制造整体式喷墨打印头的方法

    公开(公告)号:CN1302931C

    公开(公告)日:2007-03-07

    申请号:CN200410011813.7

    申请日:2004-09-23

    CPC classification number: B41J2/1626 B41J2/1603 B41J2/1631

    Abstract: 一种制造整体式喷墨打印头的方法包括:在一基底上形成加热器和用于向该加热器供给电流的电极;通过向基底上涂敷负型光致抗蚀剂并且对其进行图案化处理,形成环绕在油墨通道周围的通道形成层;至少利用两次光刻,通过反复向具有通道形成层的基底上涂敷正型光致抗蚀剂并且对其构图处理,在由通道形成层环绕起来的空间中形成具有平整顶表面的牺牲层;通过向通道形成层和牺牲层上涂敷负型光致抗蚀剂并且对其构图,形成具有喷嘴的喷嘴层;从基底的底表面对该基底进行蚀刻来进行打孔,并且形成油墨供给孔;以及去除牺牲层。由于牺牲层的顶表面被平整化,所以可轻易控制油墨通道的形状和尺寸,由此提高油墨通道的均一度。

    热驱动喷墨打印头
    25.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1899826A

    公开(公告)日:2007-01-24

    申请号:CN200610106170.3

    申请日:2006-07-20

    CPC classification number: B41J2/1404 B41J2002/14387

    Abstract: 一种热驱动喷墨打印头,包括:基板;在所述基板上形成的加热器;堆叠在所述基板上的墨室层,用于限定所述加热器上部上的墨室以及在墨室一侧的将墨供应到所述墨室的墨进给孔;堆叠在所述墨室层上的中间层,在所述中间层内形成连接到所述墨室的通孔;以及堆叠在所述中间层上的喷嘴层,在所述喷嘴层中形成连接到所述通孔的喷嘴。所述通孔连接到所述墨进给孔且其横截面面积小于所述加热器的尺寸。

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