公开(公告)号：CN212762908U

公开(公告)日：2021-03-23

申请号：CN202021582011.2

申请日：2020-08-03

Applicant: 苏州大学

Inventor： 张雷 ,  樊成 ,  王可军 ,  王倩 ,  陆耀 ,  薛宇程 ,  徐佳男

IPC: B24B49/00 ,  B24B49/10 ,  G01H11/08

Abstract: 本实用新型揭示了一种微振动信号敏感元件，包括：基底层，其上开设有裂纹，所述裂纹沿所述基底层厚度方向贯穿该基底层，所述裂纹具有一封闭的尖端部；压电薄膜，设于所述裂纹尖端部一侧的基底层上，用于将裂纹产生的振动信号转化为电信号；输出电极，连接所述压电薄膜，用于输出所述电信号。本实用新型还提供了一种微振动信号检测机构以及磨床对刀精准检测装置。本实用新型对砂轮和工件接触瞬间产生的振动信号进行采集处理，可根据磨床加工环境调节对刀精度，该磨床对刀精准检测装置结构简单、对刀过程高效、成本低，提高了精密/超精密磨床中工件加工的表面质量和精度。

公开(公告)号：CN212269451U

公开(公告)日：2021-01-01

申请号：CN202021582014.6

申请日：2020-08-03

Applicant: 苏州大学

Inventor： 王可军 ,  王倩 ,  陆耀 ,  张雷 ,  樊成 ,  薛宇程 ,  蒋立伟 ,  归悦承

IPC: B81B3/00 ,  B81C1/00

Abstract: 本实用新型揭示了一种集成机械能收集与振动检测功能的微器件，包括：基底层，其上开设有裂纹结构，所述裂纹结构沿所述基底层厚度方向贯穿该基底层，所述裂纹结构具有一封闭的尖端部；振动检测结构，设于所述基底层上且部分覆盖所述裂纹结构，所述振动检测结构用于检测振动信号；机电转换结构，嵌设于所述裂纹结构尖端部一侧的基底层内，所述机电转换结构能够将机械能进行收集并转化成电能。本实用新型的优点包括通过裂纹结构的开设，既可实现对机械能的高效收集也可实现微弱振动信号的高精度检测。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利