公开(公告)号：CN102428543B

公开(公告)日：2016-02-24

申请号：CN201080021681.X

申请日：2010-04-08

Applicant: 瓦里安半导体设备公司

Inventor： 凯文·M·丹尼尔斯 ,  罗素·J·洛 ,  班杰明·B·里欧登

IPC: H01L21/265

CPC classification number: H01L31/068 ,  H01J2237/31711 ,  H01L21/266 ,  H01L31/1804 ,  Y02E10/547 ,  Y02P70/521

Abstract: 本文中揭示一种用于处理基板的改良技术。在一特定例示性实施例中，所述技术可作为用于处理基板的方法而实现。所述方法可包括：沿离子束路径将包括多个离子的离子束自离子源引导至基板；在所述离子源与所述基板之间在所述离子束路径中安置遮罩的至少一部分；以及使所述基板及所述遮罩中的一者相对于所述基板及所述遮罩中的另一者平移。

公开(公告)号：CN103229288A

公开(公告)日：2013-07-31

申请号：CN201180056752.4

申请日：2011-09-23

Applicant: 瓦里安半导体设备公司

Inventor： 尼可拉斯·P·T·贝特曼 ,  凯文·M·丹尼尔斯 ,  阿塔尔·古普塔 ,  罗素·J·洛 ,  班杰明·D·里欧登 ,  罗伯特·J·米歇尔 ,  史蒂芬·M·恩尔拉

IPC: H01L21/677 ,  H01J37/317 ,  H01L21/687

CPC classification number: H01L21/677 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/31711 ,  H01L21/68735 ,  H01L31/1804 ,  Y02E10/547 ,  Y02P70/521

Abstract: 本发明揭示了改良的、低成本的制作基板的方法以创造太阳能电池。此外，还揭示了改良的基板载具。一般用以运载基板的载具被改良，以便来当作图案化植入的遮蔽罩幕。在一些实施例中，各种图案能够利用载具产生而出，使得可藉由改变载具或载具的位置来执行在基板上不同的制程步骤。另外，因为基板对载具的对准是重要的，所以载具可包括对准特征来确保基板能够在载具上适当地定位好。在一些实施例中，重力会被用来支撑在载具上的基板，且因此离子被引导离子以便使离子束向上朝向载具的底侧行进。

公开(公告)号：CN102428543A

公开(公告)日：2012-04-25

申请号：CN201080021681.X

申请日：2010-04-08

Applicant: 瓦里安半导体设备公司

Inventor： 凯文·M·丹尼尔斯 ,  罗素·J·洛 ,  班杰明·B·里欧登

IPC: H01L21/265

CPC classification number: H01L31/068 ,  H01J2237/31711 ,  H01L21/266 ,  H01L31/1804 ,  Y02E10/547 ,  Y02P70/521

Abstract: 本文中揭示一种用于处理基板的改良技术。在一特定例示性实施例中，所述技术可作为用于处理基板的方法而实现。所述方法可包括：沿离子束路径将包括多个离子的离子束自离子源引导至基板；在所述离子源与所述基板之间在所述离子束路径中安置遮罩的至少一部分；以及使所述基板及所述遮罩中的一者相对于所述基板及所述遮罩中的另一者平移。