一种用于正压晶体生长炉的操作及观察窗口

    公开(公告)号:CN102925962B

    公开(公告)日:2015-05-20

    申请号:CN201210438699.0

    申请日:2012-11-06

    IPC分类号: C30B13/00

    摘要: 本发明涉及非金属晶体制造设备中的一个部分,旨在提供一种用于正压晶体生长炉的操作及观察窗口。该操作及观察窗口包括观察窗口组件、炉室法兰、压板和操作窗口座,炉室法兰固定在炉体上,观察窗口组件包括观察窗口座、窗口玻璃和垫片;观察窗口组件之间以及窗口玻璃与压板之间设有垫片;在操作窗口座内设有循环水道,外表面上设有操作窗口进水口和操作窗口出水口;压板上设有观察窗口进水口和观察窗口出水口。本发明操作空间大,观察视野开阔,方便设备的维护和生产,同时,将操作窗口和观察窗口集成在一起,布局紧凑、合理,强度高,密封性好,安全性高,为安全生产提供保证。

    一种用于区熔单晶炉高频电源的闭式冷却水循环系统

    公开(公告)号:CN102912420A

    公开(公告)日:2013-02-06

    申请号:CN201210409910.6

    申请日:2012-10-24

    IPC分类号: C30B13/20 H05B6/42

    摘要: 本发明涉及冷却水循环系统,旨在提供一种用于区熔单晶炉高频电源的闭式冷却水循环系统。该闭式冷却水循环系统包括水箱、机架、换热器、循环水泵;所述水箱安装于机架上,水箱上有设有一个进水口与循环冷却水回水管连接、一个出水口与循环水泵连接;所述换热器上设有一个被冷却介质出口与循环冷却水进水管连接、一个被冷却介质进口与循环水泵连接、一个冷却介质出口与外部冷却水回水管连接、一个冷却介质进口与外部冷却水进水管连接;所述换热器为板式换热器。本发明通过控制外部冷却水的流量,可实现循环冷却水温度根据拉晶工艺自动调节,且具有使用方便、结构简单、体积小、能耗低、成本低的优点。

    一种区熔炉籽晶导向装置
    13.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102877119A

    公开(公告)日:2013-01-16

    申请号:CN201210349314.3

    申请日:2012-09-19

    IPC分类号: C30B13/34

    摘要: 本发明涉及非金属的制造设备,旨在提供一种区熔炉籽晶导向装置。该装置包括内部中空的外轴和内轴,所述区熔炉籽晶导向装置还包括籽晶定位杆和籽晶导向杆;籽晶导向杆置于外轴上端内孔中,且固定在内轴上端,籽晶导向杆的上端和下端均设有同轴心的开孔,上端开孔处安装有籽晶定位杆,下端开孔处安装有内轴;所述籽晶定位杆上端固定籽晶夹持机构。本发明提供了一种结构简单、稳定可靠的用于区熔单晶炉的籽晶导向装置,其刚度和强度较好,且能够在整个拉晶过程保证籽晶和外轴很好的同轴度,使得籽晶和单晶升降和旋转运动平稳,能为大直径区熔炉单晶的稳定生长提供保障。

    保温结构的异常监测方法
    14.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117512778A

    公开(公告)日:2024-02-06

    申请号:CN202410003423.2

    申请日:2024-01-02

    IPC分类号: C30B29/20 C30B11/00 G05D23/20

    摘要: 本发明涉及一种保温结构的异常监测方法,该保温结构的异常监测方法,保温结构包括气体循环装置、内保温体和套设于内保温体的外保温体,内保温体具有容纳坩埚和加热装置的保温腔;内保温体与外保温体之间设有空腔,气体循环装置连通空腔;内保温体和外保温体中的至少一者由碳毡制成,包括如下步骤:a.使保温结构内的温度维持在T并设定气体循环装置的功率为P1,实时检测空腔内的气压p;b.判断p是否在范围p1至p2内,其中,范围p1至p2为:在保温结构内的温度为T且气体循环装置的功率为P1的状态下,气压检测位置处的正常气压波动范围;c.若p<p1或p>p2,则判定保温结构异常。该方法能够监测保温结构是否存在异常。

    蓝宝石晶体生长炉的温度调控方法

    公开(公告)号:CN117488402A

    公开(公告)日:2024-02-02

    申请号:CN202410003359.8

    申请日:2024-01-02

    IPC分类号: C30B29/20 C30B35/00 G05D23/20

    摘要: 本发明涉及一种蓝宝石晶体生长炉的温度调控方法,该方法应用于晶体生长炉,晶体生长炉包括坩埚、加热装置和保温结构,保温结构包括进气装置、抽气装置、内保温体和套设于内保温体的外保温体,内保温体与外保温体之间设有空腔,进气装置和抽气装置均与空腔连通,包括步骤:a.启动加热装置,并设定加热功率为P1,用温度传感器实时检测保温结构内的温度t;b.当t升高至T1时,使空腔内的气体处于第二流速,其中,2040℃≤T1≤2060℃;c.当t升高至T2时,将加热装置的加热功率降低至P2,直至t继续升高至T‑ΔT≤t≤T,其中,2080℃≤T2≤2090℃,T为目标温度2100℃,ΔT=5℃。该方法有利于防止加热装置产生的滞后的余热导致目标位置处的温度超过允许偏差。

    一种生产蓝宝石单晶的煮料工艺

    公开(公告)号:CN116411338A

    公开(公告)日:2023-07-11

    申请号:CN202310684672.8

    申请日:2023-06-12

    IPC分类号: C30B17/00 C30B29/20

    摘要: 本发明提供了一种生产蓝宝石单晶的煮料工艺,属于蓝宝石单晶煮料技术领域,首先向设备中充入惰性气体,加热器工作,加热器功率升高至P1以融化原料,坩埚轴的水流量V1,在坩埚内原料出现融化塌料后,加热器的功率升高到P2,坩埚轴的水流量升高到V2,在坩埚内原料完全融化后进行排杂处理,加热器功率维持在P3,坩埚轴的水流量维持在V3,在排杂处理之后,降低加热器功率并维持在P4以稳定设备内温度,且坩埚轴的水流量提高至V4,并且一段时间后,坩埚轴的水流量降低至V5,其中,P1≤P2<P3,且P3>P4;V1≤V2≤V3<V4,且V4>V5,V5≤V2。通过充气和加大水流量操作,以此加强加快排杂作业。

    晶体生产设备
    17.
    发明公开
    晶体生产设备 审中-实审

    公开(公告)号:CN115976636A

    公开(公告)日:2023-04-18

    申请号:CN202211519116.7

    申请日:2022-11-30

    IPC分类号: C30B15/30 C30B17/00

    摘要: 本发明提供一种晶体生产设备,晶体生产设备包括可拆分的炉盖及炉体,还包括能够升降的提拉装置、限定提拉装置的升降方向的提拉导向单元、可动连接于提拉导向单元的同步移运单元;提拉装置包括提晶单元及提盖单元,提晶单元与提盖单元安装至同步移运单元,分别用以连接籽晶与炉盖;同步移运单元被配置为能够沿提拉导向单元升降,用以同步带动提晶单元与提盖单元相对炉体升降。

    晶体生长炉的异常监测方法

    公开(公告)号:CN115584551B

    公开(公告)日:2023-04-11

    申请号:CN202211545562.5

    申请日:2022-12-05

    IPC分类号: C30B11/00

    摘要: 本发明涉及一种晶体生长炉的异常监测方法,应用于晶体生长炉,晶体生长炉包括生长炉本体、坩埚及位于坩埚内的粉料,生长炉本体包括加热器,晶体生长炉的异常监测方法包括:测量坩埚的初始温度T1,并将坩埚放入生长炉本体内;晶体生长炉预热坩埚;停止晶体生长炉预热坩埚,测量坩埚的预热温度T2;判断温差X是否在正常温差波动范围X1至X2内,其中,X=T2‑T1;当X1≤X≤X2时,判定晶体生长炉正常;当X X2时,判定晶体生长炉异常。这样,就能够在长晶前监测到晶体生长炉是否存在异常,而不需要等长晶结束后通过晶体的质量再来判断晶体生长炉是否异常,避免影响晶体的生长质量,降低生产成本。

    保温结构及晶体生长炉
    19.
    发明授权

    公开(公告)号:CN115491758B

    公开(公告)日:2023-03-21

    申请号:CN202211459187.2

    申请日:2022-11-18

    IPC分类号: C30B17/00 C30B29/20

    摘要: 本发明涉及一种保温结构及晶体生长炉,晶体生长炉包括坩埚及籽晶轴,籽晶轴能够相对于坩埚沿水平预设方向移动。保温结构包括保温桶及第一保温组件,保温桶具有用于容纳坩埚的保温腔,保温桶的顶壁开设有用于穿设籽晶轴的第一开口;第一保温组件可活动地盖合于第一开口,第一保温组件设有用于穿设籽晶轴的第一通孔,第一保温组件能够在籽晶轴水平移动的过程中始终将第一开口密封,以使得保温腔密封。籽晶轴相对于坩埚沿水平预设方向移动时,籽晶轴能够带动第一保温组件与籽晶轴同步活动,在第一保温组件相对于保温桶活动的过程中,第一保温组件能够始终将第一开口密封,减少籽晶轴的移动对保温桶及炉室内的热场的影响。

    晶体生长炉及籽晶更换方法

    公开(公告)号:CN115491757A

    公开(公告)日:2022-12-20

    申请号:CN202211442721.9

    申请日:2022-11-18

    摘要: 本发明涉及一种晶体生长炉及籽晶更换方法,晶体生长炉包括炉室、籽晶承载件、位置操纵机构和更换辅助件。籽晶承载件位于炉室,包括中空杆和与中空杆连接且连通的籽晶夹头,中空杆用于容置沿着其长度方向依次层叠设置的多个籽晶,籽晶夹头用于夹持籽晶;位置操纵机构活动设置于机构操纵区内;更换辅助件位于机构操纵区内。本发明的优点在于:沿着中空杆的长度方向,中空杆内可以依次层叠设置多个籽晶,籽晶夹头也能夹持一个籽晶,从而通过结构较为简单的籽晶承载件来实现在晶体生长炉的炉室内放置多个籽晶。而且,在籽晶承载件所能携带的籽晶的数量范围内,籽晶数量的增加不会导致籽晶承载件的结构更复杂。