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公开(公告)号：CN1737498A
公开(公告)日：2006-02-22
申请号：CN200510090561.6
申请日：2005-08-17
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 江口诚
CPC classification number: G01C19/5607
Abstract: 振动片、振子和应用装置。本发明的课题是提供在生产率方面优越的、能高精度地检测角速度的振动片。在由Z轴方向上具有厚度的压电材料构成的振动片(10)中，具备：沿成为振动片(10)的旋转的旋转轴的Y轴方向延伸的棒状的臂部(1a、1b)；以及在与臂部(1a、1b)的延伸的方向垂直的X轴方向上延伸的、在XY平面上与臂部(1a、1b)连接的棒状的梁(2)，在与臂部(1a、1b)的XY平面相向的面上和与YZ平面相向的面上设置使臂部(1a、1b)在XY平面上进行弯曲振动的驱动电极(20、21)，在与梁(2)的XY平面相向的面上设置了检测梁(2)的变形用的检测电极(30、31、40、41)，其中，上述变形是受到因以振动片(10)的Y轴为旋转轴的旋转而在臂部(1a、1b)中激励起的科里奥利力的作用而产生的。
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