公开(公告)号：CN101803038B

公开(公告)日：2012-02-29

申请号：CN200880107564.8

申请日：2008-09-17

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 山向干雄 ,  折田泰 ,  山林弘也

IPC: H01L31/04

CPC classification number: H01L31/022466 ,  H01L31/046 ,  H01L31/0463 ,  H01L31/076 ,  Y02E10/548

Abstract: 本发明的目的在于实现更高发电效率的薄膜太阳能电池元件，适用于在背面电极层与光电变换层之间以及层叠的多个光电变换层之间插入了透明电极层的纵列结构的薄膜太阳能电池元件。第一电传导路径(6)，在贯通中间透明电极层(4)和第一绝缘层(5)的微细孔处形成导电性材料的薄膜(电阻率＜10-4Ω·cm)而构成，使第一和第二光电变换层(3)、(7)相互电连接。具有同样结构的第二电传导路径(16)也使第二光电变换层(7)和背面电极层(9)相互电连接。由第一和第二电传导路径(6)、(16)构成的电传导路径的总面积，相对于单元电池的面积，设定在1×10-7以上、4×10-6以下的范围内。上述导电性材料由铂、金、铬、钌和氮化钛中的任一种形成。

公开(公告)号：CN102239571A

公开(公告)日：2011-11-09

申请号：CN200980148258.3

申请日：2009-11-20

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 时冈秀忠 ,  山林弘也 ,  折田泰

IPC: H01L31/075 ,  H01L27/142

CPC classification number: H01L31/022425 ,  H01L31/0463 ,  H01L31/0465 ,  Y02E10/50

Abstract: 包括：第1工序，以使相邻的薄膜光电变换单元之间电串联连接的方式，在透光性绝缘基板上，依次形成第1电极层、光电变换层、以及第2电极层，其中，该光电变换层是依次层叠了第1导电类型半导体层、第2导电类型半导体层和第3导电类型半导体层；第2工序，形成从所述第2电极层的表面到达所述第1电极层的分离槽，从而进行单元分离为多个薄膜光电变换单元；以及第3工序，在所述第2工序之后对所述光电变换层的所述分离槽的侧壁部进行氧化处理而使所述光电变换层的所述分离槽的侧壁部改性为绝缘层。