公开(公告)号：CN106661739A

公开(公告)日：2017-05-10

申请号：CN201580037324.5

申请日：2015-06-05

Applicant: MEC股份有限公司

Inventor： 千石洋一 ,  来条未菜 ,  秋山大作

IPC: C23F1/28

CPC classification number: C23F1/28

Abstract: 本发明的铁钢材的蚀刻剂包含二价铁离子、三价铁离子、及含有乙炔基的水溶性化合物的酸性水溶液。以蚀刻剂中二价铁离子的浓度为A重量％、三价铁离子的浓度为B重量％时，A/B的值优选为0.1至2.5。本发明的补给液连续或重复使用所述蚀刻剂时添加于所述蚀刻剂，且为包含含有乙炔基的水溶性化合物的水溶液。

公开(公告)号：CN101445933B

公开(公告)日：2013-04-10

申请号：CN200810179114.1

申请日：2008-11-25

Applicant: MEC股份有限公司

Inventor： 中村真美 ,  秋山大作 ,  吉海雅史

IPC: C23F1/18 ,  H05K3/06

Abstract: 本发明提供一种蚀刻剂，在半加成法中除去化学镀铜层时，能够防止布线图案的尺寸精度的降低。本发明的第1蚀刻剂的特征在于，是含有硫酸、过氧化氢和水的铜的蚀刻剂，其中，含有在分子中具有羧基和羟基中的至少一方两个以上的苯并三唑衍生物。本发明的第2蚀刻剂的特征在于，是含有硫酸、过氧化氢和水的铜的蚀刻剂，其中，含有仅具有氮原子作为存在于环内的杂原子的吡咯类、以及具有两个以上羧基的多元酸或其盐。