公开(公告)号：CN109037095A

公开(公告)日：2018-12-18

申请号：CN201810423887.3

申请日：2018-05-04

申请人： 株式会社尤金科技

发明人： 姜盛晧 ,  金苍乭 ,  李相敦

IPC分类号： H01L21/67 ,  C23C16/455

CPC分类号： C23C16/45546 ,  C23C16/4412 ,  C23C16/45504 ,  C23C16/45578 ,  C23C16/4584 ,  C23C16/46 ,  H01L21/67011 ,  C23C16/45544

摘要： 本公开涉及一种用于处理衬底的装置，且更具体来说涉及一种能够允许衬底处理气体在衬底上顺畅地流动的用于处理衬底的装置。根据示例性实施例的用于处理衬底的装置可通过设置在内部反应管的一侧上的气体供应单元及设置在内部反应管的面对气体供应单元的另一侧上以一直延伸到内部反应管的容置空间中基座的容置区外部的排放管道来形成层流，且控制被供应到衬底上的衬底处理气体的流动。