公开(公告)号：CN103186047B

公开(公告)日：2015-08-12

申请号：CN201210331594.5

申请日：2012-09-07

Applicant: 第一毛织株式会社

Inventor： 尹银卿 ,  黄银夏 ,  李种和 ,  权志伦 ,  金大润 ,  金上权 ,  金相均 ,  金尚洙 ,  卢健培 ,  李俊昊 ,  李珍泳 ,  赵显龙 ,  洪忠范

IPC: G03F7/039 ,  H01L51/54

CPC classification number: G03F7/0226 ,  G03F7/0233 ,  G03F7/0236 ,  G03F7/0755 ,  G03F7/085 ,  Y10S430/107

Abstract: 本申请公开了一种正型光敏树脂组合物和使用其的显示器件及有机发光器件。该正型光敏树脂组合物，包括（A）选自聚苯并噁唑前体、聚酰亚胺前体及其组合的碱性可溶解树脂，（B）光敏性的二氮醌（diazoquinone）化合物，（C）下列化学式1代表的化合物，和（D）溶剂，以及使用其的显示器件和有机发光器件。化学式1与具体实施方式中的限定的是相同的。[化学式1]

公开(公告)号：CN101978322B

公开(公告)日：2014-11-05

申请号：CN200880128156.0

申请日：2008-12-31

Applicant: 第一毛织株式会社

Inventor： 郑斗瑛 ,  郑知英 ,  赵显龙 ,  俞龙植 ,  李吉成 ,  车明焕

IPC: G03F7/039

CPC classification number: G03F7/0233 ,  G03F7/0751 ,  Y10S430/107

Abstract: 根据本发明一具体实施方式的正型光敏性树脂组合物包括聚酰胺酸或聚酰胺酸酯化合物，其包括以本说明书定义的式1表示的重复单元；光敏性重氮醌化合物；硅烷化合物；酚化合物；及溶剂。该正型光敏性树脂组合物可在260℃或更低的低温固化，并具有高敏感性、分辨率、残留物去除、基材附着性、和图案形成性能以及低的膜收缩。

公开(公告)号：CN104040430A

公开(公告)日：2014-09-10

申请号：CN201280065652.2

申请日：2012-07-17

Applicant: 第一毛织株式会社

Inventor： 权志伦 ,  李种和 ,  赵显龙 ,  金大润 ,  金上权 ,  金相均 ,  金尚洙 ,  尹银卿 ,  李俊昊 ,  李珍泳 ,  田桓承 ,  洪忠范 ,  黃银夏

IPC: G03F7/022 ,  G03F7/004 ,  G02F1/13

CPC classification number: G03C1/61 ,  G03F7/0226 ,  G03F7/0233 ,  G03F7/0751 ,  G03F7/105

Abstract: 本发明公开了正性光敏树脂组合物，该正性光敏树脂组合物包含：(A)选自聚苯并噁唑前体、聚酰亚胺前体、以及它们的组合的碱溶性树脂；(B)光敏重氮醌化合物；(C)苯酚化合物；(D)有机染料以及(E)溶剂，其中，有机染料(D)包含至少一种具有590nm至700nm的吸收波长的红染料、至少一种具有550nm至590nm的吸收波长的黄染料、以及至少一种具有450nm至500nm的吸收波长的蓝染料。

公开(公告)号：CN103135354A

公开(公告)日：2013-06-05

申请号：CN201210272274.7

申请日：2012-08-01

Applicant: 第一毛织株式会社

Inventor： 郑知英 ,  李珍泳 ,  李种和 ,  赵显龙 ,  金尚洙 ,  尹银卿 ,  李俊昊 ,  车明焕 ,  黄银夏

IPC: G03F7/039 ,  G03F7/016 ,  G02F1/1333 ,  H01L23/29

CPC classification number: G03F7/0236 ,  G03F7/0233 ,  G03F7/0751 ,  H01L23/293 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: 本发明涉及正型光敏树脂组合物、由其制造的光敏树脂膜及含有该光敏树脂膜的半导体装置。本发明公开了正型光敏树脂组合物，其包括(A)含有第一聚苯并噁唑前体的聚苯并噁唑前体，该第一聚苯并噁唑前体包含化学式1所示重复单元和化学式2所示重复单元，在至少一个末端具有可热聚官能团；(B)含有酚醛树脂的溶解控制剂，该酚醛树脂包含化学式4所示重复单元；(C)光敏重氮醌化合物；(D)硅烷化合物；(E)产酸剂；以及(F)溶剂；本发明还公开了用该正型光敏树脂组合物制成的光敏树脂膜以及含有该光敏树脂膜的半导体装置。该正型光敏树脂组合物具有优异的灵敏度、分辨率、图案成形性能、残余物去除性能和可靠性。

公开(公告)号：CN102053498B

公开(公告)日：2013-05-15

申请号：CN201010190605.3

申请日：2010-05-27

Applicant: 第一毛织株式会社

Inventor： 郑知英 ,  郑闵鞠 ,  赵显龙 ,  郑斗瑛 ,  李种和 ,  俞龙植 ,  李廷宇 ,  田桓承

IPC: G03F7/075 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/0233 ,  G03F7/40

Abstract: 本发明披露了一种正型感光性树脂组合物，其包括(A)聚苯并噁唑前体，该聚苯并噁唑前体包括化学式1表示的重复单元、化学式2表示的重复单元、或其结合，和在聚苯并噁唑前体至少一个末端的可热聚合官能团；(B)感光性重氮醌化合物；(C)硅烷化合物；(D)包含交联官能团的酚类化合物；以及(E)溶剂。

公开(公告)号：CN102540724A

公开(公告)日：2012-07-04

申请号：CN201110238394.0

申请日：2011-08-18

Applicant: 第一毛织株式会社

Inventor： 郑知英 ,  郑闵鞠 ,  李种和 ,  任美罗 ,  赵显龙 ,  车明焕 ,  田桓承

IPC: G03F7/039 ,  H01L21/312

CPC classification number: G03F7/0233 ,  G03F7/0751 ,  G03F7/40

Abstract: 本发明提供了正型光敏树脂组合物，其包括：(A)包括含有由以下化学式1表示的重复单元和由以下化学式2表示的重复单元并在至少一个末端上具有热聚合性官能团的第一聚苯并噁唑前体的聚苯并噁唑前体；(B)光敏重氮醌化合物；(C)硅烷化合物；(D)酚化合物；和(E)溶剂。本发明提供了利用该正型光敏树脂组合物制造的光敏树脂膜。并提供了一种包含该光敏树脂膜的半导体器件。利用该正型光敏树脂组合物制造的膜具有改善的机械性质、可靠性、灵敏度、分辨率、图案外观和残余物除去性。

公开(公告)号：CN101978322A

公开(公告)日：2011-02-16

申请号：CN200880128156.0

申请日：2008-12-31

Applicant: 第一毛织株式会社

Inventor： 郑斗瑛 ,  郑知英 ,  赵显龙 ,  俞龙植 ,  李吉成 ,  车明焕

IPC: G03F7/039

CPC classification number: G03F7/0233 ,  G03F7/0751 ,  Y10S430/107

Abstract: 根据本发明一具体实施方式的正型光敏性树脂组合物包括聚酰胺酸或聚酰胺酸酯化合物，其包括以本说明书定义的式1表示的重复单元；光敏性重氮醌化合物；硅烷化合物；酚化合物；及溶剂。该正型光敏性树脂组合物可在260℃或更低的低温固化，并具有高敏感性、分辨率、残留物去除、基材附着性、和图案形成性能以及低的膜收缩。

公开(公告)号：CN103135354B

公开(公告)日：2014-12-10

申请号：CN201210272274.7

申请日：2012-08-01

Applicant: 第一毛织株式会社

Inventor： 郑知英 ,  李珍泳 ,  李种和 ,  赵显龙 ,  金尚洙 ,  尹银卿 ,  李俊昊 ,  车明焕 ,  黄银夏

IPC: G03F7/039 ,  G03F7/016 ,  G02F1/1333 ,  H01L23/29

CPC classification number: G03F7/0236 ,  G03F7/0233 ,  G03F7/0751 ,  H01L23/293 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: 本发明涉及正型光敏树脂组合物、由其制造的光敏树脂膜及含有该光敏树脂膜的半导体装置。本发明公开了正型光敏树脂组合物，其包括(A)含有第一聚苯并噁唑前体的聚苯并噁唑前体，该第一聚苯并噁唑前体包含化学式1所示重复单元和化学式2所示重复单元，在至少一个末端具有可热聚官能团；(B)含有酚醛树脂的溶解控制剂，该酚醛树脂包含化学式4所示重复单元；(C)光敏重氮醌化合物；(D)硅烷化合物；(E)产酸剂；以及(F)溶剂；本发明还公开了用该正型光敏树脂组合物制成的光敏树脂膜以及含有该光敏树脂膜的半导体装置。该正型光敏树脂组合物具有优异的灵敏度、分辨率、图案成形性能、残余物去除性能和可靠性。

公开(公告)号：CN102540725B

公开(公告)日：2014-01-29

申请号：CN201110374325.2

申请日：2011-11-22

Applicant: 第一毛织株式会社

Inventor： 赵显龙 ,  郑闵鞠 ,  郑知英 ,  李种和 ,  俞龙植 ,  李廷宇 ,  田桓承 ,  金洙荣 ,  金永虎 ,  金宰贤 ,  朴秀敏

IPC: G03F7/039 ,  G03F7/016 ,  H01L23/29

CPC classification number: G03F7/0233 ,  H01L23/293 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: 本发明公开了一种正性光敏树脂组合物，所述正性光敏树脂组合物包括(A)包含由下列化学式1表示的重复单元的聚苯并噁唑前体；(B)光敏重氮醌化合物；(C)硅烷化合物；(D)酚化合物；和(E)溶剂。在上述化学式1中，各个取代基与说明书中所限定的相同。本发明的正性光敏树脂组合物具有高感光度、高分辨率、良好的图案形成性能和优异的残留物除去性能。[化学式1]

公开(公告)号：CN103186039A

公开(公告)日：2013-07-03

申请号：CN201210287599.2

申请日：2012-08-13

Applicant: 第一毛织株式会社

Inventor： 李种和 ,  赵显龙 ,  郑闵鞠 ,  郑知英 ,  车明焕

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/039 ,  C08G8/30 ,  G03F7/09 ,  H01L23/29

CPC classification number: G03F7/0233 ,  C08G8/28 ,  C08G73/22 ,  C08L61/14 ,  C08L79/04 ,  G03F7/023 ,  H01L23/293 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: 本发明公开了一种光敏酚醛清漆树脂和包含其的正性光敏树脂组合物。所述光敏酚醛清漆树脂包含由下列化学式1表示的结构单元和由下列化学式2表示的结构单元。此外，本发明还涉及使用正性光敏树脂组合物制造的光敏树脂膜；以及包含所述光敏树脂组合物的半导体装置。 在化学式1和2中，R11、R12、R13和R14与具体实施方式中所定义的相同。