公开(公告)号：CN1518399A

公开(公告)日：2004-08-04

申请号：CN200410001843.X

申请日：2004-01-14

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 四谷真一 ,  桑原贵之

IPC: H05B33/10 ,  H01L21/28

CPC classification number: H01L51/001 ,  C23C14/042 ,  C23C14/12 ,  H01L51/0011 ,  Y10T428/24273

Abstract: 本发明提供一种成膜用精密掩模。具有以规定的间隔平行配置，形成多个第一开口部(2)的第一梁(3)；在第一梁(3)之上，与该第一梁(3)交叉配置形成多个第二开口部(4)的1或多个第二梁(5)；第一梁(3)和第二梁(5)在交叉部分连结。由此可在有机EL显示装置的发光层等的蒸镀时，与玻璃基板的对位容易，并且能形成强度充分并且正确的蒸镀图形的成膜用精密掩模。另外，本发明还提供简单并且可靠地制造这样的成膜用精密掩模的方法、有机EL显示装置及其制造方法、具有有机EL显示装置的电子仪器。