一种六氟化硫回收气体精馏提纯系统

    公开(公告)号:CN113877228B

    公开(公告)日:2023-04-18

    申请号:CN202111163866.0

    申请日:2021-09-30

    Abstract: 本发明涉及一种六氟化硫回收气体精馏提纯系统,包括精馏提纯单元和尾气处理单元,尾气处理单元用于将从精馏提纯单元中排出的尾气中的六氟化硫气体回收,包括六氟化硫循环回收气路和废气排出管路;六氟化硫循环回收气路上串设有膜分离器和六氟化硫回收罐,膜分离器具有供尾气进入的膜分离器进气口、供六氟化硫气体通过的膜分离器第一出口、供废气通过的膜分离器第二出口,六氟化硫回收罐具有与膜分离器进气口连接的回收罐第一出口和与气体入口连接的回收罐第二出口,以实现将回收的六氟化硫返回至气体入口并进行再次精馏提纯。本发明通过对从精馏提纯单元中排出的尾气进行循环处理,将回收的六氟化硫重新精馏提纯,进而提高六氟化硫回收利用率。

    一种压力测量装置
    19.
    实用新型

    公开(公告)号:CN216081888U

    公开(公告)日:2022-03-18

    申请号:CN202121771400.4

    申请日:2021-07-30

    Abstract: 本实用新型涉及一种压力测量装置,包括检测气路,其上连接有接头;检测气路上还顺次串接有压力表、电磁阀、真空测量装置,接头连接在检测气路的靠近压力表的一端,检测气路上还在电磁阀和接头之间连接有压力开关;所述电磁阀连接有供电回路,所述压力开关用于检测所述检测气路中的压力、并根据检测到的压力值大小来控制所述供电回路的通断,以此控制电磁阀的开闭;所述压力开关具有设定压力值,所述压力开关在检测气路中的压力值大于所述设定压力值时控制所述电磁阀关闭。本实用新型中的压力测量装置既能够检测处于真空状态的待检测装置,又能够检测充气状态的待检测装置,使用时直接将压力测量装置连接待检测装置即可进行检测。

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