湿式处理装置
    12.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1519893A

    公开(公告)日:2004-08-11

    申请号:CN200410001244.8

    申请日:2004-01-05

    Abstract: 一种湿式处理装置(1),具有由处理部(11)、将处理液导入的处理液导入部(21)、回收处理液的处理液回收部(31)构成的喷嘴(1a),其特征是,在处理液导入部(21)中,具有处理液流通路(23)、(24)、被连接在各处理液流通路(23)、(24)的下游侧并且同时在对置面(11a)侧具有开口部(22)的处理液流通配管(25)、被配置于处理液流通路(23)、(24)和处理液流通配管(25)之间,并使选自处理液流通路(23)、(24)中的1个处理液流通路连接在处理液流通配管(25)上的切换机构(26)。通过在装置内部设置切换机构,可以在多个喷嘴间同时并且瞬时地进行处理液的切换。

    具有突出体的电子设备
    13.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102792355B

    公开(公告)日:2015-07-08

    申请号:CN201080065378.X

    申请日:2010-03-16

    CPC classification number: G09B21/004

    Abstract: 提供一种作为点信息显示装置等来使用的具有突出体的电子设备,能够以较轻的负载使构成点单位的突出体转动,并且突出体容易在突出姿势下稳定。点单位(4)在壳体上形成有开口部(5),在开口部(5)的内部设置有突出体(10)。支撑突出体(10)以自由转动的方式支撑于支撑轴(12)。通过高分子驱动器(20),使突出体在沿着信息单位的读取方向(M)的朝向上转动,在突出姿势下与限制部(5a)抵接而稳定。在使手指沿着读取方向(M)移动并触摸到突出体(10)时,突出体(10)容易在突出姿势下稳定。

    具有突出体的电子设备
    14.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102792355A

    公开(公告)日:2012-11-21

    申请号:CN201080065378.X

    申请日:2010-03-16

    CPC classification number: G09B21/004

    Abstract: 提供一种作为点信息显示装置等来使用的具有突出体的电子设备,能够以较轻的负载使构成点单位的突出体转动,并且突出体容易在突出姿势下稳定。点单位(4)在壳体上形成有开口部(5),在开口部(5)的内部设置有突出体(10)。支撑突出体(10)以自由转动的方式支撑于支撑轴(12)。通过高分子驱动器(20),使突出体在沿着信息单位的读取方向(M)的朝向上转动,在突出姿势下与限制部(5a)抵接而稳定。在使手指沿着读取方向(M)移动并触摸到突出体(10)时,突出体(10)容易在突出姿势下稳定。

    超声波振动装置及采用该装置的湿式处理装置

    公开(公告)号:CN1311529C

    公开(公告)日:2007-04-18

    申请号:CN200410059833.1

    申请日:2004-06-22

    Abstract: 一种超声波振动装置及采用该装置的湿式处理装置,该超声波振动装置(1),具有由1层或多层结构的振动板(2)和固定在振动板(2)上并产生超声波振动的振子(3)构成的振动部(5);按使上述振动板(2)的各层和振子(3)的各自的上述超声波振动的前进方向的厚度与各自的上述超声波振动的波长的比(以下,称为厚度/波长比)的和为1/2的整数倍来设定振动部(5)的厚度;按上述厚度/波长比为1/2的整数倍以外的比值来设定振子(3)的厚度。湿式处理装置具有湿式处理用喷嘴,该湿式处理用喷嘴包括具有与被处理对象对置的对置面的湿式处理本体部,该湿式处理本体部具有超声波振动装置(1)。因此,能够简化制造工序、降低成本。

    湿式处理用喷嘴
    16.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1241241C

    公开(公告)日:2006-02-08

    申请号:CN02141884.5

    申请日:2002-08-27

    Abstract: 在湿式处理过程中,即使在处理区域内产生不存在处理液的区域的情况下,也可以防止超声波振子的破损。在具有将对被处理物(W)进行湿式处理用的处理液(2)向被处理物(W)的被处理面(W1)供应的导入开口部(21b),将湿式处理后的排出液(2)从被处理面(W1)排出的排出口部(22b)的湿式处理用喷嘴中,配备有向被处理面(W1)上的处理液(2)赋予超声波振动用的超声波振子(48)连接该超声波振子(48)的振动部(46),振动部(46)设置在超声波振子(48)的至少被处理物(W)侧上,被处理物(W)侧的振动部(46)的厚度尺寸T与在振动部(46)处的超声波振动的波长λ的关系被设定为T=(n±0.1)·λ/2(其中n为2以上的整数)。

    超声波洗涤机以及具有超声波洗涤机的湿处理喷嘴

    公开(公告)号:CN1522801A

    公开(公告)日:2004-08-25

    申请号:CN03134945.5

    申请日:2000-03-10

    CPC classification number: H01L21/67057 B08B3/12 H01L21/67051

    Abstract: 本发明涉及一种超声波洗涤机,具有截面为凹状、内部有夹层空腔部的筐体,在该筐体的内底面设置有超声波振动器,在上述夹层空腔部中装有空烧防止液,在上述筐体中设置有防止筐体壁面振动的压铁,上述筐体具有U字形的第一、第二筐体,所述第一、第二筐体的中央部呈凹陷状、四周端部形成遮檐状;在上述第二筐体的凹部嵌入上述第一筐体的凹部,上述第一、第二筐体的端部相对配置;上述端部之间夹持着密封垫,在该第一、第二筐体间形成上述夹层空腔部;上述密封垫由中央部有穿孔的弹性部件构成,上述第一、第二筐体由板状部件构成,第一、第二筐体的上述遮檐状端部通过夹持弹性部件及贯穿这些端部的螺栓来连接,通过对螺栓紧固程度的调节改变密封垫的厚度。

    湿式处理用喷嘴,湿式处理装置及湿式处理方法

    公开(公告)号:CN1404107A

    公开(公告)日:2003-03-19

    申请号:CN02141884.5

    申请日:2002-08-27

    Abstract: 在湿式处理过程中,即使在处理区域内产生不存在处理液的区域的情况下,也可以防止超声波振子的破损。在具有将对被处理物W进行湿式处理用的处理液2向被处理物W的被处理面W1供应的导入开口部21b,将湿式处理后的排出液2从被处理面W1排出的排出口部22b的湿式处理用喷嘴中,配备有向被处理面W1上的处理液2赋予超声波振动用的超声波振子48,连接该超声波振子48的振动部46,振动部46设置在超声波振子48的至少被处理物W侧上,被处理物W侧的振动部46的厚度尺寸T与在振动部46处的超声波振动的波长λ的关系被设定为T=(n±0.1)·λ/2(其中n为2以上的整数)。

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