一种SC切型石英晶片在线研磨测频系统的在线单频率跟踪测频方法

    公开(公告)号:CN112162148A

    公开(公告)日:2021-01-01

    申请号:CN202010942414.1

    申请日:2020-09-09

    Abstract: 本发明公开了一种SC切型石英晶片在线研磨测频系统的在线单频率跟踪测频方法,单频率跟踪的扫频范围应覆盖将当前频率视为高频频率对应的低频频率扫频范围,以及将当前频率视为低频频率对应的高频谐振频率扫频范围;当前频率作为单频率跟踪的依据和SC晶片双谐振频率中另一个频率的判断依据;在单次扫频测频过程中,必须先保证测到当前频率,若当前频率未测到,则不作另外两个扫频范围的频率判断,若测到当前频率再进行前向频率波形和后向频率波形的判断;本发明提供了一种处理效率高、数据精度高,双模频率精准区分的一种SC切型石英晶片在线研磨测频系统的在线单频率跟踪测频方法。

    石英晶片研磨的高精度频率统计校准方法

    公开(公告)号:CN108663569B

    公开(公告)日:2020-07-17

    申请号:CN201810466469.2

    申请日:2018-05-16

    Abstract: 本发明公开了石英晶片研磨的高精度频率统计校准方法,包括研磨过程频率统计和机器校准;所述机器校准包括仪器校准、机台校准和用户校准;所述研磨过程频率统计用以保证频率统计的精确性,从而保证同一批料散差小,一致性高,所述机器校准用以保证仪器频率的准确性,从而使频率统计数据能真实反应研磨机的研磨能力;本发明提供了一种通过增加仪器校准来保障机器本身的无误,并通过机台校准和用户校准用于保证测频精度;实现了同一批料盘间散差小,且当达到目标频率时精准停机,保证了仪器间的一致性。

    基于波形匹配的石英晶片研磨控制方法

    公开(公告)号:CN108614153B

    公开(公告)日:2020-07-07

    申请号:CN201810502284.2

    申请日:2016-01-22

    Abstract: 本发明公开了基于波形匹配的石英晶片研磨控制方法,能在石英晶片研磨过程中稳定实时地测量从5M到70MHZ的频率;本系统可以显示晶片研磨生产过程中的各种状态并提出建议,在线测频过程中实时监控石英晶片研磨状态,若出现异常情况实时关停研磨机,防止超频事件的发生,用户可根据触摸屏上显示的这些状态有效提高生产效率;加入“跳频约束策略”彻底解决ALC系统“在某些频段发生测频值跳变”的问题;提供晶片研磨实时平均频率、研磨速率和散差等多样化统计参数,为更换研磨砂和维修研磨盘面提供科学依据,解决ALC系统“无法监控研磨机状态”的缺陷。

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