公开(公告)号：CN1531021A

公开(公告)日：2004-09-22

申请号：CN200410032662.3

申请日：2004-03-15

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 李晋成 ,  李瞳雨 ,  金兑圭 ,  金商甲 ,  申东和

IPC: H01L21/027 ,  G03F7/40

CPC classification number: H01L21/67109

Abstract: 提供一种包括使用热管制造的冷却装置的烘干系统。在包括其上放置有一个将要进行烘干的晶片的板和对板进行加热的加热器的烘干系统中，冷却装置包括：冷却元件，设置成与板相对，同时加热器在板和冷却元件之间，并且使用内部冷却剂的汽化对板进行冷却；冷却剂存放箱，当对板进行冷却时给冷却元件供应冷却剂，当板被加热时存放冷却剂；冷却水存放箱，当对板进行冷却时使冷却水循环通过冷却元件，以将供应给冷却元件内的冷却剂的温度保持恒定；冷却水供应管线，其是冷却元件内的冷却水的流径，并且使冷却元件与冷却水存放箱相互连接。整个烘干板能均匀地加热和冷却，并且冷却所需要的时间显著地由几分钟减少到几十秒。