公开(公告)号：CN100532639C

公开(公告)日：2009-08-26

申请号：CN200510109632.2

申请日：2001-02-14

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 驹井哲夫 ,  野村典彦

IPC: C23C16/455 ,  H01L21/31

CPC classification number: C23C16/4412

Abstract: 提供一种排气管，具有防止包含在从反应真空室等排气用排气管中的物质在排气管内表面上沉积堆积的效果。本发明的排气管，其特征在于，具有：在内部有排气通路的内筒，设置在该内筒外侧的外筒；在内筒和外筒之间形成的密闭空间；以及在外筒中设置的用于将液氮等极低温冷却介质导入上述密封空间以形成冻结膜的冷却介质导入口。

公开(公告)号：CN1821441A

公开(公告)日：2006-08-23

申请号：CN200510109632.2

申请日：2001-02-14

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 驹井哲夫 ,  野村典彦

IPC: C23C16/455 ,  H01L21/31

CPC classification number: C23C16/4412

Abstract: 提供一种排气管，具有防止包含在从反应真空室等排气用排气管中的物质在排气管内表面上沉积堆积的效果。本发明的排气管，其特征在于，具有：在内部有排气通路的内筒，设置在该内筒外侧的外筒；在内筒和外筒之间形成的密闭空间；以及在外筒中设置的用于将液氮等极低温冷却介质导入上述密封空间以形成冻结膜的冷却介质导入口。

公开(公告)号：CN1401014A

公开(公告)日：2003-03-05

申请号：CN01804980.X

申请日：2001-02-14

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 驹井哲夫 ,  野村典彦

IPC: C23C16/455 ,  H01L21/31

CPC classification number: C23C16/4412

Abstract: 提供一种排气管，具有防止包含在从反应真空室等排气用排气管中的物质在排气管内表面上沉积堆积的效果。排气管10的特征在于具有：有排气通路10’的内筒11、在其外侧存在空隙15而设置的外筒12、和附接到内筒11上的加热装置13，空隙15和上述排气通路10’连通。在排气时，不仅排气通路10’变成真空状态而且空隙15也变成真空状态，因此可抑制从加热装置向外部放热。因此，可有效加热内筒11至高温，从而可防止包含在排气中的物质沉积堆积在内筒11的内表面上。还有，通过沿内筒11的内表面形成惰性气体等的气流层18，可防止上述沉积堆积。