逐一比对含有特征离子碎片的特征组分的保留时间和质谱图，鉴别特征离子碎片的峰是否为特征组分的信号峰；特征组分结构式如式I所示，m为1或2；R1和R2各自独立地选自直链或支链烷基、环烷基、芳基、酰基。本申请使用特征离子碎片的提取、以及保留时间和质谱图的双对比识别方法，从而使本申请获得了鉴定精准、判断快速的效果。
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