公开(公告)号：CN118362205A

公开(公告)日：2024-07-19

申请号：CN202410479970.8

申请日：2024-04-22

Applicant: 燕山大学

Inventor： 刘英杰 ,  武瑞 ,  陈义杰 ,  马雨潇

IPC: G01J3/28 ,  G01J3/02

Abstract: 本发明提供了一种基于级联超构透镜的宽带微型片上光谱仪，属于光电子器件与集成技术领域，包括构建在绝缘衬底上的硅平台，所述硅平台由下至上包括为基底层、掩埋层和波导层，所述波导层包括M个输入波导，N个超构透镜，M个输出波导，所述N个超构透镜沿透镜轴线方向等间隔分布，每个超构透镜都由亚波长数字型纳米孔结构组成，第1个超构透镜是准直透镜，第N个超构透镜是聚焦透镜，第2至N‑1个超构透镜是半透半反透镜。本发明的技术方案通过引入具有不同功能的超构透镜组合，可以有效增加光路长度，增强不同波长的空间特征谱的差异性，提高光谱分辨率，本发明所提供的光谱仪具有尺寸小、分辨高、带宽高、损耗小等优点。

公开(公告)号：CN116609877A

公开(公告)日：2023-08-18

申请号：CN202310621648.X

申请日：2023-05-30

Applicant: 燕山大学

Inventor： 刘英杰 ,  丁凤瑶 ,  李枫

IPC: G02B6/12 ,  G02B6/122 ,  G02B6/293 ,  G02B27/00

Abstract: 本发明提供了一种基于双层刻蚀曲线优化的超带宽多模弯曲波导，属于光子器件与集成技术领域，构建在绝缘体上的硅平台SOI上，由上至下包括包层，波导层和基底层，所述波导层设置为经浅刻蚀工艺形成的窄波导层和经深刻蚀工艺形成的宽波导层，窄波导层和宽波导层为宽度不同的曲线层，窄波导层和宽波导层形成四条内径和外径轮廓曲线，四条内径和外径轮廓曲线离散为多个弧线，通过窄波导层形成的内径轮廓曲线包括自由曲线C和自由曲线D，通过宽波导层形成的外径轮廓曲线包括自由曲线A和自由曲线B。本发明提出的多模弯曲波导具有器件尺寸小、工作带宽高、可制备性好、工艺容差大等优点，可应用于片上多波段和密集集成的模分复用系统。