放电加工装置
    22.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1935435A

    公开(公告)日:2007-03-28

    申请号:CN200610132092.4

    申请日:2003-12-05

    CPC classification number: B23H7/30 B23H7/26 B23H7/265 B23H7/28

    Abstract: 本发明得到了应答驱动性提高且加工速度也提高了的放电加工装置。本发明的放电加工装置包括:顶端部指向被加工物(2)且在与被加工物(2)之间加上电压后进行放电的加工用电极(1);与该加工用电极(1)连接的驱动轴(7);向电磁铁部(40b、50b、51b)供给电流来控制电磁铁部(40b、50b、51b)的吸引力并使前述驱动轴(7)向作为轴线的Z轴方向、与Z轴方向垂直交叉的Y轴方向和与Y轴方向及Z轴方向垂直交叉的X轴方向的(3)方向移动且具有磁轴承(40、50、51)的电极驱动装置(5);与前述驱动轴(7)的端部连接且能在前述三方向上移动的联轴节(100);与该联轴节(100)的端部连接且通过联轴节(100)使前述驱动轴(7)旋转的电动机(20)。

    放电加工装置以及放电加工方法

    公开(公告)号:CN1261273C

    公开(公告)日:2006-06-28

    申请号:CN01803195.1

    申请日:2001-09-19

    CPC classification number: B23H7/32 B23H7/26 B23H7/28 B23H7/30 B23H2400/10

    Abstract: 本发明的放电加工装置,它具有安装加工用电极(101)的电极安装单元(106);电极驱动单元,该电极驱动单元由沿着径向非接触地支撑以及驱动电极安装单元(106)的径向驱动单元(107)、(108)和沿着轴向非接触地支撑以及驱动电极安装单元(106)的轴向驱动单元(111)、(112)构成,并通过由电极驱动单元调整加工用电极(101)的位置从而控制加工状态。根据这样的结构,通过抑制必须同时与电极驱动的部分的质量增加,实现X轴、Y轴、Z轴方向的高速响应性,实现能够改善加工速度和加工精度的放电加工装置。

    放电加工装置
    24.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1096326C

    公开(公告)日:2002-12-18

    申请号:CN97102548.7

    申请日:1997-02-26

    CPC classification number: B23H1/04 B23H1/06

    Abstract: 本发明要解决在放电加工热分解碳时加工极不稳定的问题。本发明在工具电极或加工物的至少一方使用有各向异性导电材料的放电加工装置中,在各向异性导电材料2的良导体面20b上,设置了连接各向同性导电体22的部分。使放电发生于各向异性导电材料2的良导电面20b上。使用导电性粘接剂23粘接各向异性导电材料2和各向同性导电体22。各向异性导电材料是热分解碳材料。热分解碳材料作为工具电极材料。纯水等不燃性加工液作为加工液。

    电火花加工机床
    26.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1133217A

    公开(公告)日:1996-10-16

    申请号:CN95120521.8

    申请日:1995-12-06

    CPC classification number: B23H7/18

    Abstract: 一种用电火花加工一个工件的电火花加工机床,对电极与工件之间间隙供给加工流体,并且在给电极提供跳动的同时,给工件供给脉冲,所述跳动是电极相对工件的一个周期性移动;其中所述电火花加工机床探测在电极与工件之间间隙中由加工操作产生的反作用力在电火花加工机床的主体中引起的状态量,并且按照状态量的探测值改变工件的加工条件。

    线放电加工装置、线放电加工方法及晶片的制造方法

    公开(公告)号:CN119300938A

    公开(公告)日:2025-01-10

    申请号:CN202280096254.0

    申请日:2022-06-17

    Inventor: 三宅英孝

    Abstract: 线放电加工装置具有:一对加工液整流板,它们与电源连接,以夹着被加工物的方式与被加工物的两侧接触而设置,具有导电性;一对喷嘴(7a、7b),它们具有被多个切断线部(1b)插入贯穿,朝向被一对加工液整流板夹着的空间喷出加工液,对多个切断线部(1b)和被加工物(W)之间的间隙供给加工液的多个加工液喷出孔(7c);切断进给台,其使一对加工液整流板相对于多个切断线部(1b)在上下相对移动;被加工物按压部(72),其从被加工物(W)及多个切断线部(1b)的上方对在切断加工中分断的被加工物(W)进行保持;以及下方被加工物保持部,其从下方相对于被加工物(W)进行接触而对被加工物(W)进行保持,具有导电性。

    线放电加工装置及半导体晶片的制造方法

    公开(公告)号:CN107073613B

    公开(公告)日:2019-04-16

    申请号:CN201480082164.1

    申请日:2014-09-24

    Abstract: 控制部(14)对切断加工和形状修正加工进行控制,切断加工是指,通过一边使被加工物(5)沿与主引导辊(1a~1d)的轴向垂直的面相对于切断线部(CL)在与切断线部(CL)垂直的方向上相对地移动,一边通过放电加工同时进行多个晶片的切断,并且将切断中途的多个晶片的一部分与被加工物(5)连结的连结部残留下来,形状修正加工是指,使多个切断线部(CL)以切断加工时的切断方向上的切断线部(CL)的轨迹一边进行放电加工、一边进行扫描,对在切断加工时切断加工出的多个切断加工面的形状同时进行修正加工。

    线电极放电加工装置、线电极放电加工方法、薄板制造方法、以及半导体晶片制造方法

    公开(公告)号:CN104053520A

    公开(公告)日:2014-09-17

    申请号:CN201280067416.4

    申请日:2012-12-17

    CPC classification number: B23H7/06 B23H1/028 B23H7/02 B23H7/10

    Abstract: 本发明的目的在于防止在端面加工中由加工电流从不产生放电的切断线电极部流入而导致的线电极的断裂、加工面精度的降低,在本发明的线电极放电加工装置中具有控制部件,该控制部件基于被加工物的端面和与该端面非平行的包含多个切断线电极的面所成的角度、切断线电极的并列间隔、以及切断线电极和被加工物的相对距离,选择由脉冲电压产生单元施加脉冲电压的切断线电极,驱动单元构成为,在不与包含多个切断线电极的面垂直的方向驱动被加工物,通过施加脉冲电压对被加工物进行放电加工从而进行切断。

Patent Agency Ranking