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公开(公告)号：CN115808855A
公开(公告)日：2023-03-17
申请号：CN202310082103.6
申请日：2023-02-08
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种基于特种光纤的边缘抑制并行激光直写装置和方法，包括抑制光路、激发光路和光路单元；所述激发光路和抑制光路通过光路单元中的二向色镜合束形成激发‑抑制组合光斑，通过激发光的双光子效应引发负性光刻胶的光聚合，同时引入抑制光束阻止激发光的焦斑边缘位置的光刻胶聚合，从而使得直写式光刻的最小特征尺寸突破光学衍射极限限制，刻写精度达到亚50nm精度级别。本发明提供一种使用特种光纤直接产生涡旋光方案替代空间光调制单元，可以极大简化系统结构和降低系统成本；同时提供一种通过多通道分光单元和光纤阵列组件产生光纤阵列并行直写方案，可以极大的提升系统刻写速度。
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公开(公告)号：CN115755527A
公开(公告)日：2023-03-07
申请号：CN202211447300.5
申请日：2022-11-18
Abstract: 本发明公开了一种无光引发剂的光刻胶及其制备方法、图案化方法，该光刻胶按质量百分比计，由4‑84wt％的含硅氢键化合物A、1‑86wt％含羟基化合物B和0‑91wt％溶剂C组成。本发明的光刻胶无需额外添加光引发剂，通过激光诱导硅氢键和羟基进行反应，形成交联网络，从而显影后得到图案，操作简单，环境友好；同时，含硅氧烷结构的光刻胶体系具有耐腐蚀、耐氧化稳定性、电绝缘和耐高温等特性。
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公开(公告)号：CN115755525A
公开(公告)日：2023-03-07
申请号：CN202211589197.8
申请日：2022-12-12
IPC: G03F7/027 , G03F7/20 , C08F222/14 , C08F220/18 , C08F222/20 , C08F122/14
Abstract: 本发明属于光刻胶、飞秒激光直写、光子集成和光波导技术领域，并公开了一种高折射率激光直写液态光刻胶及高曲率光子引线的制备方法，包括光刻胶组合物、激光直写系统和高曲率光子引线的设计和制作方法，本发明所述的高折射率光刻胶组合物由芴系丙烯酸酯、多官能度丙烯酸酯单体和光引发剂组成，所述的光刻胶组合物在可以进行高速飞秒激光直写，并且在显影后得到的结构具有很低的体积收缩率、高折射率和高力学性能，能轻松大批量地实现高曲率光子引线的制备。由本发明光刻胶通过飞秒激光直写技术得到的高曲率、高折射率光子引线在光通信波段具有高透光率和优秀的光传导效率，极大地利于光子集成和光波导，有望在工业生产中大批使用。
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公开(公告)号：CN115248538B
公开(公告)日：2022-12-27
申请号：CN202211157008.X
申请日：2022-09-22
Abstract: 本发明公开了一种DMD无掩膜光刻机的投影物镜镜头，从入射方向开始依次设置：具有正光焦度第一透镜组；光阑；具有负光焦度第二透镜组；具有正光焦度第三透镜组；其中：第一透镜组接收从DMD出射的光线，包含3个光焦度依次为负、正、负的透镜；第二透镜组收集从第一透镜组出射的光线，并将其出射至第三透镜组，第二透镜组包含四个光焦度依次为正、负、正、负的透镜；第三透镜组收集从第二透镜组出射的光线，并将其聚焦于基底，第三透镜组包含4个光焦度依次为正、正、正、负的透镜；所述透镜均处于同一光轴。本发明能校正多种像差，特别是畸变、场曲、像散、轴向色差、倍率色差。
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公开(公告)号：CN115291377A
公开(公告)日：2022-11-04
申请号：CN202210931908.9
申请日：2022-08-04
Applicant: 之江实验室
Abstract: 本发明公开了一种光纤共聚焦显微内窥成像装置和方法，包括：光源模块，用于提供照明光束；分束器，用于分开照明和信号光束；准直微透镜阵列，用于会聚照明子光束和准直信号子光束；光纤阵列，用于传输照明和信号子光束；成像微透镜阵列，用于会聚照明子光束到待检测样品，并接收被照明区域信号子光束；扫描模块，用于控制成像端三维扫描；探测模块，用于导入信号子光束到探测器；控制单元，用于发送控制命令和采集信号，并且处理和显示样品图像。所述方法和装置的特征在于，每一组准直和成像微透镜分别集成在单根光纤的两个端面；单根光纤对应一个独立成像通道。该装置和方法在手持式或小动物在体共聚焦显微成像方面应用前景巨大。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115201953A
公开(公告)日：2022-10-18
申请号：CN202211009602.4
申请日：2022-08-22
Applicant: 之江实验室
IPC: G02B5/18
Abstract: 本发明公开了一种双工作波段高衍射效率复合反射光栅，包括透明基底、设置于透明基底上的周期性高折射率栅条和设置于高折射率栅条上表面的金属薄膜；高折射率栅条的折射率大于透明基底的折射率；高折射率栅条的周期、高折射率栅条的斜面与光栅平面的夹角、高折射率栅条的折射率、光栅工作短波段的中心波长和光栅工作长波段的中心波长满足由反射定律、折射定律和光栅衍射方程得出的定量关系式，金属薄膜的厚度满足由趋肤效应得出的定量关系式。本发明的复合反射光栅可以在间隔超过400nm的两个中心波长处同时实现高于90％的衍射效率。
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公开(公告)号：CN115185160A
公开(公告)日：2022-10-14
申请号：CN202211099107.7
申请日：2022-09-09
Abstract: 本发明公开了一种基于纤维素衍生物的激光直写光刻胶组合物及图案化方法，其特征在于，按质量百分比计，由4‑8wt%纤维素衍生物，4‑8wt%活性单体，0.1‑0.5wt%光敏剂及85‑90wt%溶剂构成。由纤维素衍生物作为飞秒激光直写光刻胶的固态成膜树脂，可以在光刻胶涂膜后将光刻胶固态化，并通过空气物镜的方式进行飞秒激光直写加工，而无需使用折射率匹配油，以方便进行大面积激光直写，并节省光刻胶的用量。同时，纤维素衍生物来源广泛，价格便宜，具有优异的生物可降解性，采用的活性单体和光敏剂也均具有生物相容性，最终光刻胶组合物几乎无毒，使用完毕后可快速的生物降解，不会对环境造成污染。
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公开(公告)号：CN114755884A
公开(公告)日：2022-07-15
申请号：CN202210663716.4
申请日：2022-06-14
Applicant: 之江实验室
Abstract: 本发明公开了一种有机‑无机杂化飞秒激光直写光刻胶，按质量百分比计，由4‑6wt%的酸A、2‑3wt%的单体B、2‑3wt%硫醇化合物C、0.2‑1.0wt%光引发剂D及87‑91.8wt%溶剂E组成。酸A为锆基丙烯酸酯或甲基丙烯酸酯或两者的混合物，作为飞秒激光直写光刻胶的固态成膜树脂，可以在光刻胶涂膜后将光刻胶固态化，由此降低加工过程中活性种的扩散以提高精度和分辨率，同时提升光刻胶的力学强度，降低体积收缩率等。所述硫醇化合物C与酸A、单体B可以通过巯基烯点击反应高效快速的交联形成网络结构。同时硫醇化合物C具有抗氧阻聚的作用，可高效地的提升飞秒激光直写的速度。
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公开(公告)号：CN114488692A
公开(公告)日：2022-05-13
申请号：CN202210392310.7
申请日：2022-04-15
Abstract: 本发明属于光刻胶、激光直写和显微成像技术领域，并公开了一种基于双光子吸收效应的光刻胶组合物及系统，包含光刻胶组合物、激光直写和受激发射损耗成像方法及其系统。所述光刻胶组合物有光引发剂、单体和荧光染料组成。所述光刻胶组合物在进行飞秒激光直写和显影后具有较强的荧光效应。激光直写样品无需镀金，通过STED显微镜来进行荧光成像，实现微纳结构的无损分析。
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公开(公告)号：CN114486892A
公开(公告)日：2022-05-13
申请号：CN202210063094.1
申请日：2022-01-20
Abstract: 本发明公开了一种基于声光偏转扫描的结构光照明显微成像装置及方法，该装置将激发光通过偏振分光器分成两个对称的光路，每个光路各过一个声光偏转模块进行光束的扫描，两光束再通过合束器进行合束，在样品面上进行干涉产生照明条纹。每个光路中的声光偏转模块由两个互相垂直放置的两个声光偏转器以及两个透镜所构成的4f系统组成，通过控制加载在两个声光偏转模块中的各自的两个声光偏转器的载波频率，可以改变每个声光偏转器对光束的在xy平面上的扫描位置，进而得到不同方向的干涉条纹。利用声光偏转器对光束进行扫描，相比于振镜扫描可以获得更快的扫描速度；此外，相对于振镜，声光偏转器具有更高的扫描稳定性，可以实现更稳定的照明条纹。
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