发明授权
- 专利标题: 保温结构及晶体生长炉
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申请号: CN202211459187.2申请日: 2022-11-18
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公开(公告)号: CN115491758B公开(公告)日: 2023-03-21
- 发明人: 朱亮 , 傅林坚 , 张俊 , 叶钢飞 , 欧阳鹏根 , 曹建伟 , 阮文星
- 申请人: 浙江晶盛机电股份有限公司
- 申请人地址: 浙江省绍兴市上虞区通江西路218号
- 专利权人: 浙江晶盛机电股份有限公司
- 当前专利权人: 浙江晶盛机电股份有限公司
- 当前专利权人地址: 浙江省绍兴市上虞区通江西路218号
- 代理机构: 杭州华进联浙知识产权代理有限公司
- 代理商 蒋豹
- 主分类号: C30B17/00
- IPC分类号: C30B17/00 ; C30B29/20
摘要:
本发明涉及一种保温结构及晶体生长炉,晶体生长炉包括坩埚及籽晶轴,籽晶轴能够相对于坩埚沿水平预设方向移动。保温结构包括保温桶及第一保温组件,保温桶具有用于容纳坩埚的保温腔,保温桶的顶壁开设有用于穿设籽晶轴的第一开口;第一保温组件可活动地盖合于第一开口,第一保温组件设有用于穿设籽晶轴的第一通孔,第一保温组件能够在籽晶轴水平移动的过程中始终将第一开口密封,以使得保温腔密封。籽晶轴相对于坩埚沿水平预设方向移动时,籽晶轴能够带动第一保温组件与籽晶轴同步活动,在第一保温组件相对于保温桶活动的过程中,第一保温组件能够始终将第一开口密封,减少籽晶轴的移动对保温桶及炉室内的热场的影响。
公开/授权文献
- CN115491758A 保温结构及晶体生长炉 公开/授权日:2022-12-20
IPC分类: