一种氧化锌纳米管阵列气敏传感器的制备方法

    公开(公告)号:CN105424759A

    公开(公告)日:2016-03-23

    申请号:CN201510686553.1

    申请日:2015-10-22

    Abstract: 本发明公开了一种用于丙酮气体检测的氧化锌纳米管阵列传感器的制备方法,采用湿化学-分步温控相结合法制备氧化锌纳米管阵列,气敏传感器件采用旁热式器件结构,以氧化铝陶瓷管为载体,陶瓷管内部有加热丝,外表面附有金电极,两端由铂金丝引出电极,陶瓷管内有加热丝,陶瓷管外涂附氧化锌纳米管阵列气敏材料,焊接、封装后得到气敏传感器件。本发明的优点在于利用纳米管阵列做气敏材料,可大大增加材料表面的活性空位及电子传输性能;提高气敏传感器的响应率和响应时间;本发明的气敏传感器件制作简单、性能稳定、灵敏度高、响应时间短、恢复时间短,可显著降低对丙酮的检测极限(5ppm)。

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