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公开(公告)号：CN1227388C
公开(公告)日：2005-11-16
申请号：CN01820980.7
申请日：2001-10-23
Applicant: 独立行政法人产业技术综合研究所 , 东陶机器株式会社
IPC: C23C24/04
CPC classification number: C23C30/00 , C23C24/04 , Y10T428/249967 , Y10T428/26 , Y10T428/265 , Y10T428/31678 , Y10T428/31681
Abstract: 一种构成物，是这样构成的：将陶瓷或准金属等的脆性材料的结晶及金属等的延展性材料的结晶或微细组织(非结晶金属层或有机物组成的微细结构体)分散，上述构成物(由脆性材料组成的部分)是多结晶，构成上述构成物的结晶实质上没有结晶取向性，另外，在上述结晶彼此的界面上实质上不存在玻璃质组成的晶粒边界层。因此，能得到不伴随加热、烧成工序的有新颖特性的脆性材料与延展性材料的构成物。
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公开(公告)号：CN1481451A
公开(公告)日：2004-03-10
申请号：CN01820980.7
申请日：2001-10-23
Applicant: 独立行政法人产业技术综合研究所 , 东陶机器株式会社
IPC: C23C24/04
CPC classification number: C23C30/00 , C23C24/04 , Y10T428/249967 , Y10T428/26 , Y10T428/265 , Y10T428/31678 , Y10T428/31681
Abstract: 一种构成物，是这样构成的：将陶瓷或准金属等的脆性材料的结晶及金属等的延展性材料的结晶或微细组织(非结晶金属层或有机物组成的微细结构体)分散，上述构成物(由脆性材料组成的部分)是多结晶，构成上述构成物的结晶实质上没有结晶取向性，另外，在上述结晶彼此的界面上实质上不存在玻璃质组成的晶粒边界层。因此，能得到不伴随加热、烧成工序的有新颖特性的脆性材料与延展性材料的构成物。
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公开(公告)号：CN102639970A
公开(公告)日：2012-08-15
申请号：CN201080053933.7
申请日：2010-11-05
Applicant: 独立行政法人产业技术综合研究所 , 阿茲登股份有限公司
IPC: G01F1/66
CPC classification number: G01F1/667
Abstract: 在使用导波的流量测量装置中，通过优化超声波的频率，并且使从超声波收发单元注入的能量增大并提高流速灵敏度，由此来改善测量精度。该流量测量装置的特征在于，设定为使导波的群速度的多个峰值中的孤立的导波的群速度峰值的频率与超声波发送单元∕接收单元的谐振频率一致，并将超声波发送单元∕接收单元激励并接收的超声波的功率谱的半值宽度设定为与群速度的其他峰值不重合的大小。
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公开(公告)号：CN1920094B
公开(公告)日：2010-05-12
申请号：CN200610125620.3
申请日：2006-08-24
Applicant: 兄弟工业株式会社 , 独立行政法人产业技术综合研究所
CPC classification number: B05D1/02 , C23C24/04 , H01L41/314
Abstract: 一种膜形成装置，具有：成膜室，用于进行成膜；喷射机构，通过在该成膜室内向基板喷射含材料粒子的气溶胶，在该基板上形成由前述材料粒子构成的膜；测量室，与前述成膜室连通；测量机构，测量前述测量室内的前述膜的厚度；压力调整机构，与前述成膜室及前述测量室连接，控制该成膜室及测量室的内压；传送带，在前述成膜室和前述测量室之间传送前述基板；以及隔断部，隔断前述成膜室和前述测量室。由此可保持测量室的内部清洁，不受气溶胶的污染，维持测量精度，在成膜工艺过程中，简单而又精确地测量膜厚，并向成膜条件反馈。
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公开(公告)号：CN1733972A
公开(公告)日：2006-02-15
申请号：CN200510097645.2
申请日：2000-10-12
Applicant: 东陶机器株式会社 , 独立行政法人产业技术综合研究所
Abstract: 将有预先内部应变的陶瓷或半金属等脆性材料的微粒向基材上变速喷射、碰撞，使脆性材料微粒变形或破碎。通过这种变形或破碎，新形成了极富活性的新生面，并经由这种新生面使结晶互相再结合，从而得到密、剥离强度优异的复合构造物。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1481450A
公开(公告)日：2004-03-10
申请号：CN01820951.3
申请日：2001-10-23
Applicant: 独立行政法人产业技术综合研究所 , 东陶机器株式会社
IPC: C23C24/00
CPC classification number: C23C30/00 , C23C24/04 , Y10T428/249967 , Y10T428/25 , Y10T428/26 , Y10T428/265
Abstract: 一种构成物，是这样构成的：将两种以上的陶瓷或准金属等的脆性材料的结晶分散，由上述脆性材料组成的部分是多结晶，构成该多结晶的部分的结晶实质上没有结晶取向性，另外，在上述结晶彼此的界面上实质上不存在玻璃质组成的晶粒边界层。因此，能得到不伴随加热、烧成工序的有新颖特性的两种以上脆性材料组成的构成物。
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公开(公告)号：CN100476033C
公开(公告)日：2009-04-08
申请号：CN200510058844.2
申请日：2005-03-30
Applicant: 兄弟工业株式会社 , 独立行政法人产业技术综合研究所
CPC classification number: C23C24/04 , H01L41/081 , H01L41/0973 , H01L41/1876 , H01L41/314 , Y10T29/42 , Y10T29/49401
Abstract: 本发明公开了一种通过向基板上喷射含有压电材料颗粒的气溶胶而在基板上制造压电膜的方法，其包括第一膜形成步骤，在基板上形成第一压电层；和第二膜形成步骤，在第一压电层上形成第二压电层，其中在第一和第二膜形成步骤中，当颗粒与基板或第一压电层碰撞时，至少一部分颗粒被压碎；并且在第二膜形成步骤中用于压碎颗粒的平均能量比在第一膜形成步骤中的小。根据本发明的压电膜在面向基板一侧上的层具有良好粘接性，在外侧上的层具有良好的压电特性。由于可用相同AD方法，只要改变形成膜的条件就可以层叠具有不同特性的层，因此可用简单的工艺获得具有良好特性的压电膜。
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公开(公告)号：CN1733971A
公开(公告)日：2006-02-15
申请号：CN200510097643.3
申请日：2000-10-12
Applicant: 东陶机器株式会社 , 独立行政法人产业技术综合研究所
Abstract: 将有预先内部应变的陶瓷或半金属等脆性材料的微粒向基材上变速喷射、碰撞，使脆性材料微粒变形或破碎。通过这种变形或破碎，新形成了极富活性的新生面，并经由这种新生面使结晶互相再结合，从而得到密、剥离强度优异的复合构造物。
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公开(公告)号：CN1225570C
公开(公告)日：2005-11-02
申请号：CN01820951.3
申请日：2001-10-23
Applicant: 独立行政法人产业技术综合研究所 , 东陶机器株式会社
IPC: C23C24/00
CPC classification number: C23C30/00 , C23C24/04 , Y10T428/249967 , Y10T428/25 , Y10T428/26 , Y10T428/265
Abstract: 一种构成物，是这样构成的：将两种以上的陶瓷或准金属等的脆性材料的结晶分散，由上述脆性材料组成的部分是多结晶，构成该多结晶的部分的结晶实质上没有结晶取向性，另外，在上述结晶彼此的界面上实质上不存在玻璃质组成的晶粒边界层。因此，能得到不伴随加热、烧成工序的有新颖特性的两种以上脆性材料组成的构成物。
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公开(公告)号：CN1676668A
公开(公告)日：2005-10-05
申请号：CN200510058845.7
申请日：2005-03-30
Applicant: 兄弟工业株式会社 , 独立行政法人产业技术综合研究所
CPC classification number: H01L41/314 , C23C24/04 , H01L41/1876
Abstract: 本发明提供一种简单方法，来制造如压电膜的膜，其中可以改善基板上的膜的粘附性。包含粒子的气悬体被喷射到基板上以使粒子粘着在其上，其中粒子附着的基板中的粘着表面的维氏硬度Hv(b)与粒子的维氏硬度Hv(p)之间的比率在0.39≤Hv(p)/Hv(b)≤3.08的范围内。粒子与基板之间的粘性因而被改善，以可靠地形成膜。本发明可满意地应用于压电膜的形成。
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