观察装置
    12.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101946202B

    公开(公告)日:2012-07-25

    申请号:CN200980105377.0

    申请日:2009-01-13

    发明人: 黄洪欣 井上卓

    摘要: 观察装置(1)具备光源部(10)、二轴扫描系统(20)、波阵面调制部(30)、光分支部(40)、光检测部(50)、波阵面检测部(60)以及控制部(70)等。波阵面调制部(30)呈现补偿输入光的像差的补偿用相位图形,并且呈现将输入光分支成第一及第二光的分支用相位图形。波阵面检测部(60)接收所输入的光,检测该光的波阵面。在包括由波阵面检测部(60)对光的波阵面变形的检测、基于该检测结果由控制部(70)对相位图形的调整、由波阵面调制部(30)对相位图形的呈现在内的循环处理中,用于进行波阵面像差补偿的补偿用相位图形被反馈控制。