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公开(公告)号:CN102608753B
公开(公告)日:2016-04-27
申请号:CN201210017974.1
申请日:2012-01-19
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor: 广久保望
CPC classification number: G02B26/001 , G01J3/027 , G01J3/10 , G01J3/26 , G01J3/51
Abstract: 本发明提供一种波长可变干涉滤波器、光模块、光分析装置以及分析装置。该波长可变干涉滤波器具备:具有固定反射膜的固定基板;具有可动反射膜的可动基板;以及包括固定电极以及可动电极的静电执行机构,其中,固定电极包括相互绝缘的第一固定部分电极以及第二固定部分电极,在固定基板上包括从第一固定部分电极以及第二固定部分电极延伸出的第一引出电极以及第二引出电极,可动电极形成覆盖与第一固定部分电极相对的第一相对区域以及与第二固定部分电极相对的第二相对区域的圆环状。
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公开(公告)号:CN103675977A
公开(公告)日:2014-03-26
申请号:CN201310404583.X
申请日:2013-09-06
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G02B26/001 , G01J3/0264 , G01J3/027 , G01J3/0291 , G01J3/06 , G01J3/10 , G01J3/26 , G01J3/28 , G01J3/2823 , G01J3/32 , G01J3/42 , G01J3/50
Abstract: 本发明提供光学模块、电子设备以及驱动方法。其中,光学模块10具备波长可变干涉滤波器5以及控制静电致动器的间隙控制部15,上述波长可变干涉滤波器5具有固定反射膜、隔着反射膜间间隙与固定反射膜相对的可动反射膜以及改变反射膜间间隙的静电致动器。而且,间隙控制部15基于根据测定对象波长设定的次数控制静电致动器,改变反射膜间间隙。
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公开(公告)号:CN103293658A
公开(公告)日:2013-09-11
申请号:CN201310164462.2
申请日:2010-05-25
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G02B26/001 , G01J3/26 , G01J3/42 , G01J3/51
Abstract: 本发明提供一种能够防止反射镜的带电而使反射镜彼此粘贴消除的光滤波器、光滤波器装置、分析设备以及光滤波器的制造方法。本发明的光滤波器(1)具备:相互地面对配置的第一基板(2)及第二基板(3);在第一基板(2)的第二基板(3)侧所设置的第一反射镜(4A)及第一电极(6A);在第二基板(3)的第一基板(2)侧所设置的第二反射镜(4B)及第二电极(6B),并且第一反射镜(4A)和第二反射镜(4B)由配线(10A、10B)连接。
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公开(公告)号:CN110196490B
公开(公告)日:2022-11-08
申请号:CN201910137184.9
申请日:2019-02-25
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor: 广久保望
Abstract: 一种分光装置、温度特性导出装置、分光系统以及分光方法,能够高精度地对目标波长的光进行分光。分光装置具备:分光模块、检测所述分光模块的温度的温度检测部和控制所述分光模块的模块控制部,所述分光模块包括:干涉滤波器,具有一对反射膜以及通过施加电压改变所述一对反射膜之间的间隔尺寸的间隔变更部;以及电容检测电路,输出与所述一对反射膜之间的静电电容对应的检测信号,所述模块控制部根据所述分光模块的温度特性和由所述温度检测部检测到的检测温度校正从所述电容检测电路输出的检测信号的目标值,控制施加在所述间隔变更部的所述电压以便于成为校正从所述电容检测电路输出的检测信号的所述目标值。
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公开(公告)号:CN114659631A
公开(公告)日:2022-06-24
申请号:CN202111575468.X
申请日:2021-12-21
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor: 广久保望
Abstract: 一种用于分光测定装置的方法、分光测定系统、及存储介质,在获取多个分光图像时,即使是分光测定装置和测定对象的相对位置产生偏移时,也能够抑制该偏移的影响。所述方法具备:第一步骤,确定通过所述分光元件获取的所述多个分光图像中第一分光图像、和所述第一分光图像以外的至少一个的第二分光图像之间的共同的特征点;第二步骤,检测所述第一分光图像和所述第二分光图像之间的相对位置错位量;以及第三步骤,所检测出的所述相对位置错位量,进行所述第一分光图像和所述第二分光图像之间的定位,在所述第三步骤中进行的定位包括:根据所述共同的特征点,相对于所述第一分光图像的位置校正所述第二分光图像的位置。
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公开(公告)号:CN108955877B
公开(公告)日:2021-02-09
申请号:CN201810768082.2
申请日:2013-09-06
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01J3/02 , G01J3/06 , G01J3/10 , G01J3/26 , G01J3/28 , G01J3/32 , G01J3/42 , G01J3/50 , G02B26/00
Abstract: 本发明提供了驱动方法以及分光测定方法,该驱动方法用于驱动波长可变滤波器,所述驱动方法包括:向致动器施加与作为m+1次光的第一测定光的波长对应的第一电压,m是自然数;获取所述第一测定光的光量;在获取到所述第一测定光的光量后,向所述致动器施加与作为m次光的第二测定光的波长对应的第二电压;以及获取所述第二测定光的光量,所述第一电压小于所述第二电压。
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公开(公告)号:CN105319797B
公开(公告)日:2020-10-09
申请号:CN201510275094.8
申请日:2015-05-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor: 广久保望
IPC: G02F1/21
Abstract: 本发明提供MEMS驱动装置、电子设备及MEMS驱动方法,即使施加有干扰振动的情况下也能够进行高精度地驱动控制。分光测定装置具备:波长可变干涉滤波器(5),具有固定基板(51)、可动基板(52)、和改变基板(51)、(52)之间的间隙尺寸的静电致动器(56);振动干扰检测部(151),检测施加于波长可变干涉滤波器(5)的振动;以及偏压驱动部(152),将基于振动干扰检测部(151)的检测值的前馈电压施加于静电致动器(56)。
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公开(公告)号:CN105716714B
公开(公告)日:2020-08-21
申请号:CN201510946187.9
申请日:2015-12-16
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor: 广久保望
Abstract: 本发明提供了以短时间实现正确测色的测色装置及印刷装置。该测色装置具备:测色部,向沿X方向配置有多个块的颜色图表照射光点,并根据该点的反射光对多个块分别进行测色;滑架,搭载测色部;以及移动机构,使滑架相对于颜色图表在X方向上相对移动,测色部在规定的初始化处理后开始测色,从地点P1至地点P3为止的块间移动区间与执行初始化处理时点移动的初始化区间重复,块间移动区间是以块的边缘为基准,从相对于X方向向前方仅点的半径的地点开始直至相对于X方向向后方仅所述点的半径的地点为止的区间。
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公开(公告)号:CN107479182B
公开(公告)日:2020-04-17
申请号:CN201710831835.5
申请日:2013-05-13
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor: 广久保望
Abstract: 本发明提供了光模块、电子设备、食物分析装置、分光照相机、以及波长可变干涉滤波器的驱动方法。该光模块具备波长可变干涉滤波器以及控制施加给静电致动器部的电压的电压控制部,该波长可变干涉滤波器具备相互相对的反射膜、以及具有第一静电致动器及第二静电致动器且用于改变反射膜间间隙的静电致动器部,电压控制部具备对第一静电致动器施加偏压的偏压驱动部、间隙检测器以及对第二静电致动器施加与检测出的间隙量相对应的反馈电压的反馈控制部。
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公开(公告)号:CN104516100B
公开(公告)日:2019-05-17
申请号:CN201410488590.7
申请日:2014-09-23
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供致动器的驱动系统、光学模块以及电子设备。致动器的驱动系统具备:各静电致动器(55)、(56)、以及将驱动电压(V1)、(V2)分别施加于各静电致动器(55)、(56)的电压控制部(15),电压控制部(15)具备:数字控制器(17),其将对应于各静电致动器(55)、(56)的总驱动量的8比特的驱动用变量P分割为4比特的各单独驱动用变量(p1)、(p2);第一DAC(181),其产生基于第一单独驱动用变量(p1)的第一驱动电压信号(s1);以及第二DAC(182),其产生基于第二单独驱动用变量(p2)的第二驱动电压信号(s2)。
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