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公开(公告)号：CN102340292A
公开(公告)日：2012-02-01
申请号：CN201110150627.1
申请日：2011-06-07
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 河合宏纪
CPC classification number: H03H9/21 , H03H3/04 , H03H9/0519 , H03H9/1021 , H03H2003/0428 , H03H2003/0492
Abstract: 本发明提供振动片、频率调整方法、振子、振动器件以及电子设备，振动片、频率调整方法能简单且高精度地进行频率调整，振子、振动器件及电子设备具有该振动片，可靠性良好。振动片具有：基部；振动臂(28)，其从基部起在Y轴方向上延伸，并在与Y轴方向垂直的Z轴方向上进行弯曲振动；第1质量部(51)和第2质量部(54)，它们设置在振动臂(28)上，通过照射能量线而被去除一部分或全部从而质量减小，以调整振动臂(28)的谐振频率，第1质量部(51)设在振动臂(28)的第1面(281)上，第2质量部(54)设在振动臂(28)的第2面(282)上，在从Z轴方向观察时，第1质量部(51)和第2质量部(54)具有彼此不重叠的部分。
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公开(公告)号：CN110208574B
公开(公告)日：2023-04-14
申请号：CN201910140516.9
申请日：2019-02-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供一种传感器器件、力检测装置以及机器人，能够发挥优异的力检测特性。传感器器件具备：基体，具有凹部；盖体，堵塞所述凹部的开口；力检测元件，配置于所述凹部，够成为包括第一元件和第二元件，该第一元件根据第一方向的外力输出第一信号，该第二元件层叠于所述第一元件，根据第二方向的外力输出第二信号；第一电路，配置于所述凹部，对所述第一信号进行处理；第二电路，配置于所述凹部，对所述第二信号进行处理，当将在所述基体的俯视观察中所述第一电路以及所述第二电路排列的方向作为第三方向、将与所述第三方向正交的方向作为第四方向时，在所述第三方向上，所述力检测元件位于所述第一电路与所述第二电路之间。
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公开(公告)号：CN108731854A
公开(公告)日：2018-11-02
申请号：CN201810255085.6
申请日：2018-03-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01L1/16
Abstract: 本发明提供了能减少相对于被安装部件的安装方所引起的检测精度的降低的力检测装置以及机器人。力检测装置的特征在于，具备：第一板，具有连接部；第二板；构造体，位于所述第一板和所述第二板之间，所述构造体具有：传感器装置，具备至少一个压电元件；第一固定部，与所述传感器装置接触，被固定于所述第一板；第二固定部，与所述传感器装置接触，被固定于所述第二板；从所述第一板和所述第二板重叠的方向观察，所述连接部的至少一部分与所述构造体重叠。
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公开(公告)号：CN103105250B
公开(公告)日：2016-12-21
申请号：CN201210443024.5
申请日：2012-11-08
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G01L5/167 , B25J13/085 , B25J19/028 , G01L5/226
Abstract: 本发明涉及传感器元件、力检测装置以及机器人。在设为α轴、与上述α轴正交的β轴以及与上述α轴与上述β轴正交的γ轴作为空间坐标轴情况下，传感器元件是将压电基板和电极在上述γ轴方向上层叠而形成的，传感器元件具备连接部，连接部被配置成上述电极的外沿部的一部分与上述压电基板的外沿部的一部分重叠，在上述γ轴方向上观察时上述连接部被配置成彼此不重叠，在上述压电基板的外周部的一部分形成有将上述连接部与外部连接部电连接的配线。通过本发明能够得到可缩小配线空间的小型的力检测装置。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105865670A
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201610064430.9
申请日：2016-01-29
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01L1/16
Abstract: 本发明提供力检测装置以及机器人。为了提供轻型并且具有优异的检测精度的力检测装置以及机器人，本发明的力检测装置具有：第一部件；第二部件，其与上述第一部件结合；以及压电元件，其与上述第二部件结合，构成上述第一部件的材料与构成上述第二部件的材料不同。另外，优选第一部件呈板状，上述压电元件以及上述第二部件配置于上述第一部件的端部，在上述第一部件的中央部形成有贯通孔。
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公开(公告)号：CN104596681A
公开(公告)日：2015-05-06
申请号：CN201410594251.7
申请日：2014-10-29
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H01L41/1132 , B25J13/085 , G01L1/16 , G01L5/226 , H01L41/083
Abstract: 本发明提供一种传感器设备、力检测装置、机器人、电子部件输送装置、电子部件检查装置以及部件加工装置，该传感器设备具有：电荷输出元件，其具有多个压电体以及形成在各压电体之间的内部电极；外壳，其收纳电荷输出元件；第一导电性膏，其与多个内部电极电连接；以及第二导电性膏，其将第一导电性膏与输出端子电连接，并且与第一导电性膏相比弹性模量较低。另外，第一导电性膏的杨氏模量在3.4GPa以上5.0GPa以下，第二导电性膏的杨氏模量在0.1GPa以上0.2GPa以下。
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公开(公告)号：CN104596679A
公开(公告)日：2015-05-06
申请号：CN201410589610.X
申请日：2014-10-28
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供传感器元件、力检测装置、机器人、电子部件输送装置、电子部件检查装置以及部件加工装置，其中，电荷输出元件具有：第1传感器，其具有由Y型切割水晶板构成的第1压电板、和分别设置于该第1压电板的两面的第1电极层；第2传感器，其具有由X型切割水晶板构成的第2压电板、和分别设置于该第2压电板的两面的第2电极层；以及第3传感器，其具有由Y型切割水晶板构成的第3压电板、和分别设置于该第3压电板的两面的第3电极层，并具备将第1传感器、第2传感器以及第3传感器沿层叠方向层叠的层叠体。
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公开(公告)号：CN103994845A
公开(公告)日：2014-08-20
申请号：CN201410053005.0
申请日：2014-02-17
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供小型且降低了输出漂移的力检测装置、使用了该力检测装置的机械手以及移动体。力检测装置（1a）具备根据接受的外力来输出电荷Q的电荷输出元件（10a）；具有第一开关元件（23）和第一电容器（22），且将电荷Q转换为电压V并输出上述电压的转换输出电路（20）；具有第二开关元件（33）和第二电容器（32），并输出补偿用信号Voff的补偿用信号输出电路（30）；以及基于从转换输出电路（20）输出的电压V和从补偿用信号输出电路（30）输出的补偿用信号Voff，来检测外力的外力检测电路（40a）。第二电容器（32）的静电容量比第一电容器（22）的静电容量小。
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公开(公告)号：CN103105250A
公开(公告)日：2013-05-15
申请号：CN201210443024.5
申请日：2012-11-08
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G01L5/167 , B25J13/085 , B25J19/028 , G01L5/226
Abstract: 本发明涉及传感器元件、力检测装置以及机器人。在设为α轴、与上述α轴正交的β轴以及与上述α轴与上述β轴正交的γ轴作为空间坐标轴情况下，传感器元件是将压电基板和电极在上述γ轴方向上层叠而形成的，传感器元件具备连接部，连接部被配置成上述电极的外沿部的一部分与上述压电基板的外沿部的一部分重叠，在上述γ轴方向上观察时上述连接部被配置成彼此不重叠，在上述压电基板的外周部的一部分形成有将上述连接部与外部连接部电连接的配线。通过本发明能够得到可缩小配线空间的小型的力检测装置。
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