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公开(公告)号：CN105814647B
公开(公告)日：2017-12-15
申请号：CN201580003087.0
申请日：2015-02-06
Applicant: 琳得科株式会社
IPC: H01L31/0224 , H01B5/14 , B32B9/00 , C23C14/08 , H01B13/00
CPC classification number: C23C14/35 , C23C14/086 , H01L51/5203
Abstract: 本发明提供一种具有优异湿热特性的透明导电性层合体、透明导电性层合体的制造方法以及使用该透明导电性层合体而成的电子装置。其特征在于，是在基材的至少一面上具备通过溅射法而形成的氧化锌膜的透明导电性层合体等，氧化锌膜为包含氧化锌，同时掺杂镓及铟而成的氧化锌膜，该氧化锌膜包含关于通过膜厚方向的XPS分析所测定的锌量、镓量、氧量及铟量，具有不均匀浓度分布的多个区域，即，包含[In]/[Ga]的值不同的第一区域及第二区域。
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公开(公告)号：CN105830172B
公开(公告)日：2017-10-13
申请号：CN201580003128.6
申请日：2015-02-06
Applicant: 琳得科株式会社
CPC classification number: C23C14/35 , B32B27/08 , B32B27/20 , B32B27/281 , B32B27/286 , B32B27/325 , B32B27/36 , B32B27/365 , B32B2264/102 , B32B2307/412 , B32B2307/7242 , B32B2457/00 , B32B2457/12 , B32B2457/202 , C23C14/086 , H01L51/0096 , H01L51/5215 , H01L2251/305
Abstract: 本发明提供一种具有优异湿热特性的透明导电薄膜、透明导电薄膜的制造方法以及使用这样的透明导电薄膜而成的电子装置。其特征在于，是在树脂基材的至少一面上具备气体阻隔层以及通过溅射法而形成的氧化锌膜的透明导电薄膜等，氧化锌膜是包含氧化锌，同时掺杂镓及铟而成的氧化锌膜，并且，相对于通过XPS的元素分析测定的锌量、镓量、氧量及铟量的总量(100atom％)，将铟量定为0.01～25atom％范围内的值，并将镓量定为0.1～10atom％范围内的值，在将初始比电阻设为ρ0，将在60℃、相对湿度95％的条件下保管500小时后的比电阻设为ρ500时，将ρ500/ρ0所表示的比率定为1.5以下的值，进一步地，将氧化锌膜的膜厚定为20～300nm范围内的值。
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公开(公告)号：CN107079541A
公开(公告)日：2017-08-18
申请号：CN201480083378.0
申请日：2014-11-14
Applicant: 琳得科株式会社
Abstract: 本发明是：密封片材，其是至少具有在一侧的表面具有显微结构的基材树脂层和密封树脂层的密封片材，其特征在于，前述密封树脂层配置于前述基材树脂层的具有显微结构的面一侧，前述显微结构是，最大高低差(H)为1~50μm的凸部在前述基材树脂层的表面上进行二维排列而成；由该密封片材构成的电子器件用部件；和具备该电子器件用部件的电子器件。依据本发明，提供水蒸汽阻挡性优异的密封片材、电子器件用部件以及电子器件。
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公开(公告)号：CN105814647A
公开(公告)日：2016-07-27
申请号：CN201580003087.0
申请日：2015-02-06
Applicant: 琳得科株式会社
CPC classification number: C23C14/35 , C23C14/086 , H01L51/5203
Abstract: 本发明提供一种具有优异湿热特性的透明导电性层合体、透明导电性层合体的制造方法以及使用该透明导电性层合体而成的电子装置。其特征在于，是在基材的至少一面上具备通过溅射法而形成的氧化锌膜的透明导电性层合体等，氧化锌膜为包含氧化锌，同时掺杂镓及铟而成的氧化锌膜，该氧化锌膜包含关于通过膜厚方向的XPS分析所测定的锌量、镓量、氧量及铟量，具有不均匀浓度分布的多个区域，即，包含[In]/[Ga]的值不同的第一区域及第二区域。
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