基于硅衬底的紧凑型MEMS电容式射频开关及制备方法

    公开(公告)号:CN105788971A

    公开(公告)日:2016-07-20

    申请号:CN201610150763.3

    申请日:2016-03-16

    CPC classification number: H01H59/0009 B81C1/0015 H01H49/00

    Abstract: 本发明提供一种基于硅衬底的紧凑型MEMS电容式射频开关及制备方法,开关由覆盖绝缘介质的硅衬底、一段叉指式共面波导传输线、可动极板组成,叉指式共面波导传输线、可动极板都设在硅衬底上,可动极板在固定极板上方,同时固定极板也是叉指式共面波导传输线的信号线;信号线与外接射频电路连接,通过在可动极板和固定极板间加一偏置电压,控制射频开关通断,从而控制外接射频信号通断;方法是在硅衬底上涂覆或沉积绝缘介质以隔离硅衬底与叉指式共面波导传输线,得到低插入损耗和高隔离度。本发明在硅衬底上覆盖介质层,有效减少硅衬底导致的损耗,以叉指式共面波导传输线作为传输路径,有效减小开关整体尺寸,方便调整传输线的结构参数。

    一种镁合金压铸余料废料的在线回收处理装置

    公开(公告)号:CN208055430U

    公开(公告)日:2018-11-06

    申请号:CN201820312711.6

    申请日:2018-03-07

    Abstract: 本实用新型公开了一种镁合金压铸余料废料的在线回收处理装置,该装置包括预处理室、熔炼室、精炼室和静置室,预处理室进行除油;熔炼室对炉料进行熔化;熔炼室与精炼室之间设置有过滤装置,精炼室进行气体精炼;精炼室与静置室相通,静置室安装有用于浇注的浇注系统;处理时:(1)在预处理室中除油;(2)在CO2+SF6混合气体的保护下熔炼,熔炼室温度控制在670℃~720℃;(3)精炼室经进气管通入惰性气体进行气体精炼;(4)精炼后的物料在静置室中保温后通过浇注系统在660℃~700℃进行浇注;本实用新型能够满足目前压铸现场对余料废料及时回收的要求,有利于资源的循环利用,提高材料的利用率并降低生产成本。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

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