公开(公告)号：CN101346803B

公开(公告)日：2010-08-04

申请号：CN200680049162.8

申请日：2006-12-06

Applicant: 瓦里安半导体设备公司

Inventor： 拉塞尔·J·罗 ,  乔纳森·G·英格兰 ,  史蒂夫·E·克劳斯 ,  艾立克·D·赫尔曼森

IPC: H01L21/302

CPC classification number: H01J37/3171 ,  H01J37/09 ,  H01J37/15 ,  H01J37/18 ,  H01J37/302 ,  H01J37/3023 ,  H01J2237/0455 ,  H01J2237/0458 ,  H01J2237/1503 ,  H01J2237/182 ,  H01J2237/188 ,  H01J2237/30488 ,  H01J2237/31705 ,  H01L21/266

Abstract: 本发明揭示用于减少光致抗蚀剂释气效应的技术。在一个特定示范性实施例中，所述技术可实行为一种用于在离子注入机中减少光致抗蚀剂释气效应的设备。所述设备可包括位于终端站与上游束线组件之间的漂移管。所述设备还可包括位于漂移管与终端站之间的第一可变孔径。所述设备可进一步包括位于漂移管与上游束线组件之间的第二可变孔径。可调节第一可变孔径和第二可变孔径以促进差动抽吸。

公开(公告)号：CN101410930A

公开(公告)日：2009-04-15

申请号：CN200780010722.3

申请日：2007-03-28

Applicant: 瓦里安半导体设备公司

Inventor： 拉塞尔·罗 ,  皮尔·R·卢比克 ,  D·杰弗里·里斯查尔 ,  史蒂夫·E·克劳斯 ,  艾立克·D·赫尔曼森 ,  约瑟·C·欧尔森

IPC: H01J37/16 ,  H01J37/317 ,  H01L21/265

CPC classification number: H01J37/16 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/026 ,  H01J2237/038

Abstract: 离子注入机(100)包括经组态以提供离子束(152)的离子源(102)、界定空腔(110)的终端结构(104)，所述离子源至少部分地安置于空腔内，以及包括绝缘系统(162，171)。所述绝缘系统经组态以电绝缘终端结构且经组态以在接近终端结构的至少一个外表面的区域中提供大于约72千伏/时的有效介电强度(dielectric strength)。本发明亦提供用来电绝缘离子注入机的气体盒(106)的气体盒绝缘系统。

公开(公告)号：CN101346803A

公开(公告)日：2009-01-14

申请号：CN200680049162.8

申请日：2006-12-06

Applicant: 瓦里安半导体设备公司

Inventor： 拉塞尔·J·罗 ,  乔纳森·G·英格兰 ,  史蒂夫·E·克劳斯 ,  艾立克·D·赫尔曼森

IPC: H01L21/302

CPC classification number: H01J37/3171 ,  H01J37/09 ,  H01J37/15 ,  H01J37/18 ,  H01J37/302 ,  H01J37/3023 ,  H01J2237/0455 ,  H01J2237/0458 ,  H01J2237/1503 ,  H01J2237/182 ,  H01J2237/188 ,  H01J2237/30488 ,  H01J2237/31705 ,  H01L21/266

Abstract: 本发明揭示用于减少光致抗蚀剂释气效应的技术。在一个特定示范性实施例中，所述技术可实行为一种用于在离子注入机中减少光致抗蚀剂释气效应的设备。所述设备可包括位于终端站与上游束线组件之间的漂移管。所述设备还可包括位于漂移管与终端站之间的第一可变孔径。所述设备可进一步包括位于漂移管与上游束线组件之间的第二可变孔径。可调节第一可变孔径和第二可变孔径以促进差动抽吸。