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公开(公告)号:CN109765404B
公开(公告)日:2020-03-17
申请号:CN201811626393.1
申请日:2018-12-28
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01P15/097
Abstract: 本发明提供基于QoS工艺的加速度计芯片及加工工艺和加速度计,芯片包括键合在硅基结构两侧的第一、第二石英结构,石英结构包括石英框架、双端固定石英音叉、石英支撑梁和石英质量块,硅基结构包括硅基框架和硅质量块;在石英框架和硅基框架处,以及石英质量块和硅质量块处完全键合,形成第一石英结构、硅基结构、第二石英结构的三明治形式;加工工艺是先进行硅基初加工,再进行硅基和两个石英片双面键合,两个石英片减薄和抛光,然后进行石英振梁电极及石英结构的制作,最后进行硅基结构的释放。本发明具有灵敏度高、成本低等特点。
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公开(公告)号:CN110529841A
公开(公告)日:2019-12-03
申请号:CN201910626346.5
申请日:2019-07-11
Applicant: 西安交通大学
IPC: F23C9/06
Abstract: 本发明公开了一种可燃废气替代燃煤锅炉燃烧空气的利用系统及方法,包括以下步骤:储气罐中的可燃废气分为两路,其中一路经第一送风机进入到空气预热器中进行预热,再进入到制粉系统中,制粉系统输出的气粉混合物作为一次风送入锅炉中,另一路经第二送风机进入到空气预热器中进行预热,然后作为二次风送入锅炉中;该系统及方法能够实现可燃废气热量的回收及利用,解决现有装置中存在的对废气浓度适应性差、气体差、气体排放不稳定、处理量小及系统复杂的问题,降低可燃废气的利用成本。
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公开(公告)号:CN110499200A
公开(公告)日:2019-11-26
申请号:CN201910626351.6
申请日:2019-07-11
Applicant: 西安交通大学
IPC: C10L5/44
Abstract: 本发明公开了一种秸秆燃料处理及收集系统和方法,包括水源、生物质粉碎箱、浸洗水箱、固液分离机及生物质燃料回收装置,生物质粉碎箱上设置有秸秆入口,生物质粉碎箱的出口及水源的出口与浸洗水箱的入口相连通,浸洗水箱的出口与固液分离机的入口相连通,固液分离机的固体颗粒出口与生物质燃料回收装置相连通,该系统和方法能够实现秸秆类生物质的处理及收集,能够有效的避免生物质在热转化过程中碱金属元素气态释放造成的受热面积灰、结渣及高温腐蚀的问题,安全性较高。
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公开(公告)号:CN118409108A
公开(公告)日:2024-07-30
申请号:CN202410570355.8
申请日:2024-05-09
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01P15/097
Abstract: 本发明公开了一种应力自隔离的石英谐振加速度计芯片及石英谐振加速度计,涉及谐振加速计技术领域,该芯片包括石英基底和石英谐振器,石英谐振器包括依次连接的上隔离盘、音叉振梁和下隔离盘;上隔离盘上由外向内依次开设有第一上隔离槽、第二上隔离槽和第三上隔离槽,下隔离盘上由外向内依次开设有第一下隔离槽、第二下隔离槽和第三下隔离槽;第一上隔离槽和第一下隔离槽、第二上隔离槽和第二下隔离槽以及第三上隔离槽和第三下隔离槽构成三级应力隔离结构。本发明采用全石英结构,降低了因异质材料热膨胀系数不同所引入的热应力干扰;依靠高效的三级隔离槽隔离外部可能影响谐振器应力分布的干扰。
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公开(公告)号:CN112728530B
公开(公告)日:2022-03-01
申请号:CN202110180957.9
申请日:2021-02-07
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种循环流化床锅炉落煤管防堵塞系统,包括竖直设置的第一落煤管和倾斜设置的第二落煤管,所述第一落煤管的上端用于连接给煤机出口,所述第一落煤管的下端与所述第二落煤管的侧壁连通,所述第二落煤管的一端安装在炉墙上,所述第二落煤管的另一端安装有空气炮,所述第二落煤管上套设有若干环形气体喷管,每个所述环形气体喷管与所述第二落煤管通过若干喷嘴连通,所述空气炮和每个所述环形气体喷管均与气源连接。本发明能够使得原煤在入炉口处不易烘干粘结,从而顺利进入炉膛,有效解决了落煤管堵塞问题。
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公开(公告)号:CN110514779B
公开(公告)日:2021-02-05
申请号:CN201910625550.5
申请日:2019-07-11
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种研究煤粉和电解铝废料混烧特性的实验系统及方法,包括气体混合器、氧气瓶、氮气瓶、NH3瓶、NO瓶、第一阀门、第二阀门、进料器、注射器、第一石英管、第二石英管、第三阀门、第四阀门、第五阀门、第六阀门、第七阀门、第一石灰石浆液洗气瓶、第二石灰石浆液洗气瓶、第二NaOH溶液洗气瓶、第三石灰石浆液洗气瓶、滤筒、采样器、分析主机及H3PO4溶液洗气瓶,该系统及方法能够模拟完成煤粉和电解铝废料混烧产物生成特性的实验、HF对燃煤电厂常用脱硝催化剂的影响以及石灰石浆液对HF的吸收效果实验。
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公开(公告)号:CN111895452A
公开(公告)日:2020-11-06
申请号:CN202010587911.4
申请日:2020-06-24
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种生物质颗粒炊事采暖炉,隔板与炉体的顶部之间有间隙,炉排插入于燃烧区内,燃烧区底部的侧面设置有入风口,鼓风机与所述入风口相连通,燃烧区的顶部设置有加料口,炉体的顶部设置有料仓,料仓的顶部设置有加料口,料仓的底部出口处设置有给料机,料仓的底部出口位于炉排的正上方,电加热棒插入于燃烧区内,油管的一端与柴油储油罐相连通,油管的另一端插入于燃烧区内后位于炉排的正上方,油管上设置有电磁阀;换热区内设置有水套,换热区的底部设置有排烟口,换热区的侧面设置有与水套相连通的入水口及出水口,该采暖炉能够实现炊事和采暖功能,具有便于点火、适应性好、烟尘排放小且换热效果好的特点。
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公开(公告)号:CN111650401A
公开(公告)日:2020-09-11
申请号:CN202010495390.X
申请日:2020-06-03
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01P15/097
Abstract: 一种同平面贴装的金属基集成式谐振加速度计,包括金属基和两个双端固支石英音叉,金属基包括质量块、第一挠性铰链、第二挠性铰链、固定金属基座,质量块通过第一挠性铰链、第二挠性铰链与固定金属基座连接;两个双端固支石英音叉结构相同,贴装于质量块和固定金属基座上,在同一平面内以差动方式布置;金属基采用激光切割慢走丝线切割等低应力或无应力工艺加工而成,并开有定位双端固支石英音叉的定位槽,定位槽在垂直于敏感方向SA的DA方向的中轴线重合;具有差动效果好、微装配工艺易于实施、灵敏度高、加工简单、精密弹性部件的加工精度高、加工残余应力小等优点。
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公开(公告)号:CN111650400A
公开(公告)日:2020-09-11
申请号:CN202010494666.2
申请日:2020-06-03
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01P15/097
Abstract: 一种小型化侧面贴装差动型集成式谐振加速度计,包括金属基和两个双端固支石英音叉,金属基包括质量块、挠性铰链和固定金属基座,质量块通过挠性铰链和固定金属基座连接,挠性铰链位于质量块和固定金属基座的中部;两个双端固支石英音叉结构相同,贴装于金属基和固定金属基座的侧面,以差动方式布置;本发明能够降低封装应力和热应力对石英音叉的影响,提高精密弹性部件的加工精度和加速度计精度,具有灵敏度高、尺寸小等优点。
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公开(公告)号:CN109163837B
公开(公告)日:2020-01-14
申请号:CN201811094096.7
申请日:2018-09-19
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 一种微尺度柔性复合式超高压力传感器及其制造方法,传感器包括基底,基底上通过MEMS工艺溅射有康铜敏感元件及第一电极;康铜敏感元件的输入端和输出端分别连接两个第一电极;康铜敏感元件及第一电极的表面上覆盖有绝缘层;绝缘层上通过MEMS工艺溅射有锰铜敏感元件及第二电极;锰铜敏感元件的输入端和输出端分别连接两个第二电极;锰铜敏感元件和康铜敏感元件采用上下对齐方式布置,第二电极与第一电极采用横轴线垂直方式布置,锰铜敏感元件及第二电极的表面上涂覆有保护层;传感器具有敏感元件尺寸小、量程大、精度高、输出信号大、柔性化等特点,适用于多工况下微尺度装药爆轰压力的测量,也可以拓展到其他微尺度轴对称动态高压流场压力的测量。
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