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公开(公告)号：CN101727006B
公开(公告)日：2014-06-25
申请号：CN200910179894.4
申请日：2009-10-20
Applicant: 第一毛织株式会社
IPC: G03F7/075
CPC classification number: G03F7/0233 , G03F7/0048 , Y10S430/107
Abstract: 本发明披露了一种正光敏树脂组合物，该组合物包含(A)第一聚苯并噁唑前体，其包括：化学式1的重复单元以及在至少一个末端的可热聚合官能团；(B)第二聚苯并噁唑前体，其包括化学式3的重复单元；(C)光敏重氮醌化合物；(D)硅烷化合物；以及(E)溶剂。
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公开(公告)号：CN102566274B
公开(公告)日：2014-05-07
申请号：CN201110349054.5
申请日：2011-11-07
Applicant: 第一毛织株式会社
CPC classification number: H01L23/296 , G03F7/0226 , G03F7/0233 , G03F7/0751 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 本发明公开了一种正型光敏树脂组合物，包括：(A)碱溶性树脂；(B)包括由化学式6表示的化合物的溶解控制剂；(C)光敏重氮醌化合物；(D)硅烷化合物；和(E)溶剂，以及使用该正型光敏树脂组合物制备的光敏树脂膜和该光敏树脂膜的半导体器件。本发明的正型光敏树脂组合物具有优异的膜残留率、敏感度和分辨率。[化学式6]。
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公开(公告)号：CN102109763B
公开(公告)日：2013-01-09
申请号：CN201010597687.3
申请日：2010-12-20
Applicant: 第一毛织株式会社
IPC: G03F7/039
CPC classification number: G03F7/039 , G03F7/0755
Abstract: 本申请披露的内容涉及一种正性光敏树脂组合物，包括(A)选自聚苯并噁唑前体、聚酰胺酸、或它们的组合的树脂前体；(B)沸点从约210℃到约400℃范围且极性从约1D到约4D范围的溶解控制剂；(C)产酸剂；(D)硅烷基化合物；以及(E)溶剂。聚苯并噁唑前体包括由化学式1表示的重复单元，或由化学式1和2表示的两种重复单元，并且在至少一端具有热可聚合官能团。聚酰胺酸包括化学式50和51的重复单元。在化学式1和化学式2中，每个取代基与说明书中定义的相同。在化学式50和51中，每个取代基与说明书中定义的相同。
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公开(公告)号：CN102566274A
公开(公告)日：2012-07-11
申请号：CN201110349054.5
申请日：2011-11-07
Applicant: 第一毛织株式会社
CPC classification number: H01L23/296 , G03F7/0226 , G03F7/0233 , G03F7/0751 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 本发明公开了一种正型光敏树脂组合物，包括：(A)碱溶性树脂；(B)包括由化学式6表示的化合物的溶解控制剂；(C)光敏重氮醌化合物；(D)硅烷化合物；和(E)溶剂，以及使用该正型光敏树脂组合物制备的光敏树脂膜和该光敏树脂膜的半导体器件。本发明的正型光敏树脂组合物具有优异的膜残留率、敏感度和分辨率。[化学式6]
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公开(公告)号：CN101727006A
公开(公告)日：2010-06-09
申请号：CN200910179894.4
申请日：2009-10-20
Applicant: 第一毛织株式会社
IPC: G03F7/075
CPC classification number: G03F7/0233 , G03F7/0048 , Y10S430/107
Abstract: 本发明披露了一种正光敏树脂组合物，该组合物包含(A)第一聚苯并噁唑前体，其包括：化学式1的重复单元以及在至少一个末端的可热聚合官能团；(B)第二聚苯并噁唑前体，其包括化学式3的重复单元；(C)光敏重氮醌化合物；(D)硅烷化合物；以及(E)溶剂。
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