公开(公告)号：CN115655393A

公开(公告)日：2023-01-31

申请号：CN202211397376.1

申请日：2022-11-09

Applicant: 湖南大学

Inventor： 周剑 ,  蔡建兵 ,  段辉高

IPC: G01F1/56 ,  G01F15/00 ,  G01F15/14 ,  B81B7/02

Abstract: 本申请公开了一种MEMS气流传感器，两层背板相对间隔将壳体的收容空间分隔形成第一腔室、第二腔室及第三腔室，所述第二腔室与所述壳体的两端开口连通，配合形成气流通道；所述背板的中间位置贯穿设置有通孔，所述振膜完全覆盖所述背板上的通孔，使所述第一腔室和所述第三腔室形成密闭腔室，所述第一腔室和所述第三腔室内填充有一个标准大气压的空气，两个所述振膜相对间隔形成电容，压电晶体阵列设置于所述背板上，所述背板变形产生应力变化，所述压电晶体阵列对应产生电压输出。本申请将振膜与压电晶体阵列配合，分别对于对小气流和大气流的检测，无需增大振膜的厚度或使用杨氏模量更大的材料，保证了小气流检测的灵敏度不受影响。

公开(公告)号：CN118624066A

公开(公告)日：2024-09-10

申请号：CN202410855382.X

申请日：2024-06-28

Applicant: 湖南大学

Inventor： 周剑 ,  蔡建兵 ,  刘侃 ,  段辉高

IPC: G01L1/14 ,  G01L9/12 ,  G06F30/20

Abstract: 本申请提供一种非均匀绝缘层双向接触式压力传感器及其设计方法，属于压力传感器技术领域。本申请将绝缘层的厚度设置为依照径向距离进行变化的值，相比于传统技术中固定厚度的绝缘层，可以提高线性度。

公开(公告)号：CN115655393B

公开(公告)日：2023-05-16

申请号：CN202211397376.1

申请日：2022-11-09

Applicant: 湖南大学

Inventor： 周剑 ,  蔡建兵 ,  段辉高

IPC: G01F1/56 ,  G01F15/00 ,  G01F15/14 ,  B81B7/02

Abstract: 本申请公开了一种MEMS气流传感器，两层背板相对间隔将壳体的收容空间分隔形成第一腔室、第二腔室及第三腔室，所述第二腔室与所述壳体的两端开口连通，配合形成气流通道；所述背板的中间位置贯穿设置有通孔，所述振膜完全覆盖所述背板上的通孔，使所述第一腔室和所述第三腔室形成密闭腔室，所述第一腔室和所述第三腔室内填充有一个标准大气压的空气，两个所述振膜相对间隔形成电容，压电晶体阵列设置于所述背板上，所述背板变形产生应力变化，所述压电晶体阵列对应产生电压输出。本申请将振膜与压电晶体阵列配合，分别对于对小气流和大气流的检测，无需增大振膜的厚度或使用杨氏模量更大的材料，保证了小气流检测的灵敏度不受影响。

公开(公告)号：CN116045922A

公开(公告)日：2023-05-02

申请号：CN202310251264.3

申请日：2023-03-16

Applicant: 湖南大学

Inventor： 周剑 ,  蔡建兵 ,  段辉高

IPC: G01C13/00 ,  G01F23/263

Abstract: 本申请公开了一种用于深海测量的深度计，在盆架上设置第一开口和第二开口，第一开口上覆盖有第一敏感振膜，第二开口上覆盖有第二敏感振膜，所述第一敏感振膜驱动两个所述第一电容系统中的梳齿电极相向运动，使所述电容器的电容增加，所述电容器的电容在所述第一敏感振膜的驱动下达到最大值时，所述第二敏感振膜驱动所述梳齿插入所述电容器内，增加所述电容器的电容，可以提高深度计的测量范围。