公开(公告)号：CN115380038A

公开(公告)日：2022-11-22

申请号：CN202180027605.8

申请日：2021-03-31

Applicant: 株式会社ADEKA

Inventor： 吉野智晴 ,  大江佳毅 ,  武田圭介 ,  福岛亮太 ,  满井千瑛 ,  山下敦史

IPC: C07F15/06 ,  C07F7/22 ,  H01L21/285 ,  C23C16/18

Abstract: 本发明提供下述通式(1)所示的脒基化合物或其二聚体化合物、以及将所述化合物用作原料的薄膜的制造方法。(式中，R1和R2各自独立地表示碳原子数1～5的烷基，R3表示氢原子或碳原子数1～5的烷基，M表示金属原子或硅原子，n表示M所示的原子的价数，其中，R1～R3中的至少一个氢原子被氟原子取代。)

公开(公告)号：CN107531734A

公开(公告)日：2018-01-02

申请号：CN201680025896.6

申请日：2016-05-17

Applicant: 株式会社ADEKA

Inventor： 吉野智晴 ,  远津正挥 ,  西田章浩 ,  杉浦奈奈

IPC: C07F13/00 ,  C07F15/04 ,  C07F15/06 ,  C23C16/18 ,  H01L21/285

Abstract: 本发明的新型化合物的特征在于，由下述通式(I)或(II)表示：[式中，R1和R2各自独立地表示碳原子数1～12的烃基，该烃基的氢原子也有时被Si(R3)3取代。其中，R1与R2为不同的基团。R3表示甲基或乙基，M表示金属原子或硅原子，n表示1～4的整数。]

公开(公告)号：CN107428677B

公开(公告)日：2022-04-05

申请号：CN201680013777.9

申请日：2016-02-12

Applicant: 株式会社ADEKA

Inventor： 吉野智晴 ,  远津正挥 ,  西田章浩 ,  杉浦奈奈 ,  樱井淳 ,  冈部诚

IPC: C07C251/08 ,  C23C16/18 ,  C07F15/06

Abstract: 由下述通式(I)表示的二氮杂二烯基化合物。(式中，R1和R2各自独立地表示碳数1～6的直链或支化状的烷基，R3表示氢原子或碳数1～6的直链或支化状的烷基，M表示金属原子或硅原子，n表示由M表示的金属原子或硅原子的价数。)

公开(公告)号：CN109715601B

公开(公告)日：2022-02-25

申请号：CN201780053070.5

申请日：2017-07-05

Applicant: 株式会社ADEKA

Inventor： 吉野智晴 ,  远津正挥 ,  西田章浩 ,  山下敦史

IPC: C07C251/08 ,  C23C16/18 ,  C07F15/04

公开(公告)号：CN111344294A

公开(公告)日：2020-06-26

申请号：CN201880072963.9

申请日：2018-07-27

Applicant: 株式会社ADEKA

Inventor： 吉野智晴 ,  远津正挥 ,  冈田奈奈 ,  畑濑雅子

IPC: C07F15/00 ,  C23C16/18 ,  H01L21/28 ,  H01L21/285

Abstract: 本发明的目的在于提供一种蒸气压高、熔点比以往已知的化合物低的钌化合物、含有该化合物的薄膜形成用原料以及使用该原料形成含有钌的薄膜的薄膜的制造方法。为了实现上述目的，提供一种下述通式所示的钌化合物、含有该钌化合物的薄膜形成用原料以及使用了该薄膜形成用原料的薄膜的制造方法。(式中，R1～R3分别独立地表示碳原子数1～5的烷基。其中，在R1为甲基的情况下，R2与R3为不同的基团。)

公开(公告)号：CN109923119A

公开(公告)日：2019-06-21

申请号：CN201780068589.0

申请日：2017-10-05

Applicant: 株式会社ADEKA

Inventor： 吉野智晴 ,  冈田奈奈 ,  西田章浩 ,  山下敦史

IPC: C07F15/06 ,  C07C257/14 ,  C23C16/18

Abstract: 本发明涉及薄膜形成用原料，其含有下述通式(1)表示的化合物(式中，R1表示碳数1～5的直链或支链状的烷基，R2表示氢或碳数1～5的直链或支链状的烷基，R3和R4各自独立地表示碳数1～5的直链或支链状的烷基，A表示碳数1～4的链烷二基，M表示铜、铁、镍、钴或锰。)

公开(公告)号：CN106660946A

公开(公告)日：2017-05-10

申请号：CN201580040201.7

申请日：2015-07-16

Applicant: 株式会社ADEKA

Inventor： 樱井淳 ,  畑濑雅子 ,  吉野智晴 ,  远津正挥

IPC: C07C251/08 ,  C23C16/18 ,  H01L21/285 ,  C07F1/08 ,  C07F15/06

Abstract: 本发明的醇盐化合物的特征在于由下述通式(I)表示。