公开(公告)号：CN107024303A

公开(公告)日：2017-08-08

申请号：CN201611235039.7

申请日：2016-12-28

申请人： 亚太优势微系统股份有限公司

发明人： 殷宏林 ,  江政祎 ,  黄煜哲

IPC分类号： G01L1/18

CPC分类号： G01L9/0044 ,  G01L9/0047 ,  G01L9/0055 ,  G01L9/06 ,  G01L1/18

摘要： 一种微型压阻式压力传感器，包含一基材及一元件结构层。该基材形成有一振动空间。该元件结构层位于该基材上并具有一上表面，且于该上表面形成一与该振动空间位置相对应的凹槽并借此形成一介于该凹槽与该振动空间之间的可振动的薄膜。该凹槽由该薄膜及一连接该薄膜与该上表面的侧壁面所界定。该元件结构层还由离子植入形成一离子浓度较低的压阻区及一离子浓度较高的导线区，其中该压阻区从该薄膜延伸通过该侧壁面至该上表面，该导线区与该压阻区连接并分布在该上表面。

公开(公告)号：CN104956194B

公开(公告)日：2017-03-08

申请号：CN201480006116.4

申请日：2014-04-15

申请人： 日立金属株式会社

发明人： 铃木健悟 ,  坂口勇夫 ,  风间敦

IPC分类号： G01L9/00

CPC分类号： G01L9/0051 ,  G01F1/86 ,  G01L9/0044 ,  G01L9/0047 ,  G01L9/0055 ,  G01L19/04 ,  G05D7/0635 ,  Y10T137/7837

摘要： 得到改善了应变传感器的初始零点的输出偏移及伴随着温度变化的零点的输出变动的压力传感器。为了解决上述问题，本发明的压力传感器的特征在于，具有：由第一材料形成的隔膜、以及接合在该隔膜上且在第二材料形成有多个应变仪的应变传感器，所述隔膜由支承部和因压力而变形的薄膜部构成，所述应变传感器与从所述隔膜的中心离开的端部位置接合，而且，在相对于从所述隔膜中心到接合了所述应变传感器的方向垂直的方向上且在与所述应变传感器邻接或相距规定距离的隔膜上，形成有台阶。

公开(公告)号：CN104884920A

公开(公告)日：2015-09-02

申请号：CN201480003666.0

申请日：2014-01-30

申请人： 株式会社藤仓

发明人： 立川泰之

IPC分类号： G01L1/20

CPC分类号： G01L1/2287 ,  G01L9/0044 ,  G01L9/0052

摘要： 压敏传感器(1)的特征在于，具备：第一基板(2)；第二基板(3)，其与第一基板对置；第一电极(4)，其设置在第一基板的第一面(21)；第二电极(5)，其按照与第一电极对置的方式设置于第二基板的第二面(31)；以及隔离物(6)，其在与第一电极以及第二电极对应的位置具有开口(61)，并且夹在第一基板与第二基板之间，第一电极至少具有插入至开口的插入部(4)，插入部的总厚度具有与隔离物的厚度实质上相同的厚度，第一基板与隔离物的一个面(62)接触，第二电极的一部分与隔离物的另一个面(63)接触，在包含第一电极和第二电极的区域(D)中，第一面与第二面实质上平行。

公开(公告)号：CN104451414A

公开(公告)日：2015-03-25

申请号：CN201410473875.3

申请日：2014-09-17

申请人： 精工电子有限公司

发明人： 大友拓磨

IPC分类号： C22C38/44 ,  G01L9/04 ,  H01L29/84

CPC分类号： C22C38/44 ,  C21D6/004 ,  C21D8/005 ,  C21D9/0068 ,  C21D2211/004 ,  C22C14/00 ,  C22C19/07 ,  C22C30/00 ,  C22C38/00 ,  C22C38/001 ,  C22C38/002 ,  C22C38/02 ,  C22C38/04 ,  C22C38/58 ,  G01L9/0044 ,  G01L9/005 ,  G01L19/0627

摘要： 本发明的目的在于，提供可达成高强度化、耐腐蚀性优异、可得到平滑的表面状态的二相不锈钢与由其形成的薄板材和膜片。本发明的特征在于，具有Cr：24~26质量%、Mo：2.5~3.5质量%、Ni：5.5~7.5质量%、C≤0.03质量%、N：0.08~0.3质量%、余量为Fe和不可避免的杂质的组成，根据需要含有Mn：2.0质量%以下，金属组织中存在的由来源于不可避免的杂质Al的Al氧化物或Mn氧化物形成的夹杂物粒子的粒径为3μm以下。

公开(公告)号：CN101669018B

公开(公告)日：2012-03-28

申请号：CN200880012593.6

申请日：2008-02-04

申请人： 罗斯蒙德公司

发明人： 斯瓦潘·卡克拉博堤

IPC分类号： G01L7/00

CPC分类号： G01L9/0072 ,  G01F1/28 ,  G01L9/0044 ,  G01L9/0051 ,  G01L9/0054 ,  G01L9/0073

摘要： 一种传感器(10)，优选地能够在大的操作范围上进行高分辨率感测，该传感器包括复合隔膜(12)，所述复合隔膜(12)包含纳米管或纳米线(14)。所述纳米管或纳米线(14)优选地形成嵌入诸如高介电或绝缘薄膜等绝缘材料(16，18)中的衬垫。纳米管或纳米线(14)可以为隔膜(10)提供大于大约1000GPa的杨氏模量以及大于大约100GPa的拉伸强度。可以通过电阻、电压、电流或电容的变化来测量纳米管或纳米线(14)中的应变。

公开(公告)号：CN101982864A

公开(公告)日：2011-03-02

申请号：CN201010298752.2

申请日：2010-09-30

申请人： 深圳市金亿帝科技有限公司

发明人： 章年平

IPC分类号： H01G5/011 ,  G01L9/12 ,  G01L7/02 ,  A61B5/022

CPC分类号： H01G5/16 ,  A61B5/021 ,  A61B2562/0214 ,  A61B2562/0247 ,  G01L9/0044 ,  G01L9/0072 ,  G01L19/148

摘要： 本发明公开了一种可变电容器的可动电极，包括板状的压力感应部和在其径向上设置的弹性形变部，所述压力感应部和弹性形变部连为一体，当所述压力感应部在轴向受力时，所述弹性形变部能够发生相应的形变并使所述压力感应部沿轴向移动。本发明还公开了采用上述可动电极的电极装置、压力传感器及采用该压力传感器的压力计及其制作方法。采用本发明，压力传感器的零件数更少、组装工序更简单、生产效率更高，制造成本更低。

公开(公告)号：CN101669018A

公开(公告)日：2010-03-10

申请号：CN200880012593.6

申请日：2008-02-04

申请人： 罗斯蒙德公司

发明人： 斯瓦潘·卡克拉博堤

IPC分类号： G01L7/00

CPC分类号： G01L9/0072 ,  G01F1/28 ,  G01L9/0044 ,  G01L9/0051 ,  G01L9/0054 ,  G01L9/0073

摘要： 一种传感器(10)，优选地能够在大的操作范围上进行高分辨率感测，该传感器包括复合隔膜(12)，所述复合隔膜(12)包含纳米管或纳米线(14)。所述纳米管或纳米线(14)优选地形成嵌入诸如高介电或绝缘薄膜等绝缘材料(16，18)中的衬垫。纳米管或纳米线(14)可以为隔膜(10)提供大于大约1000GPa的杨氏模量以及大于大约100GPa的拉伸强度。可以通过电阻、电压、电流或电容的变化来测量纳米管或纳米线(14)中的应变。

公开(公告)号：CN101241031A

公开(公告)日：2008-08-13

申请号：CN200810083218.2

申请日：2002-12-24

申请人： 德怀尔仪器公司

发明人： 特雷斯·J·特罗耶

IPC分类号： G01L9/00 ,  G01L13/00

CPC分类号： G01L19/14 ,  G01L9/0044 ,  G01L9/0072

摘要： 一种测量流体压力的压力传感器，该压力传感器包括：第一主体部件；第二主体部件；以及径向张紧的柔性隔膜，该隔膜设置在所述第一主体部件和所述第二主体部件之间，所述第一主体部件和所述隔膜形成第一流体腔室，所述第二主体部件和所述隔膜形成第二流体腔室；所述第一主体部件和所述第二主体部件由具有第一热膨胀系数的第一材料形成，所述隔膜由具有第二热膨胀系数的第二材料形成，其中所述第一热膨胀系数与所述第二热膨胀系数的差不超过2.7×10－6m/m/℃。

公开(公告)号：CN109141734A

公开(公告)日：2019-01-04

申请号：CN201710578669.2

申请日：2017-07-14

申请人： 罗斯蒙特公司

发明人： 大卫·M·斯特瑞 ,  马克·G·罗莫

IPC分类号： G01L13/00

CPC分类号： G01L19/0092 ,  G01L9/0044 ,  G01L19/04 ,  G01L13/00

摘要： 压差传感器模块包括基部，所述基部具有一对过程流体压力入口并且限定具有传感器腔室入口的传感器腔室。压差传感器设置在传感器腔室中并且具有入口，所述入口被构造成接收第一压力并且提供指示第一压力和传感器腔室中的压差传感器外部的传感器腔室压力之间的差值的信号。一对隔离膜片设置在基本相同的平面中，每个隔离膜片密封相应的过程流体压力入口。第一流体通路可操作地连接到一个隔离膜片和压差传感器的入口。第二流体通路可操作地连接到另一个隔离膜片和传感器腔室入口。超压保护特征可操作地连接到传感器腔室、第一流体通路和第二流体通路。

公开(公告)号：CN104034475B

公开(公告)日：2018-07-24

申请号：CN201410081215.0

申请日：2014-03-07

申请人： 森萨塔科技公司

发明人： W·霍普曼 ,  G·范德东克 ,  M·范诺登 ,  S·迪斯特凡诺

IPC分类号： G01L9/00

CPC分类号： G01L1/146 ,  G01L1/2243 ,  G01L7/08 ,  G01L7/082 ,  G01L9/0016 ,  G01L9/0042 ,  G01L9/0044 ,  G01L9/0047 ,  G01L9/0054 ,  G01L9/0072 ,  G01L9/0073 ,  G01L9/0075

摘要： 本发明涉及一种具有自调节特征的压力变换器基体。根据本发明的设备在实施例中包括第一基体。第一基体可以具有用于容纳第一隔膜的第一侧面。第一基体还可以具有第二侧面。第二侧面可以包括多边形凹陷部，其尺寸设定为容纳与第二基体相关的第二隔膜。第一基体和第一隔膜被包含在第一组件中，而第二基体和第二隔膜被含包在第二组件中。第一组件和第二组件可以被包含在堆叠体中，其中第二隔膜的至少一部分设置成配合在该堆叠体中的多边形凹陷部内。