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公开(公告)号：CN115420390A
公开(公告)日：2022-12-02
申请号：CN202211049653.X
申请日：2022-08-30
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种引线加固型探针式薄膜热电偶的封装结构，所述耐高温柱状陶瓷基底的上端为平面结构，耐高温柱状陶瓷基底的下端自耐高温金属螺纹套管的上端插入于耐高温金属螺纹套管内，耐高温绝缘陶瓷引线固定套管自耐高温金属螺纹套管的下端插入于耐高温金属螺纹套管内，且耐高温柱状陶瓷基底的下端插入于耐高温绝缘陶瓷引线固定套管的上端内，螺帽套接于耐高温金属螺纹套管的下端上；耐高温金属螺纹套管的外壁设置有外螺纹，耐高温柱状陶瓷基底的外壁上沿轴向分别设置有两个直槽，其中，一个直槽内设置有正极敏感薄膜，另一个直槽内设置有负极敏感薄膜，该结构能够满足高温流场环境下的温度测量，同时安装较为方便。
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公开(公告)号：CN114813870A
公开(公告)日：2022-07-29
申请号：CN202210547108.7
申请日：2022-05-19
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种电化学葡萄糖传感器电极及其制备方法，以石墨烯纤维(GF)为基底，以Au和Ni(OH)2为无酶葡萄糖催化剂的葡萄糖传感器电极。制备时，采用水热法制备石墨烯纤维，采用电化学沉积的方法制备GF/Au/Ni(OH)2电极。本发明的葡萄糖传感器底层的石墨烯纤维优异的电导率能够保证电荷的快速转移和传输，外部的Au和Ni(OH)2表现出高催化活性和低生物毒性,还能起到协同催化的作用，使其具有优越的葡萄糖传感器性能。解决了现有技术中葡萄糖传感器导电率低，柔性差的问题。
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公开(公告)号：CN114486000A
公开(公告)日：2022-05-13
申请号：CN202210045523.2
申请日：2022-01-15
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01L1/00 , G05B19/042
Abstract: 本发明公开了一种破片击中位置和压力检测传感器结构及检测系统，其特征在于，包括压力检测单元阵列和位置检测单元阵列，压力检测单元阵列和位置检测单元阵列分别夹设于两层基底之间，夹设有压力检测单元阵列和位置检测单元阵列的基底堆叠设置，将压力检测单元阵列和位置检测单元阵列堆叠设置，形成双层检测结构，利用压力检测单元阵列和位置检测单元阵列分别检测破片击中位置的压力及位置信息，结构简单，采用双层阵列结构，能够精确测定各击中点位置，将压阻敏感薄膜与柔性导线网靶结合，实现了压力和击中位置的检测。
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公开(公告)号：CN114323395A
公开(公告)日：2022-04-12
申请号：CN202111595510.4
申请日：2021-12-23
Abstract: 一种基于SOI工艺的MEMS六轴力传感器芯片及其制备方法，芯片由SOI器件层和玻璃器件层键合组成；SOI器件层包括顶层硅结构、埋氧层结构和衬底层硅结构；顶层硅结构包括第一中心质量块，第一中心质量块通过蟹腿型梁和顶层边框连接，顶层边框和中心质量块之间设有梳齿电容；埋氧层结构包括释放区和非释放区；衬底层硅结构包括第二中心质量块，第二中心质量块通过T型梁和衬底层边框连接，第二中心质量块中部设有安装腔体，外部的载荷传递立柱安装于安装腔体当中，将力/力矩传递到第二中心质量块；本发明实现六轴力的解耦检测，易于电路集成；以SOI晶圆和玻璃圆片为基础，结合光刻、浅刻蚀等工艺实现芯片的制备，工艺简单，易于批量制造。
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公开(公告)号：CN112179535B
公开(公告)日：2022-02-11
申请号：CN202010888331.9
申请日：2020-08-28
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01L1/24 , G01K11/3206 , G01B11/16 , G02B5/18
Abstract: 本发明公开了一种双参量一体化传感器及其制备方法和监测系统，通过去除光纤表面的涂覆层和包层去并除杂，在同一段裸纤上采用熔接机对除杂后的裸纤进行挤压熔接形成两个间隔的光纤粗锥，利用激光刻写方法在两个光纤粗锥之间的光纤中刻写光栅，从而得到双参量一体化光纤传感器，能够同时用于应变和温度参量的测量，通过在一根光纤上制作两个粗锥耦合点，构成马赫曾德尔传感器，并在传感臂上采用飞秒激光刻写技术制作光纤光栅，采用光纤结构，不易腐蚀且灵敏度高，不易受到电磁干扰，在同一个监测点上能够同时获取应变和温度参量，提高了测量精度和检测范围。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107631739B
公开(公告)日：2020-11-10
申请号：CN201710801884.4
申请日：2017-09-07
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种光纤光栅振动/应力复合传感器，光纤光栅振动/应力复合传感器，包括基底薄板和光纤，光纤粘附在基底薄板上表面的中轴线上，光纤光栅一对应黏贴在两端固支梁的中间位置，其轴向与两端固支梁中心轴重合；光纤光栅二对应黏贴在屏蔽器的中心位置，其轴向与屏蔽器中心轴重合。本发明能够避免环境温度变化带来的干扰，同时测量振动信号和应力信号。
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公开(公告)号：CN111702653A
公开(公告)日：2020-09-25
申请号：CN202010415162.7
申请日：2020-05-15
Applicant: 西安交通大学
IPC: B24B37/00 , B24B37/11 , B24B37/27 , B24B37/34 , B24B13/00 , B24B13/005 , B24B13/01 , B24B49/12 , B24B1/00
Abstract: 本发明公开了一种平面光学元件行星式研磨装置及研磨方法，通过将工件盘的下端面与研磨台上端面平行设置，研磨台和工件盘能够相互不同轴转动，在工件盘上开设有多个夹具定位孔，多个夹具定位孔以工件盘驱动轴的轴线为中心圆周阵列，通过夹具夹持待加工光学元件，利用工件盘限位后使待加工光学元件的待研磨端面与研磨上端面接触，最后通过施压装置调整待加工光学元件与研磨台之间的压力，确保待加工光学元件与研磨台之间的接触稳定性，本装置结构简单，通过研磨盘和工件盘以行星式的运动方式相互转动，大大提高了平面光学元件的研磨速度，在研磨过程中通过施压装置实时保持同样的压力，保证了工件加工的平整度，提高了整个加工工艺的加工效率。
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公开(公告)号：CN110646639A
公开(公告)日：2020-01-03
申请号：CN201910877455.4
申请日：2019-09-17
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 发明涉及一种纳米测量仪器校准用标准样板及其制备方法，利用原子层沉积工艺在基底表面沉积一层的Al2O3薄膜；再在Al2O3薄膜表面旋涂光刻胶，并进行烘干；利用电子束直写的方式对光刻胶进行曝光操作，曝光图案为纳米测量仪器校准用标准样板中校准结构在x方向和y方向对应的图案；在显影液中进行显影，然后进行后烘；去除显影部位残余的光刻胶；采用腐蚀方法去除未被光刻胶覆盖的Al2O3薄膜；去除表面的剩余光刻胶；进行烘干得到所述纳米测量仪器校准用标准样板。本发明能够实现对校准结构的三维尺寸精度的纳米级控制，同时解决了一次性校准原子力显微镜x、y、z轴的问题，提高了校准效率。
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公开(公告)号：CN108663113A
公开(公告)日：2018-10-16
申请号：CN201810651088.1
申请日：2018-06-22
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了光纤悬臂梁振动传感器及其制备方法，包括硅基座、光纤悬臂梁、封装壳体及单光纤准直器，其中，封装壳体固定于硅基座上，且封装壳体的底部设置有第一凹槽，硅基座的上表面设置有开设有第二凹槽及第三凹槽，其中，第二凹槽与第三凹槽相连通，第一凹槽位于第二凹槽的正上方，单光纤准直器的端部插入于第一凹槽内，光纤悬臂梁的端部沿第三凹槽伸入到第二凹槽内，且光纤悬臂梁的端部射出的光线经第二凹槽的内壁反射后入射到单光纤准直器中，该传感器能够实现振动的测量，同时体积小，抗电磁干扰能力强，同时制备方法简单，易于实现。
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公开(公告)号：CN105862007B
公开(公告)日：2018-08-10
申请号：CN201610225663.2
申请日：2016-04-12
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种在Cu薄膜体系中生成Cu三角晶体的方法，首先在具有 晶向的基底上沉积Cu薄膜；随后在Cu薄膜上沉积一层还原性较强的其他材料的薄膜，用以防止Cu薄膜在高温下被氧化；然后采用热处理设备在惰性气体氛围内对样品进行退火，退火温度大于500℃，保温一定时间后，随炉冷却，得到Cu三角晶体。所得到的Cu三角晶体表面，成正等边三角形。
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