集成型薄膜光电转换装置及其制造方法

    公开(公告)号:CN101889351B

    公开(公告)日:2012-07-18

    申请号:CN200880119525.X

    申请日:2008-12-05

    Abstract: 本发明以高生产性和低成本提供高转换特性的层叠型薄膜光电转换装置。本发明的集成型薄膜光电转换装置包括在透光性基板上依次层叠的透明导电层、激光吸收层、背面电极层、半导体光电转换层和透明电极层。激光吸收层被第1种分割线沟分割成多个区域,光电转换层被贯穿激光吸收层、背面电极层和光电转换层的第3种分割线沟分割成多个光电转换区域,透明电极层被贯穿激光吸收层、背面电极层、光电转换层和透明电极层的第4种分割线沟分割成多个透明电极区域,在彼此相邻的光电转换单元之间,一个单元的背面电极区域通过第1种分割线沟、透明导电层和第3种分割线沟,与另一个单元的受光面透明电极区域电连接。在实施方式1中,背面电极层被贯穿透明导电层、激光吸收层和背面电极层的第2种分割线沟分割成多个背面电极区域。

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