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公开(公告)号：CN118258530A
公开(公告)日：2024-06-28
申请号：CN202211693507.0
申请日：2022-12-28
Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院 , 清华大学
Abstract: 本发明提供了一种柔性硅基压力传感器及其制造方法，其能够具有超薄结构，便于实现窄间隙接触力的监测。该柔性硅基压力传感器包括：压力传感芯片，该压力传感芯片包括减薄硅片和惠斯通电桥，该惠斯通电桥设置于该减薄硅片的上表面，该减薄硅片是通过研磨硅片基材的背面制成的；基底层，该基底层粘接于该减薄硅片的下表面；电路层，该电路层包括柔性膜和设置于该柔性膜的电路主体，该柔性膜的厚度大于该压力传感芯片的厚度，其中该压力传感芯片嵌入该柔性膜，并且该电路主体电连接于该惠斯通电桥；以及封装层，该封装层被设置于该电路层的上表面以覆盖该电路主体；其中该柔性硅基压力传感器的整体厚度小于等于五十微米。
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公开(公告)号：CN114544046B
公开(公告)日：2023-12-19
申请号：CN202111581041.0
申请日：2021-12-22
Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院 , 清华大学
IPC: G01L1/18
Abstract: 本申请涉及一种压力传感器，包括硅片和柔性薄膜，硅片的一侧设置至少一力敏电阻，柔性薄膜包覆硅片，柔性薄膜的厚度大于或等于硅片的厚度。本申请还涉及一种压力传感器的制备方法，提供硅片，硅片的一侧设置至少一力敏电阻；形成包覆硅片的柔性薄膜，得到压力传感器。本申请将硅片制成的力敏元件包埋于柔性薄膜中，可以提高器件的柔性，减少器件本身对监测环境的压力干扰，可实现对接触界面压力的精准监测。
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公开(公告)号：CN111060238A
公开(公告)日：2020-04-24
申请号：CN201911368814.X
申请日：2019-12-26
Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院 , 清华大学
IPC: G01L1/22
Abstract: 本发明涉及一种电阻式柔性压力传感器及其制备方法，所述制备方法包括：提供第一柔性衬底，采用激光刻蚀所述第一柔性衬底的一表面，形成至少两种高度的微结构；在所述第一柔性衬底带有所述微结构的表面形成导电层，得到第一柔性基板；提供第二柔性基板，其中，所述第二柔性基板包括第二柔性衬底以及设于所述第二柔性衬底一表面上的电极；以及将所述第二柔性基板层叠设置于所述第一柔性基板上，且使所述电极与部分所述导电层相接触，得到电阻式柔性压力传感器。所述制备方法工艺简单、易控制，适合工业化大规模生产，且获得的传感器能够在提高灵敏度的同时提高检测范围和可靠性。
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公开(公告)号：CN111044207A
公开(公告)日：2020-04-21
申请号：CN201911398344.1
申请日：2019-12-30
Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院 , 清华大学
Abstract: 本发明涉及一种压力传感器，包括介质层和设于介质层相对两侧的第一电极层和第二电极层，其中，介质层包括基体层和分布于基体层中的复合压电颗粒，复合压电颗粒包括无机压电颗粒以及包覆于无机压电颗粒表面的多巴胺层。本发明的柔性压力传感器的灵敏度高，可靠性好。本发明还提供压力传感器的制备方法。
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公开(公告)号：CN110440957A
公开(公告)日：2019-11-12
申请号：CN201910648852.4
申请日：2019-07-18
Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院 , 清华大学
Abstract: 本申请涉及一种柔性电介质体，所述柔性电介质体的一侧表面具有微结构图案，所述柔性电介质体的内部具有微孔结构。将所述柔性电介质体作为柔性压力传感器的介电层使用时，在受力过程中，柔性电介质体表面的微结构图案先发生变形，提高柔性压力传感器的灵敏度，随着压力增大，柔性电介质体内部的微孔结构发生变形，增大柔性压力传感器的压力测试范围。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109738501A
公开(公告)日：2019-05-10
申请号：CN201811627419.4
申请日：2018-12-28
Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院
IPC: G01N27/327 , A61B5/1468 , A61B5/145 , A61B5/00
Abstract: 本发明涉及一种血糖传感器的电极元件及其制备方法、血糖传感器。所述电极元件包括工作电极，所述工作电极包括石墨烯复合层，所述石墨烯复合层包括3D石墨烯以及负载于所述3D石墨烯中的纳米材料，所述纳米材料中含有金属元素。其制备方法包括以下步骤：提供柔性衬底和纳米材料，其中所述纳米材料含有金属元素；在所述柔性衬底上形成3D石墨烯预制电极；再将纳米材料负载于所述3D石墨烯预制电极中，形成工作电极，得到电极元件。本发明的电极元件对血糖的检测灵敏度高、检测范围宽、响应速度快，且电极元件可承受一定程度的变形，稳定性好，适用于可穿戴式血糖传感器。
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公开(公告)号：CN109730696A
公开(公告)日：2019-05-10
申请号：CN201811627418.X
申请日：2018-12-28
Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院
IPC: A61B5/1473
Abstract: 本发明涉及一种组织液检测装置，所述组织液检测装置包括主体、微针、压迫部以及电化学传感器，所述主体内部形成空腔，所述微针位于所述主体表面且具有供组织液流通的孔道，所述孔道自所述微针尖端向所述主体延伸并与所述空腔连通，所述压迫部与所述空腔相连并能够压迫排出所述空腔内的空气使所述空腔内形成负压环境，所述电化学传感器设置于所述空腔内，并能够与流经所述微针的组织液接触，以检测所述组织液的葡萄糖浓度。本发明的组织液检测装置可实现对血糖的连续检测，精准度高、可靠性好，且对人体的创伤很小，能够快速实现临床应用。
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公开(公告)号：CN109730695A
公开(公告)日：2019-05-10
申请号：CN201811624488.X
申请日：2018-12-28
Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院
IPC: A61B5/1473
Abstract: 本发明涉及一种组织液检测装置，所述组织液检测装置包括基底和电化学传感器，基底的一侧设置有用于刺入体内提取组织液的微针，微针设置有供组织液流通的孔道，孔道自微针尖端向基底延伸并贯穿基底；电化学传感器设置于基底背离微针的一侧，并能够与流经微针的组织液接触，以对所述组织液进行检测。使用时，将组织液检测装置贴在皮肤上，微针即刺入皮下，在毛细管作用下，组织液进入微针的孔道，顺着孔道输送并与电化学传感器接触，通过电化学传感器检测出组织液中的生理信息。从而使组织液的提取与生理信息的检测一体化，方法简单，可实现人体生理信息的实时检测与连续检测，精准度高、可靠性好，且对人体的创伤很小，能够快速实现临床应用。
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公开(公告)号：CN112254747B
公开(公告)日：2024-11-15
申请号：CN202011044691.7
申请日：2020-09-28
Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院 , 清华大学
Abstract: 本申请涉及一种柔性传感器及其制备方法，柔性传感器包括第一柔性基板与第二柔性基板，第一柔性基板与第二柔性基板具有导电性，第一柔性基板的一侧表面具有第一微结构阵列，第二柔性基板的一侧表面具有第二微结构阵列，第一微结构阵列的微结构间隙及第二微结构阵列的微结构间隙均设有介电层，第一微结构阵列与第二微结构阵列相向设置且微结构之间相互错位，以在微结构阵列之间形成微结构与微结构间隙配合的结构。外部压力导致微结构形变时，介电层处的电容信号发生变化以进行触觉反馈；外部剪切力使两个柔性基板的微结构之间的接触面积发生变化时，电阻信号变化以进行滑觉反馈，从而可以同时检测滑触觉，结构简单且更加精准。
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公开(公告)号：CN111060234B
公开(公告)日：2023-11-28
申请号：CN201911404077.4
申请日：2019-12-30
Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院 , 清华大学
Abstract: 本发明涉及一种功能浆料，所述功能浆料碳纳米材料、金属纳米颗粒、碳酸盐颗粒和基体材料，所述碳纳米材料的表面以及所述金属纳米颗粒的表面均连接有有机基团。本发明还涉及基于该功能浆料的应用，包括基于该功能浆料制成的功能层、功能薄膜及制备方法，以及基于该功能薄膜的柔性压力传感器及制备方法。本发明的功能浆料具有优异的介电性能，柔性压力传感器具有优异的柔性、灵敏度、生物相容性以及较高的电输出性能。
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