公开(公告)号：CN108139643A

公开(公告)日：2018-06-08

申请号：CN201680059467.0

申请日：2016-10-11

Applicant: 株式会社LG化学

Inventor： 姜铢熙 ,  金忠完 ,  章盛皓 ,  李载训 ,  金京镇 ,  朴镇宇 ,  曹根植

IPC: G02F1/153 ,  G02F1/155 ,  G02F1/15

Abstract: 本申请涉及电致变色元件及其制造方法。根据本申请的一个实施方案的用于制造电致变色元件的方法包括以下步骤：在第一基底上形成第一电极，然后在所述第一电极上形成第一电致变色部分；在第二基底上形成第二电极，然后在所述第二电极上形成第二电致变色部分；以及在所述第一电致变色部分与所述第二电致变色部分之间形成电解质层，其中形成第一电致变色部分的步骤通过使用载气的电子束蒸镀进行。

公开(公告)号：CN111868892B

公开(公告)日：2024-05-07

申请号：CN201980019945.9

申请日：2019-06-18

Applicant: 株式会社LG化学

Inventor： 姜铢熙 ,  章盛晧 ,  曹根植 ,  金忠完

IPC: H01L21/3065 ,  G02B5/18 ,  H01J37/32 ,  G03F1/80 ,  H05H1/46

Abstract: 本申请涉及使用法拉第笼的等离子体蚀刻方法，其包括以下步骤：在具有设置在其上表面的网部的法拉第笼中设置用于蚀刻的基板材料；用遮板遮挡网部的至少一部分，然后对用于蚀刻的基板材料进行等离子体蚀刻；以及通过在使遮板沿着从法拉第箱的外部部分到其中心部分的方向移动的同时进行等离子体蚀刻来在用于蚀刻的基板材料上形成图案部分，其中图案部分的深度沿着从用于蚀刻的基板材料的一侧到其另一侧的方向逐渐变化。

公开(公告)号：CN117980263A

公开(公告)日：2024-05-03

申请号：CN202280061104.6

申请日：2022-10-19

Applicant: 株式会社LG化学 ,  泰克纳等离子体设备有限公司

Inventor： 金东埴 ,  郭家银 ,  金兑训 ,  李炯珍 ,  闵根基 ,  宋斗勋 ,  姜铢熙 ,  金睿別 ,  金秉珍 ,  李成贤

IPC: C01B32/164 ,  C01B32/162 ,  B01J19/24 ,  B01J19/08 ,  B01J13/00

Abstract: 本发明涉及一种碳纳米管的制造装置，其包括串联连接的等离子体装置和CVD反应器，并且将等离子体装置中制备的气溶胶状态的纳米颗粒催化剂转移到CVD反应器中以合成碳纳米管，从而连续合成具有优异物理性质的碳纳米管。

公开(公告)号：CN117980262A

公开(公告)日：2024-05-03

申请号：CN202280061027.4

申请日：2022-10-19

Applicant: 株式会社LG化学 ,  泰克纳等离子体设备有限公司

Inventor： 金东埴 ,  郭家银 ,  金兑训 ,  李炯珍 ,  闵根基 ,  宋斗勋 ,  姜铢熙 ,  金睿別 ,  金秉珍 ,  李成贤

IPC: C01B32/162 ,  B01J19/08 ,  B82Y40/00

Abstract: 本发明涉及一种使用通过使用等离子体将催化剂原料气化、然后使气化的催化剂原料凝结而制备的纳米颗粒催化剂合成碳纳米管的方法，使用本发明的制造方法可以使合成的碳纳米管具有高结晶度，并有利于大规模合成。