激光放大装置及极紫外光发生装置

    公开(公告)号:CN115244801B

    公开(公告)日:2025-02-25

    申请号:CN202080098218.9

    申请日:2020-03-16

    Abstract: 具有:激光振荡器(20),其具有第1激光活性介质,该第1激光活性介质具有包含碳酸气体的混合气体,该激光振荡器(20)使半值全宽为15ns至200ns之间的脉冲激光振荡;以及激光放大器(30),其具有第2激光活性介质,该第2激光活性介质具有包含碳酸气体的混合气体,从激光振荡器(20)振荡的脉冲激光经过第2激光活性介质,由此缩短成半值全宽为5ns至30ns之间的脉冲激光而输出。

    气体激光放大器、气体激光装置、EUV光发生装置及EUV曝光装置

    公开(公告)号:CN114667651A

    公开(公告)日:2022-06-24

    申请号:CN201980102111.4

    申请日:2019-11-11

    Abstract: 气体激光放大器(10A)具有框体(11)、放电电极对(20A、20B)和光谐振器(40)。框体(11)具有:入射窗口(12),其从外部被射入第1激光;以及出射窗口(13),其将放大的第1激光射出。放电电极对(20A、20B)使供给至在框体(11)的内部相对而配置的放电电极(21A、22A、21B、22B)之间的激光气体发生激励。光谐振器(40)在第1激光没有从框体(11)的外部从入射窗口(12)射入至框体(11)的内部的非入射状态时,通过被激励的激光气体的增益使第2激光振荡,在第1激光从入射窗口(12)射入至框体(11)的内部的入射状态时,使第2激光的振荡停止。

    波长耦合激光器装置
    23.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110383607A

    公开(公告)日:2019-10-25

    申请号:CN201880015868.5

    申请日:2018-01-12

    Abstract: 波长耦合激光器装置(10)具有:半导体激光器,其从在激光耦合方向排列的多个发光部的出射端面(1b),向与激光耦合方向垂直的光轴的方向射出多个激光(6);波长耦合元件(3),其在激光耦合方向对多个激光进行耦合而作为1根激光进行输出;交叉耦合抑制光学系统(4),其在与从波长耦合元件输出的1根激光的光轴垂直的激光耦合方向具有正的焦度;以及部分反射镜(5),其对经过交叉耦合抑制光学系统的1根激光进行反射并使其透过而射出,在由光轴和激光耦合方向所成的平面内,通过将出射端面和部分反射镜共轭地连结,从而以将出射端面在部分反射镜之上成像的方式配置有交叉耦合抑制光学系统。

    激光装置
    24.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110337763A

    公开(公告)日:2019-10-15

    申请号:CN201780077849.0

    申请日:2017-01-20

    Abstract: 本发明提供一种激光装置(100-1),其与产生波长彼此不同的激光束的多个激光介质(11),使从多个激光介质(11)各自射出的激光束通过重叠透镜(2)在分散元件(3)上重叠为1个而进行耦合,在该激光装置(100-1)中,分散元件(3)配置在通过重叠透镜(2)将多个激光束重叠为1个的位置,并且使多个激光束的一部分作为第1激光束而向激光介质(11)侧返回,使多个激光束的一部分作为具有1个光轴的第2激光束而输出。

    激光加工装置
    25.
    发明公开

    公开(公告)号:CN104379296A

    公开(公告)日:2015-02-25

    申请号:CN201380031615.4

    申请日:2013-05-31

    Abstract: 为了得到能够使用光路结构不特别复杂的反射型扩束机构,而充分抑制光束发散角,并且将无像差且具有期望光束直径的激光照射到被加工材料上的激光加工装置,在本发明的激光加工装置中,具有:激光振荡器(1);加工工作台(2);传输光学系统,其将从激光振荡器(1)射出的激光(L)传输至加工工作台(2);加工头(4),其将经由传输光学系统传输的激光(L)聚光照射至被加工材料;移动单元(5),其使照射至被加工材料的激光(L)和被加工材料的相对位置发生变化;以及球面曲率可变反射镜(67)。传输光学系统具有对来自激光振荡器(1)的激光进行平行化且扩大的反射型扩束机构(6),反射型扩束机构(6)设为包含球面反射镜(63)、以及正交的2个轴的曲率不同的凹反射镜(62)的结构。

    气体激光放大器、气体激光装置、EUV光发生装置及EUV曝光装置

    公开(公告)号:CN114667651B

    公开(公告)日:2025-03-21

    申请号:CN201980102111.4

    申请日:2019-11-11

    Abstract: 气体激光放大器(10A)具有框体(11)、放电电极对(20A、20B)和光谐振器(40)。框体(11)具有:入射窗口(12),其从外部被射入第1激光;以及出射窗口(13),其将放大的第1激光射出。放电电极对(20A、20B)使供给至在框体(11)的内部相对而配置的放电电极(21A、22A、21B、22B)之间的激光气体发生激励。光谐振器(40)在第1激光没有从框体(11)的外部从入射窗口(12)射入至框体(11)的内部的非入射状态时,通过被激励的激光气体的增益使第2激光振荡,在第1激光从入射窗口(12)射入至框体(11)的内部的入射状态时,使第2激光的振荡停止。

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