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公开(公告)号:CN112046100A
公开(公告)日:2020-12-08
申请号:CN202010499002.5
申请日:2020-06-04
Applicant: AGC株式会社
IPC: B32B17/10 , B32B27/28 , B32B7/06 , B32B3/08 , B32B3/30 , B32B27/06 , B32B38/10 , H01L51/52 , H01L51/56
Abstract: 本发明涉及一种层叠基板,其具备:玻璃制的支承基材、和配置在所述支承基材上的聚酰亚胺树脂层,在上述聚酰亚胺树脂层的与上述支承基材相反侧的表面上,长边的长度为3μm以上且小于50μm,短边的长度为小于50μm,并且高度为5μm以下的凸部的数量为0.60个/cm2以下,长边的长度为3~1000μm,短边的长度为20μm以下,并且深度为1μm以下的凹部的数量为0.15个/cm2以下。