激光装置及激光加工机
    25.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118302921A

    公开(公告)日:2024-07-05

    申请号:CN202280077132.7

    申请日:2022-04-21

    Abstract: 激光装置(100)具有:脉冲光源(1),其使信号光(11)产生;激励光源(2),其使激励光(12)产生;以及多个激光介质(4a、4b),它们在信号光(11)的光路串联地排列,分别由激励光(12)激励而使信号光(11)放大。多个激光介质(4a、4b)之中的来自脉冲光源(1)的信号光(11)最后射入的激光介质(4b)的光轴方向长度,比多个激光介质(4a、4b)之中的来自脉冲光源(1)的信号光(11)首先射入的激光介质(4a)的光轴方向长度更短。

    激光加工装置
    26.
    发明公开
    激光加工装置 审中-实审

    公开(公告)号:CN116157223A

    公开(公告)日:2023-05-23

    申请号:CN202080104534.2

    申请日:2020-08-27

    Abstract: 激光加工装置(50)具有:驱动部(5),其对加工头(2)和工件(W)的相对位置进行变更,该加工头(2)包含将从激光振荡器(1)射出的激光会聚而对工件(W)进行照射的聚光光学系统;控制部(3),其基于与激光加工相关的数值参数即加工参数对激光振荡器(1)、加工头(2)及驱动部(5)进行控制而执行加工;加工状态观察部(52),其对通过激光的照射而从工件(W)发出的光即加工光(8)的预先决定的多个关注波段的光强度进行检测而作为多个光传感器信号;特征量提取部(53),其对多个光传感器信号之间的相关指标、能够从一个光传感器信号得到的特征量的至少任一个进行提取;以及校正量计算部(55),其基于特征量,将用于执行校正的加工参数决定为校正参数,决定校正参数的校正量。

    波长耦合激光器装置
    27.
    发明授权

    公开(公告)号:CN110383607B

    公开(公告)日:2021-03-02

    申请号:CN201880015868.5

    申请日:2018-01-12

    Abstract: 波长耦合激光器装置(10)具有:半导体激光器,其从在激光耦合方向排列的多个发光部的出射端面(1b),向与激光耦合方向垂直的光轴的方向射出多个激光(6);波长耦合元件(3),其在激光耦合方向对多个激光进行耦合而作为1根激光进行输出;交叉耦合抑制光学系统(4),其在与从波长耦合元件输出的1根激光的光轴垂直的激光耦合方向具有正的焦度;以及部分反射镜(5),其对经过交叉耦合抑制光学系统的1根激光进行反射并使其透过而射出,在由光轴和激光耦合方向所成的平面内,通过将出射端面和部分反射镜共轭地连结,从而以将出射端面在部分反射镜之上成像的方式配置有交叉耦合抑制光学系统。

    激光振荡装置
    28.
    发明授权

    公开(公告)号:CN110036544B

    公开(公告)日:2020-07-24

    申请号:CN201780074812.2

    申请日:2017-03-01

    Abstract: 具有:多个激光介质(1、2),它们所发出的激光束的波长不同;衍射光栅(3),其使从多个激光介质(1、2)射入的多个激光束重叠地射出;部分反射镜(4),其对从衍射光栅(3)射出的多个激光束的一部分进行反射而使其返回至衍射光栅(3),使剩余部分透过;以及多个透镜(5、6),它们分别配置于多个激光介质(1、2)的每一个和衍射光栅(3)之间,多个透镜(5、6)各自针对在多个激光介质(1、2)和衍射光栅(3)之间形成的每个光路进行配置,使来自多个激光介质(1、2)的激光束在向衍射光栅(3)的入射面上以同一外径进行重叠。

    基板测量装置及激光加工系统

    公开(公告)号:CN109475974A

    公开(公告)日:2019-03-15

    申请号:CN201780042748.X

    申请日:2017-06-16

    Abstract: 基板测量装置(1)具有:测量用照相机(8),其取得基板(5)的图像数据,该基板(5)设置有定位用的对准标记(7),具有被激光加工后的被加工部(6);测量工作台(4),其搭载基板(5),对基板(5)和测量用照相机(8)的相对位置进行变更;图像处理部(12),其基于图像数据及测量工作台(4)的位置信息,求出对准标记(7)的测量位置坐标及被加工部(6)的测量位置坐标;变换系数计算部(13),其求出从对准标记(7)的测量位置坐标向对准标记(7)的设计位置坐标的变换系数;以及加工误差计算部(14),其使用变换系数将被加工部(6)的测量位置坐标坐标变换为变换后位置坐标,根据变换后位置坐标和被加工部(6)的设计位置坐标之差而求出加工误差。

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