保温结构及晶体生长炉
摘要:
本发明涉及一种保温结构及晶体生长炉,晶体生长炉包括坩埚及籽晶轴,籽晶轴能够相对于坩埚沿水平预设方向移动。保温结构包括保温桶及第一保温组件,保温桶具有用于容纳坩埚的保温腔,保温桶的顶壁开设有用于穿设籽晶轴的第一开口;第一保温组件可活动地盖合于第一开口,第一保温组件设有用于穿设籽晶轴的第一通孔,第一保温组件能够在籽晶轴水平移动的过程中始终将第一开口密封,以使得保温腔密封。籽晶轴相对于坩埚沿水平预设方向移动时,籽晶轴能够带动第一保温组件与籽晶轴同步活动,在第一保温组件相对于保温桶活动的过程中,第一保温组件能够始终将第一开口密封,减少籽晶轴的移动对保温桶及炉室内的热场的影响。
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