具有介孔核壳结构的铜CMP用复合微球及其制备方法、化学机械抛光液及其应用

    公开(公告)号:CN116144323B

    公开(公告)日:2025-02-28

    申请号:CN202211613769.1

    申请日:2022-12-15

    Abstract: 本发明涉及一种具有介孔核壳结构的铜CMP用复合微球及其制备方法、化学机械抛光液及其应用。该复合微球以介孔SiO2为核,CeO2为壳。制备时,先利用模板剂和硅源,通过模板法制备介孔SiO2微球,作为核壳结构的内核;再利用铈源和沉淀剂,分散合成具有介孔核壳结构的铜CMP用SiO2/CeO2复合微球。化学机械抛光液包括具有介孔核壳结构的铜CMP用SiO2/CeO2复合微球、缓蚀剂、氧化剂和络合剂。该抛光液应用于铜化学机械抛光。与现有技术相比,本发明制备的复合微球表面包覆均匀、单分散性好,制备工艺简单,可用于铜片化学机械抛光等领域。

    一种复合型纳米柴油降凝剂及其制备方法与应用

    公开(公告)号:CN114479965A

    公开(公告)日:2022-05-13

    申请号:CN202210054994.X

    申请日:2022-01-18

    Abstract: 本发明涉及一种复合型纳米柴油降凝剂及其制备方法与应用,制备方法包括以下步骤:1)将具有氨丙基的硅烷偶联剂及纳米二氧化硅加入至溶剂A中,并进行加热搅拌,经后处理得到纳米材料;2)将纳米材料及聚乙烯‑醋酸乙烯酯加入至溶剂B中,并进行熔融共混,经分离得到复合型纳米柴油降凝剂。与现有技术相比,本发明中,经硅烷偶联剂处理的纳米二氧化硅材料获得了有机相容性,再与油溶性聚合物复合制备出复合型纳米柴油降凝剂,有效增强了降凝效果,改善了柴油的低温流动性能,扩大纳米材料在柴油降凝剂领域的应用前景。

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