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公开(公告)号:CN203398105U
公开(公告)日:2014-01-15
申请号:CN201320163013.1
申请日:2013-03-26
Applicant: 瑞萨电子株式会社
IPC: H01L23/488 , H01L23/528
CPC classification number: H01L23/5226 , H01L21/02697 , H01L21/768 , H01L22/32 , H01L23/528 , H01L23/5283 , H01L23/5286 , H01L23/5384 , H01L23/562 , H01L24/05 , H01L24/06 , H01L2224/02166 , H01L2224/05553 , H01L2924/1306 , H01L2924/13091 , H01L2924/00
Abstract: 一种半导体器件,包括:衬底,包括其中形成电路元件的电路区域;在衬底上形成的并且由层叠的多个布线层和多个过孔层组成的多层布线层;以及在多层布线层上形成的电极焊盘。在作为多个布线层中的顶层的第一布线层的区域中形成层间绝缘膜,在该区域中,电极焊盘和第一电路区域在电极焊盘的平面视图中相互重叠。