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公开(公告)号：CN104947088B
公开(公告)日：2017-11-14
申请号：CN201510334029.8
申请日：2015-06-16
Applicant: 清华大学
IPC: C23C16/52
Abstract: 一种调节温度场和/或等离子场的阻抗可控模块，所述阻抗可控模块被设置于化学气相沉积设备基台与衬底之间，所述阻抗可控模块平面区域内不同位置处具有不同的导热特性以改变化学气相沉积设备工艺腔室内的温度场分布，和/或所述阻抗可控模块平面区域内不同位置处具有不同的介电常数，以改变化学气相沉积设备工艺腔室内的等离子场分布。利用本发明的调节温度场和/或等离子场的阻抗可控模块，能够实现温度场和/或等离子场空间分布的灵活、精细化调控，低成本而高效，为实现大面积精细调控温度场和/或等离子场的空间分布技术提供了一种有效的解决方案。
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公开(公告)号：CN103757608A
公开(公告)日：2014-04-30
申请号：CN201410030834.7
申请日：2014-01-22
Applicant: 清华大学
IPC: C23C16/52
Abstract: 本发明属于化学气相沉积工艺腔室物理场耦合技术领域，特别涉及一种用于调节温度和功率空间分布的梯度阻抗模块。该阻抗模块设置在化学气相沉积设备的基台和衬底之间，阻抗模块由阻抗模块绝缘隔热层分隔为若干个阻抗介质区；阻抗模块一侧为平面，另一侧为空间曲面，通过改变阻抗模块空间曲面一侧的外形，或者各个阻抗介质区采用不同的填充介质，使得阻抗模块的阻抗在法平面内具有一定的分布梯度，进而实现透过该模块的能量在法平面内具有一定分布梯度。本发明无需改变原有设备结构，只需增加一个阻抗模块，且针对不同的调控需求，仅需更换不同的阻抗模块，该方案运用模块化思想，廉价、高效，为实现多物理场空间分布的调控提供了一种有效的解决方案。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103712407A
公开(公告)日：2014-04-09
申请号：CN201310671857.1
申请日：2013-12-11
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明涉及一种可应用于已开封红酒保鲜的冰箱，通过冷藏和抽出红酒瓶内空气对已开封红酒进行保鲜，同时具备自动倒酒功能；红酒保鲜冰箱包括冰箱腔室，红酒保鲜室、气压调节系统、送风系统、制冷系统、控制系统；气压调节系统可对红酒保鲜室内的红酒进行抽真空和倒酒等操作，送风系统将冰箱内制冷系统产生的冷气提供给冰箱箱体和红酒保鲜室，控制系统可对气压调节系统、送风系统和制冷系统进行控制。本红酒保鲜装置利用冰箱自身的制冷系统为红酒提供保鲜需要的适宜温度，无需再设计温控系统，与市场上独立设计温控装置的红酒保鲜产品相比，降低了生产成本，提高了设备利用率，本方案可实现对一瓶或多瓶已开封红酒进行保鲜。
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公开(公告)号：CN103662415B
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201310603611.0
申请日：2013-11-25
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明属于葡萄酒的保鲜及取用技术领域，特别涉及一种葡萄酒储存保鲜方法及装置。所述装置由储酒模块、变容模块、隔热模块和温控模块构成；其中所述储酒模块能够通过变容模块变容，所述隔热模块包裹在储酒模块和变容模块外侧，并与其相连；所述隔热模块的一侧面下部设置缺口，所述储酒模块通过所述缺口与温控模块相连。本发明方法通过将已开封的葡萄酒存入隔绝空气的储存装置中，使酒液与空气完全隔离，减缓了葡萄酒的变质过程，同时通过调节葡萄酒储存温度，达到较好的保鲜效果。
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公开(公告)号：CN103789748B
公开(公告)日：2016-04-06
申请号：CN201410031238.0
申请日：2014-01-22
Applicant: 清华大学
IPC: C23C16/455
Abstract: 本发明涉及一种化学气相沉积设备领域，特别涉及一种面向工艺腔室气流分布调节的CVD设备喷淋头。该喷淋头上设置若干个台阶形的喷淋孔，喷淋孔由上部直径较大的圆孔和下部直径较小的圆孔构成；通过使台阶深度、大孔孔径、小孔孔径中的一个或多个参数从喷淋头板面中心到边缘逐渐增大，进而实现喷淋头板面阻抗从中心到边缘逐渐减小，预期气流通量逐渐增大，实现了喷淋头板面阻抗分布的调整，进而实现了对工艺腔室内气流分布的调节。本发明的设计方案廉价、高效，仅通过对喷淋头小孔配置进行连续性设计，即实现了对工艺腔室内气流分布的精细化调节，进而实现了对工艺品质分布精细化调节。
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公开(公告)号：CN104947088A
公开(公告)日：2015-09-30
申请号：CN201510334029.8
申请日：2015-06-16
Applicant: 清华大学
IPC: C23C16/52
Abstract: 一种调节温度场和/或等离子场的阻抗可控模块，所述阻抗可控模块被设置于化学气相沉积设备基台与衬底之间，所述阻抗可控模块平面区域内不同位置处具有不同的导热特性以改变化学气相沉积设备工艺腔室内的温度场分布，和/或所述阻抗可控模块平面区域内不同位置处具有不同的介电常数，以改变化学气相沉积设备工艺腔室内的等离子场分布。利用本发明的调节温度场和/或等离子场的阻抗可控模块，能够实现温度场和/或等离子场空间分布的灵活、精细化调控，低成本而高效，为实现大面积精细调控温度场和/或等离子场的空间分布技术提供了一种有效的解决方案。
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公开(公告)号：CN103662415A
公开(公告)日：2014-03-26
申请号：CN201310603611.0
申请日：2013-11-25
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明属于葡萄酒的保鲜及取用技术领域，特别涉及一种葡萄酒储存保鲜方法及装置。所述装置由储酒模块、变容模块、隔热模块和温控模块构成；其中所述储酒模块能够通过变容模块变容，所述隔热模块包裹在储酒模块和变容模块外侧，并与其相连；所述隔热模块的一侧面下部设置缺口，所述储酒模块通过所述缺口与温控模块相连。本发明方法通过将已开封的葡萄酒存入隔绝空气的储存装置中，使酒液与空气完全隔离，减缓了葡萄酒的变质过程，同时通过调节葡萄酒储存温度，达到较好的保鲜效果。
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