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公开(公告)号：CN111362226B
公开(公告)日：2023-04-28
申请号：CN202010171515.3
申请日：2020-03-12
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及微纳传感器技术领域，特别涉及一种谐振式微悬臂梁芯片及其制备方法，包括：固支部和微悬臂梁部，所述微悬臂梁部包括高温区和低温区，所述低温区的一端与所述高温区连接，所述低温区的另一端与所述固支部连接；所述高温区上设有加热线圈；所述低温区上设有检测元件；所述高温区和所述低温区之间设有至少一个阻热孔，所述阻热孔贯穿所述微悬臂梁设置。通过在微悬臂梁中部附近区域设计有镂空的阻热孔，将微悬臂梁分为靠近自由端的高温区和靠近固支部的低温区两部分。在高温区设计有加热线圈，可以对微悬臂梁加热；加热线圈可以将梁上高温区加热，而低温区可以保持在低温状态，确保检测元件可以正常工作。
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公开(公告)号：CN115979758A
公开(公告)日：2023-04-18
申请号：CN202310004190.3
申请日：2023-01-03
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种芯片制样装置及方法，方法包括：待表征样品设置于压印薄膜上；将待表征样品与表征芯片上的观察窗对准；移动支撑结构靠近表征芯片，至待表征样品压合至观察窗上；移动支撑结构远离表征芯片，使待表征样品与所述压印薄膜分离以留在表征芯片的观察窗上。本发明通过压印薄膜将待表征样品转移至表征芯片的观察窗，不会对表征芯片的悬浮薄膜及其观察窗造成损伤，且可实现样品在观察窗上的高精度定位，适用于各种具有复杂热、力、电学微结构的表征芯片；同时，制样设备便携、操作方便、低成本，制样过程无需溶液，不会污染表征芯片，影响表征观察；此外，可对同一表征芯片上多个观察窗逐一制备一种或多种样品，显著降低了表征成本。
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公开(公告)号：CN114184596B
公开(公告)日：2023-04-18
申请号：CN202111499332.5
申请日：2021-12-09
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种同步热重‑拉曼光谱表征方法，通过具有自加热功能的芯片实时称量升温过程中待测样品的质量变化，得到热重曲线；同时通过显微镜将激光聚焦于待测样品表面，以采集升温过程中待测样品散射的拉曼光谱，实时提取待测样品的结构变化信息。本发明提供的同步热重‑拉曼光谱表征方法，可在热重分析获得待测样品的动力学性质的同时，表征待测样品的结构、物像演变，具有原位、无损、快速、精度高、样品用量少等优势。
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公开(公告)号：CN115919270A
公开(公告)日：2023-04-07
申请号：CN202211370489.2
申请日：2022-11-03
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: A61B5/02
Abstract: 本发明提供一种基于密集柔性传感阵列的中医脉体软度判定方法，利用传感器阵列获取脉体随指压变化而产生的形变特征变化，以获得脉体软度判定结果；所述传感器阵列于一维阵列上包括的压力传感器个数≥5；本发明方法包括：将脉体的切脉过程根据施加压力由小到大，划分为若干个不同阶段；利用所述传感器阵列采集不同阶段的脉体压力分布曲线；基于所述脉体压力分布曲线，构建脉体的形变特征，并获取于各阶段的形变特征值；根据各所述形变特征值，获取脉体于所述切脉过程的总变化特征值；检测所述总变化特征值是否满足预设的脉体软度判定条件，根据检测结果获取脉体的软度判定结果，有效地提高了脉体软度判定的准确性。
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公开(公告)号：CN115813353A
公开(公告)日：2023-03-21
申请号：CN202211467963.3
申请日：2022-11-22
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种基于传感阵列测脉搏波横向位置变化的紧脉特征识别方法，传感器阵列包括至少4个压力传感器，各压力传感器沿第一方向排列，所述第一方向与桡动脉的延伸方向呈夹角设置，中医紧脉特征识别方法包括：获得各压力传感器在同一时刻的脉搏压力值；得到多个压力采样点，将各压力采样点连成包络曲线；获得同一脉搏周期内的多条包络曲线选取最大的纵坐标最大值所对应的包络曲线作为该脉搏周期的压力分布曲线，在各压力分布曲线中取一标识点代表该压力分布曲线的位置，统计各标识点的横坐标的变化量；将变化量与紧脉判定阈值比较，得到紧脉特征识别结果。本发明的基于传感阵列测脉搏波横向位置变化的紧脉特征识别方法，能够识别紧脉等复杂脉象。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115752818A
公开(公告)日：2023-03-07
申请号：CN202211429039.6
申请日：2022-11-15
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种谐振式压力传感器及其制造方法，至少包括单晶硅片、腔体及通气孔、多晶硅敏感薄膜和扭转梁、摆动板、硅岛及H型谐振梁。采用多晶硅薄膜作为感压薄膜，厚度均匀可控至3μm以下，能够提高传感器的敏感度和性能的一致性；硅岛集中薄膜应力，扭转梁及摆动板放大应力后传递给H型谐振梁，增强H型谐振梁对外部应力的感知度，提升器件的灵敏度；硅岛对应于通气孔设置且尺寸大于通气孔尺寸，避免形成通气孔过程中对多晶硅敏感薄膜造成损伤，保证器件性能稳定性，提高产品良率。本发明的敏感结构采用单片单面体硅一体加工形成，无需键合，保证器件在宽温环境中性能稳定，具有尺寸小、低成本、工艺简单和可与集成电路工艺混线生产的优势。
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公开(公告)号：CN115265663A
公开(公告)日：2022-11-01
申请号：CN202210959385.9
申请日：2022-08-10
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种单芯片复合传感器结构及其制备方法，所述单芯片复合传感器结构包括：单晶硅衬底、单晶硅衬底上的绝缘层及集成在所述单晶硅衬底同一面上的角速度传感器、加速度传感器及压力传感器；其中，所述单晶硅衬底上插设有多个绝缘锚点，所述角速度传感器通过所述绝缘锚点集成在所述单晶硅衬底上；所述加速度传感器及所述压力传感器与所述角速度传感器之间绝缘。本发明的单芯片复合传感器结构中的角速度传感器采用面外(Z轴)静电梳齿驱动面内差分电容检测方式，实现对X轴(或Y轴)角速度检测；以外层绝缘的单晶硅柱子作为锚点分别支撑移动电极和固定电极悬浮在单晶硅衬底上，解决传感器单面加工中不同电极间的电学绝缘难题。
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公开(公告)号：CN115215285A
公开(公告)日：2022-10-21
申请号：CN202110431854.5
申请日：2021-04-21
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种基于氮化硅阳极键合的(111)硅转移工艺，其中，通过低应力氮化硅层，可实现高质量的阳极键合，同时保护键合结构不受后续释放工艺的腐蚀，形成稳定键合结构；通过闭合释放沟槽及腐蚀保护层，可形成厚度精确可控、不受晶向限制且可完全释放的敏感可动结构，从而本发明可实现(111)晶面上任意晶向MEMS器件的高精度及低成本制造。
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公开(公告)号：CN114858961A
公开(公告)日：2022-08-05
申请号：CN202210320215.6
申请日：2022-03-29
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种金属氧化物催化剂活性测试装置及测试方法，金属氧化物催化剂活性测试装置包括密封仓、集成式谐振悬臂梁、气氛控制系统、驱动控制系统及表征分析结果显示系统；本发明通过执行集成式谐振悬臂梁自清洁、获取测量基线、样品制备、预处理、获取测试曲线及进行数据处理的步骤，根据基线和测量曲线可得到金属氧化物催化剂在程序升温条件下的还原曲线，进而可以分析得到样品的还原活性。本发明测试装置具有测量精度高、样品消耗量少、效率高、结构简单及价格低廉的优点，且测试方法具有较好地可实施性，可实现原位实时程序升温分析，大大减少了检测结果的滞后性，且精确度高、反应灵敏、成本低，以实现对样品的精确定量化分析。
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公开(公告)号：CN112935274B
公开(公告)日：2022-08-05
申请号：CN202110112853.4
申请日：2021-01-27
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种柔性衬底上生长高熵合金纳米颗粒的方法，包括：获取柔性衬底；采用激光直写技术在所述柔性衬底上生长具有预设形状的三维石墨烯薄膜；获取高熵合金纳米颗粒的前驱体溶液；将所述前驱体溶液滴加至所述三维石墨烯薄膜上，形成预处理样品；采用激光直写技术对所述预处理样品上的三维石墨烯薄膜进行辐射加热处理，获取所述高熵合金纳米颗粒。基于上述技术方案，能够有效提高高熵合金纳米颗粒尺寸的均一性及合金总的负载量；且有效避免对柔性衬底造成高温热损伤；同时，脉冲激光热解生长机制也有利于得到具有单一物相的高熵合金纳米颗粒。
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